控制自动导向小车的半导体工厂自动化系统及方法技术方案

在半导体工厂自动化（ＦＡ）系统中控制自动导向小车（ＡＧＶ）的方法，包括：接收并存储改变的工艺设备工作模式信息；在全自动化工作模式下，执行预定半导体工艺处理并发送工艺过程完成信号；产生队列；根据队列检查存储的工艺设备的工作模式信息；如存储的工作模式信息不是全自动化工作模式，中断向ＡＧＶ传送队列来关闭ＡＧＶ；反之根据队列激活ＡＧＶ卸载该批半导体晶片。当由全自动化工作模式变为另一种工作模式时，可检查存储的工艺设备的工作模式信息有效控制ＡＧＶ以在ＦＡ系统中关闭ＡＧＶ。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种半导体工厂自动化(FA)系统，尤其涉及一种控制自动导向小车的半导体工厂自动化(FA)系统及方法。参考图1，示出传统半导体自动化工厂(FA)系统中控制自动导向小车(AGV)的方法的流程图。如图所示，传统半导体工厂自动化(FA)系统包括一个工艺设备(EQ)100、一个工艺设备(EQ)服务器(EQS)102、一个生产单元(cell)管理服务器(CMS)104、一个生产段内(intrabay)控制服务器(ICS)106、一个自动导向小车(AGV)控制器(AGVC)108、一个自动导向小车(AGV)110、一个堆料机控制服务器(SCS)112以及一个堆料机114。此外，传统半导体工厂自动化(FA)系统是用于工作模式的。工作模式包括全自动化工作模式、半自动化工作模式以及手动工作模式。通常，传统半导体工厂自动化(FA)系统是以全自动化工作模式为基础的。在步骤S118，当工艺设备(EQ)100，即完成半导体制造工艺即扩散工艺的熔炉设备完成扩散过程后，工艺设备(EQ)100向工艺设备服务器(EQS)102发送一个工艺过程完成信号。在步骤S120，工艺设备服务器(EQS)102根据工艺过程完成信号向生产单元管理服务器(CMS)104发送请求消息，其中的请求消息是请求从工艺设备(EQ)100向堆料机输送一批半导体晶片的消息。一批是指在一个单位工艺过程即扩散工艺处理的一定数量的半导体晶片。在步骤S122，工艺设备(EQ)100通知工艺设备服务器(EQS)102，可以从工艺设备(EQ)100卸载半导体晶片盒，其中的半导体晶片盒是一种装载半导体晶片由自动导向小车(AGV)110从工艺设备(EQ)100输送到堆料机114的容器。在步骤S124，调度器(scheduler)116接收生产单元管理服务器(CMS)104发送的请求消息，以便调度器116根据请求消息安排该批半导体晶片的后续半导体处理。在步骤S126，工艺设备服务器(EQS)102根据工艺过程完成信号向生产单元管理服务器(CMS)104发送一个卸载队列。该卸载队列包括一个半导体晶片盒标识符，一个表示半导体晶片盒的起始地信息的工艺设备(EQ)标识符以及一个表示半导体晶片盒的目的地信息的堆料机标识符。在步骤S128，生产单元管理服务器(CMS)104向生产段内控制服务器(ICS)106发送卸载队列。在步骤S130，工艺设备服务器(EQS)102向工艺设备(EQ)100发送一个命令以便工艺设备(EQ)100根据工艺设备服务器(EQS)102发送的命令将该批半导体晶片装入半导体晶片盒。在步骤S132，生产段内控制服务器(ICS)106向自动导向小车控制器(AGVC)108发送卸载队列。在步骤S134，自动导向小车控制器(AGVC)108转换卸载队列以便自动导向小车控制器(AGVC)108识别卸载队列，由此产生一个送到自动导向小车(AGV)110的自动导向小车(AGV)控制命令。在步骤S135，自动导向小车控制器(AGVC)108通过无线电向自动导向小车(AGV)110发送自动导向小车(AGV)控制命令。此时，为了从工艺设备(EQ)100卸载半导体晶片盒，根据工艺设备(EQ)标识符，自动导向小车(AGV)110移到工艺设备(EQ)100。在步骤S136，如果自动导向小车(AGV)110已根据工艺设备(EQ)100标识符移到工艺设备(EQ)100，则自动导向小车控制器(AGVC)108就向生产段内控制服务器(ICS)106发送移动完成命令。在步骤S138，生产段内控制服务器(ICS)106向生产单元管理服务器(CMS)104发送移动完成消息。在步骤S140，生产段内控制服务器(ICS)106向工艺设备服务器(EQS)102发送移动完成消息。在步骤S142，根据从生产段内控制服务器(ICS)106接收的移动完成消息，工艺设备服务器(EQS)102向生产段内控制服务器(ICS)106发送确认消息。在步骤S144，生产段内控制服务器(ICS)106向自动导向小车控制器(AGVC)108发送确认消息。