本发明专利技术公开了一种分级式蒸发源及蒸镀装置，包括蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚外部包裹有防护壳，所述蒸镀坩埚放置于防护壳内，所述防护壳上面设有开口，所述蒸镀坩埚上端伸出开口设置，所述蒸镀坩埚外侧面上且从上至下依次缠绕有若干层电磁线圈，每层所述电磁线圈另一端均电连有控制组件，每层所述电磁线圈缠绕的紧密度不同。本发明专利技术的优点：其可使坩埚的加热具有梯度化且可使热量的散失较少，能够保证原材料的融化速度和融化效果。的融化速度和融化效果。的融化速度和融化效果。
【技术实现步骤摘要】
一种分级式蒸发源及蒸镀装置
[0001]本专利技术涉及蒸镀
，具体是指一种分级式蒸发源及蒸镀装置。
技术介绍
[0002]蒸镀是将材料在真空环境中加热，使之气化并沉积到基片而获得薄膜材料的方法，又称为真空蒸镀或真空镀膜。
[0003]手机屏幕在生产过程中，基本都需要对其实施蒸镀操作。目前，存在的蒸镀加热方式基本都是利用加热电阻丝套于坩埚外进行加热，此种加热方式会使坩埚各部分温度基本一致，且温度散失较多，使坩埚各部分温度没有梯度化，从而会影响喷射的力度和均匀度；现有的加热方式也有利用电磁线圈缠绕进行加热的，但其电磁线圈都是至缠绕有一层且紧密度间隔相同，同样会使坩埚的加热没有梯度的变化。
技术实现思路
[0004]本专利技术为了解决上述的各种问题，提供了一种分级式蒸发源及蒸镀装置，其可使坩埚的加热具有梯度化且可使热量的散失较少，能够保证原材料的融化速度和融化效果。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供的技术方案为：一种分级式蒸发源及蒸镀装置，包括蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚外部包裹有防护壳，所述蒸镀坩埚放置于防护壳内，所述防护壳上面设有开口，所述蒸镀坩埚上端伸出开口设置，所述蒸镀坩埚外侧面上且从上至下依次缠绕有若干层电磁线圈，每层所述电磁线圈另一端均电连有控制组件，每层所述电磁线圈缠绕的紧密度不同。
[0006]优选的，所述控制组件包括与电磁线圈一端电连的电源调节组件，所述电磁线圈另一端也与电磁线圈相电连，所述电源调节组件电连有温控组件，所述温控组件另一端与所述蒸镀坩埚外侧面相接触。
[0007]优选的，所述电源调节组件包括电源、谐振器和谐振电容，所述电磁线圈两端均与谐振电容电连，所述谐振器与谐振电容电连，所述电源与谐振器电连，所述温控组件与谐振器电连。
[0008]优选的，所述温控组件包括与谐振器电连的脉冲调制器，所述脉冲调制器电连有控制器，所述控制器电连有温度传感器，所述温度传感器安装在蒸镀坩埚外侧面上。
[0009]优选的，所述蒸镀坩埚包括坩埚主体，所述坩埚主体上端螺纹连接有喷射口。
[0010]优选的，所述喷射口呈漏斗状。
[0011]优选的，所述喷射口外侧面上安装有加热电阻丝。
[0012]优选的，所述防护壳内部设有空腔，所述空腔内填充有保温层。
[0013]优选的，所述蒸镀坩埚的上端口与坩埚主体呈圆弧形过渡。
[0014]优选的，所述电磁线圈选用截面积为1
‑
5mm2的线材。
[0015]本专利技术与现有技术相比的优点在于：本专利技术在使用时，电磁线圈设置有若干层且从上至下每层电磁线圈的缠绕紧密度不同，从而可使电磁线圈通电时，其产生的热量有所
不同，可进一步增强产热时间和产热温度可调控的范围，适用范围较广；电磁线圈产生的交变电磁场仅能够作用在所存在空间的蒸镀坩埚上，即仅能对蒸镀坩埚产生加热效果，保证了热量全部能传递至蒸镀坩埚上，不会造成热量的散失，避免了能源的浪费；电磁线圈的使用，可使蒸镀坩埚缠绕位置处受热更均匀，提高了蒸镀的效果；电源调节组件和温控组件的设置，可通过对各层电磁线圈电流大小的控制，可控制缠绕位置处的温度，其温度的变化信息将由温控组件采集处理，并传递给电源调节组件，再由电源调节组件对电磁线圈的电流进行调控，以此进行温度的控制；漏斗状喷射口的设置，可使喷射范围更加均匀广泛；喷射口外侧面加热电阻丝的设置，可防止喷射口的堵塞，可使其物料的喷射更加顺畅；保温层的设置，可使电磁线圈加热后的热量损失进一步降低，从而可使原材料的融化更加快速彻底；圆弧形过渡的设置，可使融化后的物料在喷射时，不会使坩埚主体内壁上残留相关物料，即可使物料的喷射更加彻底。
附图说明
[0016]图1是本专利技术一种分级式蒸发源及蒸镀装置的结构示意图。
[0017]图2是本专利技术一种分级式蒸发源及蒸镀装置的电磁线圈缠绕结构示意图。
