惰性气体提纯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及惰性气体提纯技术领域，提出了一种惰性气体提纯装置，包括：壳体，壳体具有真空腔体，真空腔体的壁面上设置有吸气剂；放电部，放电部设置在真空腔体内；电源，电源的一端连接壳体，电源的另一端连接放电部；其中，壳体上设置有进气通道和出气通道，进气通道和出气通道均与真空腔体相连通，惰性气体通过进气通道排入真空腔体，并由出气通道排出真空腔体。惰性气体在放电过程中被电离产生等离子体，利用等离子体中高密度的正、负带电离子的轰击和活化作用，使附着在吸气剂表层的气体分子和原子重新获得足够的能量，吸气剂再次开始工作，即吸气剂被激活，从而可以吸收惰性气体中存在的杂质，以此实现对惰性气体的提纯。以此实现对惰性气体的提纯。以此实现对惰性气体的提纯。

【技术实现步骤摘要】
惰性气体提纯装置


[0001]本技术涉及惰性气体提纯
，尤其涉及一种惰性气体提纯装置。

技术介绍

[0002]传统吸气剂的激活方式为加热烘烤激活，需要将吸气剂加温至350℃
‑
900℃，并保温一定的时间来实现激活，采用的加热方式有：电阻加热、高频感应加热、直接放入真空炉热传导或热辐射加热。以上加热激活的方式对吸气剂的使用场合有较高的要求，为了避免高温对吸气剂附近其它部件产生损伤，对真空器件的设计、材料选择、密封形式等提出了较高要求。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种惰性气体提纯装置，以实现惰性气体的提纯。
[0004]本技术提供了一种惰性气体提纯装置，包括：
[0005]壳体，壳体具有真空腔体，真空腔体的壁面上设置有吸气剂；
[0006]放电部，放电部设置在真空腔体内；
[0007]电源，电源的一端连接壳体，电源的另一端连接放电部；
[0008]其中，壳体上设置有进气通道和出气通道，进气通道和出气通道均与真空腔体相连通，惰性气体通过进气通道排入真空腔体，并由出气通道排出真空腔体。
[0009]在本技术的一个实施例中，放电部为多个。
[0010]在本技术的一个实施例中，电源为直流电源、中频电源、射频电源或微波放电电源。
[0011]在本技术的一个实施例中，进气通道和出气通道均位于壳体的侧壁上，且进气通道位于出气通道的上方。
[0012]在本技术的一个实施例中，进气通道和出气通道分别位于壳体的相对两侧。r/>[0013]在本技术的一个实施例中，进气通道上设置有第一阀门，出气通道上设置有第二阀门。
[0014]在本技术的一个实施例中，壳体上设置有排气口，排气口用于连接抽真空系统。
[0015]在本技术的一个实施例中，排气口设置于壳体的底部。
[0016]在本技术的一个实施例中，吸气剂为粉末状吸气剂、块体吸气剂或薄膜吸气剂。
[0017]在本技术的一个实施例中，放电部的长度不小于真空腔体的高度的一半。
[0018]本技术一个实施例的惰性气体提纯装置包括壳体、放电部以及电源，电源向壳体和放电部供电，即放电部可以作为阳极，壳体可以作为阴极使用，惰性气体在放电过程中被电离产生等离子体，利用等离子体中高密度的正、负带电离子的轰击和活化作用，使附着在吸气剂表层的气体分子和原子重新获得足够的能量，从而迅速由吸气剂表面向内部扩
散，重新露出新鲜吸气剂表面，吸气剂再次开始工作，即就是达到吸气剂激活的目的，从而可以吸收惰性气体中存在的杂质，以此实现对惰性气体的提纯。
附图说明
[0019]通过结合附图考虑以下对本技术的优选实施方式的详细说明，本技术的各种目标，特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：
[0020]图1是根据一示例性实施方式示出的一种惰性气体提纯装置的结构示意图。
[0021]附图标记说明如下：
[0022]1、吸气剂；10、壳体；11、真空腔体；12、进气通道；13、出气通道；14、排气口；20、放电部；30、电源；40、第一阀门；50、第二阀门。
具体实施方式
[0023]体现本技术特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本技术能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本技术的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本技术。
