一种箱式退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种箱式退火炉,包括箱式退火炉本体，在箱式退火炉本体上设有底座，底座的上方一侧设有温控箱体，温控箱体的内壁等间距设有温控管，温控箱体的一端端口设有箱门，箱门的与温控箱体衔接的一侧表面设有衔接板，衔接板下方与温控箱体顶部之间设有液压驱动油缸，底座的上方另一侧对称设有移动滑轨，移动滑轨上方设有载物槽，载物槽底部的防脱头内设有螺纹杆，螺纹杆的一端端头设有液压驱动电机，液压驱动电机驱动载物槽的进出，该箱式退火炉可以适用于不同零部件的退火加工，实现自动上料，自动退料，退火处理效果好。退火处理效果好。退火处理效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种箱式退火炉


[0001]本技术涉及箱式退火炉
，具体为一种箱式退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
[0003]金属材料制品在制成成品前大多会进行退火处理，其主要目的是：消除加工过程中产生的硬化和残余应力，提高材料塑性和加工性能；改变材料的组织结构，获得所需要的晶粒度和晶粒取向。冷轧带钢在不断冷轧的过程中，其内部分子结构排列的改变为使冷轧带钢变得越来越硬，因此在每经过一道冷轧工序后就需要进行一次回火处理。目前生产上用于冷轧带钢再结晶光亮退火的设备一般由炉台、外加热罩、内料罩、对流板、能源介质管线等组成。
[0004]目前，在工业加工过程中很多的材料加工都会使用到退火炉，但是，现在很多的退货炉都是实现人工上料、下料的，不仅增加了工人的劳动量，同时还增加了工作的危险性。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种在箱式退火炉本体上设有底座，底座的上方一侧设有温控箱体，温控箱体的内壁等间距设有温控管，温控箱体的一端端口设有箱门，箱门的与温控箱体衔接的一侧表面设有衔接板，衔接板下方与温控箱体顶部之间设有液压驱动油缸，底座的上方另一侧对称设有移动滑轨，移动滑轨上方设有载物槽，载物槽底部的防脱头内设有螺纹杆，螺纹杆的一端端头设有液压驱动电机，液压驱动电机驱动载物槽的进出的箱式退火炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种箱式退火炉,包括箱式退火炉本体，所述箱式退火炉本体上设有底座，底座的上方一侧设有温控箱体，所述温控箱体与底座之间焊接连接，所述温控箱体的右端端口设有箱门，箱门与温控箱体右端配合安装，所述底座上方另一侧对称设有移动滑轨，移动滑轨与底座之间固定安装，所述移动滑轨的另一端与温控箱体右端的出口底部边缘配合安装，所述移动滑轨的上方设有载物槽，载物槽与移动滑轨之间配合安装。
[0007]优选的，所述温控箱体的右端设有进出口，进出口的两侧对称设有限位滑槽，所述温控箱体的内壁中均匀设有温控管，温控管紧贴与温控箱体的内壁采用固定环固定安装，所述温控箱体的外壁设有隔热层。
[0008]优选的，所述移动滑轨的一端设有液压驱动电机，所述液压驱动电机的转轴上设有螺杆，螺杆的一端与液压驱动电机的转轴固定连接，螺杆的另一端与移动滑轨的一端之间设有环形轴承。
[0009]优选的，所述载物槽的底部设有滑块，滑块的内部中央水平方向设有螺杆安装槽，滑块的底部表面设有滚珠，液压驱动电机转轴上的螺杆安装在滑块内部的螺杆安装槽内。
[0010]优选的，所述箱门的一侧表面靠近两侧边缘对称设有防脱头，箱门的一侧靠近顶部边缘设有衔接板，所述防脱头、衔接板与箱门为一体结构，所述箱门一侧的衔接板下方设有液压驱动油缸，液压驱动油缸的底部与温控箱体的顶部固定连接，液压驱动油缸的推轴与衔接板的下表面固定连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012](1)箱门与温控箱体一端的限位滑槽配合安装，使箱门在限位滑槽内部稳定的上下移动，箱门对温控箱体的一端实现关门控温的作用，避免温控箱体内部温度的丧失，同时还能避免外部因素对温控箱体内部加工环境的影响；