[0018]图3是本专利技术一种分级式蒸发源及蒸镀装置的温度调控系统框图。
[0019]如图所示：1、蒸镀坩埚；101、坩埚主体；102、喷射口；2、防护壳；3、开口；4、电磁线圈；5、控制组件；6、加热电阻丝；7、保温层。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本专利技术做进一步的详细说明。
[0021]结合附图1至附图3，一种分级式蒸发源及蒸镀装置，包括蒸镀坩埚1，所述蒸镀坩埚1外部包裹有防护壳2，所述蒸镀坩埚1放置于防护壳2内，所述防护壳2上面设有开口3，所述蒸镀坩埚1上端伸出开口3进行设置，所述蒸镀坩埚1外侧面上且从上至下依次缠绕有若干层电磁线圈4，每层所述电磁线圈4另一端均电连有控制组件5，每层所述电磁线圈4缠绕的紧密度不同。
[0022]具体的，蒸镀坩埚1置于防护壳2内，蒸镀坩埚1外侧面上且从上至下依次缠绕有若干层不同紧密度的电磁线圈4，从而可使每层不同紧密度电磁线圈4对应的蒸镀坩埚1处的温度不同，从而使蒸镀坩埚1内的温度呈现出梯度，以此来实现物料更好的融化和喷射。
[0023]所述控制组件5包括与电磁线圈4一端电连的电源调节组件，所述电磁线圈另一端也与电磁线圈4相电连，所述电源调节组件电连有温控组件，所述温控组件另一端与所述蒸镀坩埚1外侧面相接触。
[0024]所述电源调节组件包括电源、谐振器和谐振电容，所述电磁线圈4两端均与谐振电容电连，所述谐振器与谐振电容电连，所述电源与谐振器电连，所述温控组件与谐振器电连。
[0025]所述温控组件包括与谐振器电连的脉冲调制器，所述脉冲调制器电连有控制器，所述控制器电连有温度传感器，所述温度传感器安装在蒸镀坩埚1外侧面上。
[0026]具体的，由温度传感器来采集蒸镀坩埚上的温度范围，然后通过控制器和脉冲调制器的处理后，将其相关信息输送至谐振器内，然后使其通过谐振电容控制通入电磁线圈
内电流的大小，从而可使其蒸镀坩埚1对应位置处的温度进行变化，来改变蒸镀坩埚1内部的温度。
[0027]所述蒸镀坩埚1包括坩埚主体101，所述坩埚主体101上端螺纹连接有喷射口102。
[0028]所述喷射口102呈漏斗状，此种形状设置，可使物料的喷射范围更广，均匀度更好。
[0029]所述喷射口102外侧面上安装有加热电阻丝6，此种设置可防止喷射口102因长久喷射或口端冷却，造成喷射口102的堵塞。
[0030]所述防护壳2内部设有空腔，所述空腔内填充有保温层7，此种设置可进一步防止热量的散失，从侧面使物料融化的更彻底、均匀。
[0031]防护壳2由壳体和螺纹连接其上的壳盖组成。
[0032]所述蒸镀坩埚1的上端口与坩埚主体101呈圆弧形过渡，此种设置可使物料被喷射的更彻底，蒸镀坩埚1内不会有残留。
[0033]所述电磁线圈4选用截面积为1
‑
5mm2的线材，优选截面积为3mm2的电磁线圈4。
[0034]每层电磁线圈4对应的电源调节组件可为每层电磁线圈4提供不同大小的电流和电压，电源调节组件设置在防护本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种分级式蒸发源及蒸镀装置，包括蒸镀坩埚(1)，其特征在于:所述蒸镀坩埚(1)外部包裹有防护壳(2)，所述蒸镀坩埚(1)放置于防护壳(2)内，所述防护壳(2)上面设有开口(3)，所述蒸镀坩埚(1)上端伸出开口(3)进行设置，所述蒸镀坩埚(1)外侧面上且从上至下依次缠绕有若干层电磁线圈(4)，每层所述电磁线圈(4)另一端均电连有控制组件(5)，每层所述电磁线圈(4)缠绕的紧密度不同。2.根据权利要求1所述的一种分级式蒸发源及蒸镀装置，其特征在于：所述控制组件(5)包括与电磁线圈(4)一端电连的电源调节组件，所述电磁线圈另一端也与电磁线圈(4)相电连，所述电源调节组件电连有温控组件，所述温控组件另一端与所述蒸镀坩埚(1)外侧面相接触。3.根据权利要求2所述的一种分级式蒸发源及蒸镀装置，其特征在于：所述电源调节组件包括电源、谐振器和谐振电容，所述电磁线圈(4)两端均与谐振电容电连，所述谐振器与谐振电容电连，所述电源与谐振器电连，所述温控组件与谐振器电连。4.根据权利要求3所述的一种分级式蒸发源及蒸镀装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈景升，
申请(专利权)人：江苏微迈思半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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