[0024]在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”、“之间”、“之内”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。
[0025]本技术的一个实施例提供了一种惰性气体提纯装置，请参考图1，惰性气体提纯装置包括：壳体10，壳体10具有真空腔体11，真空腔体11的壁面上设置有吸气剂1；放电部20，放电部20设置在真空腔体11内；电源30，电源30的一端连接壳体10，电源30的另一端连接放电部20；其中，壳体10上设置有进气通道12和出气通道13，进气通道12和出气通道13均与真空腔体11相连通，惰性气体通过进气通道12排入真空腔体11，并由出气通道13排出真空腔体11。
[0026]本技术一个实施例的惰性气体提纯装置包括壳体10、放电部20以及电源30，电源30向壳体10和放电部20供电，即放电部20可以作为阳极，壳体10可以作为阴极使用，惰性气体在放电过程中被电离产生等离子体，利用等离子体中高密度的正、负带电离子的轰击和活化作用，使附着在吸气剂1表层的气体分子和原子重新获得足够的能量，从而迅速由吸气剂表面向内部扩散，重新露出新鲜吸气剂表面，吸气剂再次开始工作，即就是达到吸气剂激活的目的，从而可以吸收惰性气体中存在的杂质，以此实现对惰性气体的提纯。
[0027]需要说明的是，惰性气体由进气通道12排入真空腔体11，在壳体10和放电部20的作用下，即利用电激励产生低温辉光等离子体，等离子体实现对吸气剂1的激活。利用等离子体来激活吸气剂1可以实现的有益效果：激活吸气剂不再用到长时间的350℃
‑
900℃的高温，避免高温激活对真空器件带来的热损伤。省去了结构复杂的高温激活附属装置。等离子
体激活吸气剂避免了高温激活时由于的热胀冷缩引起的吸气剂掉粉现象。电激励产生等离子体的方式包括直流辉光等离子体、射频感应耦合等离子体、微波等离子体等多种不同型式，且能量可根据需要调节，操作便利。
[0028]在一个实施例中，放电部20可以为电极，如轰击板。放电部20可以为一个或者多个，从而实现利用电激励产生低温辉光等离子体的效果。
[0029]在一个实施例中，电源30为直流电源、中频电源、射频电源或微波放电电源。
[0030]在一个实施例中，如图1所示，进气通道12和出气通道13均位于壳体10的侧壁上，且进气通道12位于出气通道13的上方，从而可以保证惰性气体在真空腔体11进行可靠流通，以使得激活后的吸气剂能够可靠吸收惰性气体中的杂质，以保证由出气通道13排出的惰性气体的纯度。
[0031]可选的，进气通道12和出气通道13均由设在在壳体10上的管体构成。在某些实施例中，不排除直接在壳体10上开孔，以形成进气通道12和出气通道13。
[0032]在一个实施例中，进气通道12和出气通道13分别位于壳体10的相对两侧，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种惰性气体提纯装置，其特征在于，包括：壳体(10)，所述壳体(10)具有真空腔体(11)，所述真空腔体(11)的壁面上设置有吸气剂(1)；放电部(20)，所述放电部(20)设置在所述真空腔体(11)内；电源(30)，所述电源(30)的一端连接所述壳体(10)，所述电源(30)的另一端连接所述放电部(20)；其中，所述壳体(10)上设置有进气通道(12)和出气通道(13)，所述进气通道(12)和所述出气通道(13)均与所述真空腔体(11)相连通，惰性气体通过所述进气通道(12)排入所述真空腔体(11)，并由所述出气通道(13)排出所述真空腔体(11)。2.根据权利要求1所述的惰性气体提纯装置，其特征在于，所述放电部(20)为多个。3.根据权利要求1所述的惰性气体提纯装置，其特征在于，所述电源(30)为直流电源、中频电源、射频电源或微波放电电源。4.根据权利要求1所述的惰性气体提纯装置，其特征在于，所述进气通道(12)和所述出气通道(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓刚，高峰，母利伟，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：