在步骤S146，根据工艺设备(EQ)标识符，自动导向小车(AGV)110从工艺设备(EQ)100卸载半导体晶片盒。在步骤S148，根据堆料机标识符，自动导向小车(AGV)110将半导体晶片盒装载到堆料机114。在步骤S150，如果自动导向小车(AGV)110已经根据堆料机标识符将半导体晶片盒装载到堆料机114，那么堆料机114就向堆料机控制服务器(SCS)112发送一个装载完成信号。在步骤S152，根据装载完成信号，堆料机控制服务器(SCS)112向生产单元管理服务器(CMS)104发送一个装载完成消息。在步骤S154，生产单元管理服务器(CMS)104更新关于半导体晶片盒的位置信息。在步骤S156，生产单元管理服务器(CMS)104向工艺设备服务器(EQS)102发送装载完成消息。在步骤S158，根据装载完成消息，工艺设备服务器(EQS)102清仓(flush)工艺设备(EQ)控制文件。完成半导体制造工艺即由相应的工艺设备(EQ)100完成扩散工艺后，将半导体晶片盒从工艺设备(EQ)100输送到相应的堆料机114，传统半导体工厂自动化(FA)系统需要的时间太长。为了减少将半导体晶片盒从工艺设备(EQ)100输送到相应的堆料机114所需的时间，传统半导体工厂自动化(FA)系统非常需要操作人员干预。如图1所示，在“A”点，当操作人员将工作模式由全自动化工作模式转变为半自动化工作模式或手动工作模式时，操作人员可以从相应的工艺设备(EQ)100上直接卸载半导体晶片盒。之后，操作人员可以直接将半导体晶片盒装载到相应的堆料机114。此时，自动导向小车控制器(AGVC)108通常产生一个自动导向小车(AGV)控制命令送到自动导向小车(AGV)以便从相应的工艺设备(EQ)100卸载半导体晶片盒，这样自动导向小车(AGV)110就移到相应的工艺设备(EQ)100。最好在半自动化工作模式和手动工作模式关闭自动导向小车(AGV)110。然而，在半自动化工作模式或手动工作模式，传统半导体工厂自动化(FA)系统存在不能关闭自动导向小车(AGV)110的问题。因此，本专利技术的一个目的就是提供一种通过检查存储在实时数据库中的工作模式信息有效控制自动导向小车的半导体工厂自动化(FA)系统和方法，以便在系统操作人员将工作模式由全自动化工作模式转变为另一种工作模式时关闭自动导向小车(AGV)。因此，本专利技术的另一个目的是提供一种存储程序指令的计算机可读介质，当操作人员将工作模式由全自动化工作模式转变为另一种工作模式时，为了在半导体工厂自动化(FA)系统中关闭自动导向小车(AGV)，通过检查存储在实时数据库中的工作模式信息，由设置在计算机中的程序指令实现有效控制自动导向小车(AGV)的方法。根据本专利技术的一个方面，提供了一种半导体工厂自动化(FA)系统，它包括一个公共通信线路；多个与所述公共通信线路相连、每个均在工作模式为全自动化工作模式时完成预定半导体工艺处理并在预定半导体工艺处理完成后发送一个工艺过程完成信号的半导体处理装置，其中的预定半导体工艺处理被施加到一批半导体晶片；一个与所述公共通信线路相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体工厂自动化（ＦＡ）系统，包括：一个公共通信线路；多个与所述公共通信线路相连的半导体处理装置，在工作模式是全自动化工作模式时，每个均用于执行预定半导体工艺处理并在预定半导体工艺处理完成之后发送一个工艺过程完成信号，其中预定半 导体工艺处理被施加到一批半导体晶片；一个与所述公共通信线路相连用于接收每个半导体处理装置的工作模式信息和由操作人员改变的工作模式信息的操作人员界面装置；一个与所述公共通信线路相连用于存储由所述操作人员界面装置改变的工作模式信息的存储 装置；一个与所述公共通信线路相连用于根据工艺过程完成信号产生队列的队列产生装置；一个与所述公共通信线路相连并根据队列用于检查存储在所述存储装置中的每个半导体处理装置的工作模式信息的控制装置；和一个用于根据从所述控制装置接收的队列 从每个半导体处理装置卸载该批半导体晶片的输送装置，其中，如果存储在所述存储装置中的每个半导体处理装置的工作模式不是全自动化工作模式，则所述控制装置通过中断向所述输送装置传送队列来关闭所述输送装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】KR 1999-6-22 23545/991.