远程监视和控制半导体制造过程的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种远程监视和开发半导体制造过程的装置，它包含至少一个远程工作站，通过远程接入网与一个本地工作站相连；包含一个测试系统，它通过远程接入网与此本地工作站相连。本发明专利技术也公开一种远程监视和开发半导体制造过程的方法，它包含远程运行一个半导体测试系统，远程地监视此测试系统，并由此远程获取数据。另一个实施例包括一个在半导体制造过程中远程地监视和开发的装置，它包含众多的远程工作站，每一个远程工作站通过远程接入网与一个本地工作站相连。它包含一个测试系统，它通过接入网与本地工作站相连；其安全性能可防止任何一个远程工作站连接到其他远程工作站。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
所属领域本专利技术涉及集成电路(IC)设计和制造，尤其是涉及远离测试设备的IC设计和芯片测试系统。从新的IC的概念开发到实际批量生产之间有许多中间步骤，第一步是初始设计，这时设计工程师按照一个最终用户的规范开发一系列逻辑门，设计工程师相信它们将在一个完整的IC中产生最终用户规定的功能，在这一步，设计工程师仅提供逻辑元件的排布而非实际构造任何器件。下一步是检查此IC初始设计能否产生指定终端的功能，在这一步，测试通常包括逻辑门排布的计算机仿真以决定它的功能，在计算机仿真中逻辑门的排布可能变化，调整任何缺陷来产生指定的功能，重复测试和设计直到逻辑设计达到用户所需的功能。该重复测试和设计的过程称为调试，调试一般仅包括重新排布仿真的或理论的逻辑门以达到用户所需的功能。在这一步，测试并不严格，它仅确定逻辑门的排布方式是否适当。IC开发过程的下一步是制造原型器件，它在本技术中称为“首次硅工艺”，该原型器件在下一步称作“设计调试”中经受比仿真器件严格的测试。由于在硅片上复制三维逻辑门的理论系列较困难，在制作第一个原型器件时误差总是会产生的。例如，对某一门的两个信号定时不同，使得想得到的数据不能象期待的那样通过该门电路。因此，开发过程的下一步是调试和修补原型器件，对各个门作出评价，并根据产生最终用户功能的要求进行修补；使用“电子束”(e-beam)，“红外激光器”(光学)，“聚焦离子束”(FIB)探针仪系统观查和/或修补原型器件的各个门，一种电子束仪为IDS 10000da型，一种红外激光器探针仪系统为IDS 2000型，一种聚焦离子束探针仪系统为IDS P3X型，所有上述的仪器在Schlumberger Semiconductor Solution公司，San Jose，CA都有销售，为了修补一个不工作或不按要求工作的门，FIB仪能在原型器件上精确地烧洞，例如切断连到不工作门的导线，然后FIB探针仪系统放置一个新的元件，如跳接线，以代替该不工作的门。所有修补工作完成之后，该原型器件重新测试直至逻辑元件组产生最终用户要求的功能。再下一步是测试原型器件的性能，它通常包括器件性能的全面测试。例如，性能测试包括确定最大工作速度，输入输出电压，时间参数和温度限制。如果原型器件通过性能测试，它可递交制造厂批量生产。一旦器件设计交付制造厂，必须设计测试程序来测试制造厂生产的产品。由于每一个电路设计有不同的用户要求和不同的内部逻辑元件，每一个设计要发展新的测试程序。典型的非制作机构能指定测试程序，它可能把设计调试或批量生产中的测试程序的开发和实现，包括设计调试、特测试、批量测试留给其他公司。工业“测试屋”的专门功能是开发测试程序和/或在IC开发的各步骤中进行实际的测量。一些制造厂进行实际的测量而不开发测试程序(包括软件，测试界面等)，它们靠测试屋或其他实体开发测试程序，此测试在任何不同的电路设计生产周期中完成，这时，IC通常已适合于卖给用户。附图说明图1表示非制作机构开发新IC从原始设计至最终产品的典型方法。非制作机构20首先对指定的IC的电路元件设计逻辑排布1，非制作机构20将用仿真2来确定IC是否按要求工作，这时在设计1中包含由仿真2确定的对设计1必要的改变。接着非制作机构20将产生该IC的设计图案，该设计图案用磁带记录，并送往制造厂30制造原型器件4。制造厂30可能自己既调试5A，又测试原型器件的参数7B，但也可能把原型器件送到测试屋40去调试5A和测参数7B。基于设计调试5A的结果，制造厂30或测试屋40可能改动设计7A或产生一个新的原型，当证实原型功能与期待的一致后，可以开始IC的批量生产。制造厂30的产品可在测试屋40测试和组装5B，该测试结果被传送到非制作机构20和制造厂30来矫正批量生产中发现的设计和/或生产的缺陷。最后，完成的IC可发往终端用户。由于由新的IC设计直至投放市场的重重步骤，如设计步骤，修补/调试步骤和检测步骤，制作一个新IC是困难和昂贵的，监视IC开发的所有步骤也是困难的，特别是非制作机构通常还要通过签订合同由第三方测试。监视包括评价和分析所得的结果和测试数据，例如，非制作机构会对IC性能的测试结果感兴趣，由此决定是否需要改变设计，以及由此改变所产生的效果。由于监视是困难的，设计，组装或其他步骤中本可预防的误差可能无法避免，另外，虽然非制作机构希望自己运行测试程序以加速检查测试数据，却可能缺乏所需的资源。在这种情形下，非制作机构可能不得不委托他人测试或者租用测试屋的设备。另一方面，本专利技术与远程监视和开发半导体制造过程的方法有关，按照本专利技术的这一方面，该方法包括运行和监视半导体远程测试系统，并从该半导体测试系统远程获取数据。再一方面，本专利技术与远程监视和开发半导体制造过程的装置有关，该装置包括多个远程工作站和一个测试系统，它们逐个通过远程接入网与一本地工作站相连。