[0013](2)载物槽与移动滑轨之间配合安装，液压驱动电机与螺杆的结合使载物槽实现自动化进出温控箱体；
[0014](3)该箱式退火炉可以适用于不同零部件的退火加工，实现自动上料，自动退料，退火处理效果好。
附图说明
[0015]图1为本技术箱式退火炉本体结构示意图；
[0016]图2为本技术温控箱体与移动滑轨安装示意图；
[0017]图3为本技术箱门侧视图。
[0018]图中：1、箱式退火炉本体；2、温控箱体；3、底座；4、箱门；5、衔接板；6、液压驱动油缸；7、载物槽；8、移动滑轨；9、液压驱动电机；10、限位滑槽；11、温控管；12、防脱头。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
3,本技术提供一种技术方案：一种箱式退火炉,包括箱式退火炉本体1，箱式退火炉本体1上设有底座3，底座3的上方一侧设有温控箱体2，温控箱体2的右端设有进出口，进出口的两侧对称设有限位滑槽10，温控箱体2的内壁中均匀设有温控管11，温控管11紧贴与温控箱体2的内壁采用固定环固定安装，温控箱体2的外壁设有隔热层，温控箱体2与底座3之间焊接连接。
[0021]温控箱体2的右端端口设有箱门4，箱门4与温控箱体2右端配合安装，箱门4与温控箱体2一端的限位滑槽10配合安装，使箱门4在限位滑槽10内部稳定的上下移动，箱门4对温控箱体2的一端实现关门控温的作用，避免温控箱体2内部温度的丧失，同时还能避免外部因素对温控箱体2内部加工环境的影响，底座3上方另一侧对称设有移动滑轨8，移动滑轨8的一端设有液压驱动电机9，液压驱动电机9的转轴上设有螺杆，螺杆的一端与液压驱动电机9的转轴固定连接，螺杆的另一端与移动滑轨8的一端之间设有环形轴承，移动滑轨8与底座3之间固定安装。
[0022]移动滑轨8的另一端与温控箱体2右端的出口底部边缘配合安装，移动滑轨8的上方设有载物槽7，载物槽7的底部设有滑块，滑块的内部中央水平方向设有螺杆安装槽，滑块的底部表面设有滚珠，液压驱动电机转轴上的螺杆安装在滑块内部的螺杆安装槽内，载物槽7与移动滑轨8之间配合安装，液压驱动电机9与螺杆的结合使载物槽7实现自动化进出温控箱体2。
[0023]箱门4的一侧表面靠近两侧边缘对称设有防脱头12，箱门4的一侧靠近顶部边缘设有衔接板5，防脱头12、衔接板5与箱门4为一体结构，箱门4一侧的衔接板5下方设有液压驱动油缸6，液压驱动油缸6的底部与温控箱体2的顶部固定连接，液压驱动油缸6的推轴与衔接板5的下表面固定连接。
[0024]该箱式退火炉可以适用于不同零部件的退火加工，实现自动上料，自动退料，退火处理效果好。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种箱式退火炉,包括箱式退火炉本体(1)，其特征在于：所述箱式退火炉本体(1)上设有底座(3)，底座(3)的上方一侧设有温控箱体(2)，所述温控箱体(2)与底座(3)之间焊接连接，所述温控箱体(2)的右端端口设有箱门(4)，箱门(4)与温控箱体(2)右端配合安装，所述底座(3)上方另一侧对称设有移动滑轨(8)，移动滑轨(8)与底座(3)之间固定安装，所述移动滑轨(8)的另一端与温控箱体(2)右端的出口底部边缘配合安装，所述移动滑轨(8)的上方设有载物槽(7)，载物槽(7)与移动滑轨(8)之间配合安装。2.根据权利要求1所述的一种箱式退火炉，其特征在于：所述温控箱体(2)的右端设有进出口，进出口的两侧对称设有限位滑槽(10)，所述温控箱体(2)的内壁中均匀设有温控管(11)，温控管(11)紧贴与温控箱体(2)的内壁采用固定环固定安装，所述温控箱体(2)的外壁设有隔热层。3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：年辰辰，
申请(专利权)人：咸阳永安金属制品有限公司，
类型：新型
国别省市：