一种半导体工厂自动化(FA)系统，包括一个公共通信线路；多个与所述公共通信线路相连的半导体处理装置，在工作模式是全自动化工作模式时，每个均用于执行预定半导体工艺处理并在预定半导体工艺处理完成之后发送一个工艺过程完成信号，其中预定半导体工艺处理被施加到一批半导体晶片；一个与所述公共通信线路相连用于接收每个半导体处理装置的工作模式信息和由操作人员改变的工作模式信息的操作人员界面装置；一个与所述公共通信线路相连用于存储由所述操作人员界面装置改变的工作模式信息的存储装置；一个与所述公共通信线路相连用于根据工艺过程完成信号产生队列的队列产生装置；一个与所述公共通信线路相连并根据队列用于检查存储在所述存储装置中的每个半导体处理装置的工作模式信息的控制装置；和一个用于根据从所述控制装置接收的队列从每个半导体处理装置卸载该批半导体晶片的输送装置，其中，如果存储在所述存储装置中的每个半导体处理装置的工作模式不是全自动化工作模式，则所述控制装置通过中断向所述输送装置传送队列来关闭所述输送装置。2.根据权利要求1所述的半导体工厂自动化(FA)系统，如果所述控制装置通过中断向所述输送装置传送送队列来关闭所述输送装置，所述操作人员将该批半导体晶片从每个半导体处理装置卸载。3.根据权利要求1所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中所述的多个半导体处理装置包括多个工艺设备。4.根据权利要求3所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中所述队列产生装置进一步发送一个根据工艺过程完成信号请求输送该批半导体晶片的请求消息。5.根据权利要求4所述的半导体工厂自动化(FA)系统，进一步包括一个与所述公共通信线路相连用于根据请求消息安排该批半导体晶片的后续半导体处理的调度装置；6.根据权利要求4所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中工艺设备之一包括一个作为装载一批半导体晶片的容器的半导体晶片盒。7.根据权利要求6所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中，在向所述队列产生装置发送工艺过程完成信号后，工艺设备进一步通知所述队列产生装置，半导体晶片盒可以从工艺设备卸载。8.根据权利要求7所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中的队列包括一个半导体晶片盒标识符、一个表示半导体晶片盒的起始地信息的工艺设备标识符以及一个表示半导体晶片盒的目的地信息的堆料机标识符。9.根据权利要求8所述的半导体工厂自动化(FA)系统，进一步包括一个通过转换队列产生输送控制命令并将该输送控制命令送到所述输送装置的输送控制装置，其中，所述输送装置根据输送控制命令移到与工艺设备标识符对应的工艺设备；和一个在所述输送装置已将半导体晶片盒装载到与堆料机标识符对应的所述堆料机后，用于装载半导体晶片盒并产生一个装载完成消息的堆料机。10.根据权利要求9所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中，根据装载完成消息，所述队列产生装置进一步清仓工艺设备控制文件并更新有关半导体晶片盒的位置信息。11.根据权利要求4所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中的工艺设备包括熔炉设备。12.根据权利要求1所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中预定半导体工艺处理包括扩散工艺处理。13.根据权利要求1所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中所述的存储装置包括实时数据库。14.根据权利要求1所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中所述的公共通信线路包括由施乐公司提供的以太网电缆。15.根据权利要求1所述的半导体工厂自动化(FA)系统，其中工作模式包括全自动化工作模式、半自动化工作模式和手动工作模式。16.一种在半导体工厂自动化(FA)系统中控制自动导向小车(AGV)的方法，包括步骤a)接收由操作人员改变的工艺设备的工作模式信息；b)在实时数据库中存储已改变的工艺设备的工作模式信息；c)在工作模式为全自动化工作模式时，执行预定的半导体工艺处理，并在预定...

【专利技术属性】
技术研发人员：高明载，曹荣洙，
申请(专利权)人：现代电子产业株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]