此外，如下的描述和附加的权利要求将显示本专利技术的其他方面和优点。图2是本专利技术的一个实施例的示意图。图3是本专利技术的另一个实施例的示意图。 具体实施例方式为了加速半导体制造的开发进程和降低费用，一些公司如非制作机构可能希望有能力在设计，调试和制作新IC的各个阶段进行远程监视(如同在它们自己的设备一样)，分析和运行IC测试程序。测试系统一般由“主机户”提供，它有自己的或租赁的测试设备。主机户可能是一个如上述“测试屋”的实体，也可能是集成器件制造商的一部分，它们为其他人如非制作机构提供测试服务。测试系统可能是用于半导体电路测试的一台带或不带辅助仪器的机器，例如Schlumberger Semiconductor Solution公司，San Jose，CA销售的ITS9000KX型测试仪，该仪器具有高产出效率和高精确度的优点，于是可以迅速测试大量半导体电路。辅助仪器可能包括例如芯片探针，器件操纵器，加温单元。另外，测试系统包括运行测试仪的计算机硬件和软件。本专利技术可以提供半导体测试用的计算机硬件，软件和测试系统的型号，但并不因此限制了本专利技术的应用范围。“客户”是想用主机户测试系统的实体，例如非制作机构，IDMs，或制造厂(它们可能不想自己作测试)。“主户网”表示一个本地工作站(LAN)，或主机户的企业内部互联网，类似的，“客户网”表示一个本地工作站(LAN)，即客户的企业内部互联网。本专利技术允许客户既可在主户的测试机上，又可在处于其他地点的测试机上监视和/或直接操作测试IC。图2是本专利技术的一个方案的实施例，其描述的测试程序开发可用于先前所述的ITS 9000型测试系统8中。在这个例子中，一个远程工作站1建在客户一方，远程工作站1有测试程序供客户在其上开发待测器件(DUT)。本专利技术系统可以包括一个由客户控制的客户开关2，客户开关2使客户可以通过接入网2A把远程工作站1连接到客户网1A，或者把远程工作站1选接到一个第一路由器4。在某些情形下，客户可能想把远程工作站1连接到客户网1A，以便于把驻留在客户设备的其他计算机(在图中没有表示)的测试程序或数据传送到远程工作站1。其实客户开关2并不限制本专利技术的适用范围，客户可以决定是否需要此开关。通过接入网3，第一路由器4把远程工作站1连接到第二路由器5。第一路由器4，第二路由器5和接入网3组成了“远程接入连接”本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种远程监视和开发半导体制造过程的装置，其特征在于：它包含：至少一个远程工作站，其通过远程接入网与一个本地工作站相连；一个测试系统，其通过远程接入网与此本地工作站相连。

【技术特征摘要】
US 2000-9-28 09/676,2921.一种远程监视和开发半导体制造过程的装置，其特征在于它包含至少一个远程工作站，其通过远程接入网与一个本地工作站相连；一个测试系统，其通过远程接入网与此本地工作站相连。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于还包括一个客户开关，其将客户网联结到至少一个远程工作站。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于还包括一个主机开关，该主机开关将主户网联结到测试系统，当主机户占用测试系统时，该主机开关防止客户接入测试系统。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于主机开关包括手动开关。5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于主机开关包括以太网开关。6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于主机开关包括计算机安全软件。7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于远程接入网包含一个广域通信网，其将本地工作站与远程工作站有效地相连。8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于远程接入网至少包含一个路由器。9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于该连接包括一个本地工作站，该本地工作站包含本地工作站和测试系统。10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于测试系统包含客户为测试器件各种性能而事先选择的辅助设备。11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于辅助设备包含加温单元。12.根据权利要求10所述的装置，其特征在于辅助设备包含芯片探针。13.根据权利要求10所述的装置，其特征在于辅助设备包含器件操纵器。14.一种远程监视和开发半导体制造过程的装置，其特征在于它包含众多的远程工作站，每一个远程工作站通过远程接入网与一个本地工作站相连；一个测试系统，它通过远程接入网与此本地工作站相连。...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗雷德里克W克里斯特，蒂莫西J瓦格纳，
申请(专利权)人：克雷登斯系统公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]