基片装卸装置制造方法及图纸

当输送装置（３；３ａ；３ｂ）设置在至少两个工站（６Ａ－６Ｄ；７Ａ－７Ｄ；８０Ａ－Ｈ）之间且至少这一个搬运装置（４，５；４ａ）被设置在输送装置（３；３ａ；３ｂ）的上方时，一种具有一个直线输送基片的输送装置（３；３ａ；３ｂ）和至少一个可转动的且用于在该输送装置（３；３ａ；３ｂ）和至少一个工站（６Ａ－６Ｄ；７Ａ－７Ｄ；８０Ａ－Ｈ）之间输送基片的搬运装置（４，５；４ａ）的基片装卸装置（１；１ａ；１ｂ）有少量部件和需要小块地方就足够了。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基片装卸装置，它具有一个直线输送基片的输送装置和至少一个在输送装置和至少一个工站间输送基片的可转动的搬运装置。例如在处理基片的设备中且尤其是在给基片上漆或涂覆的设备中知道了上述类型的基片装卸装置。在那里，第一搬运装置从一个输送装置中捡拾基片如CD/CD-R/DVD和其它数据存储器或数据载体以便上漆或涂覆并且基片被放在一个工站如上漆工站上。在加工后，第二搬运装置又捡拾基片并将其放在一个输出装置上或送往另一个工序。从US-A-4824309中知道了一种具有一个前真空室、一个缓冲室和一个加工室的真空处理装置。该装置在缓冲室中具有第一圆片托座以及它具有第二圆片托座，以便从前真空室中把圆片送往缓冲室的第一圆片托座。此外，设置了第三圆片托座，它把圆片从第一圆片托座送往加工室，其中第二、第三圆片托座具有传送带。Leybold公司的“Speedline Prospekt”(2/97，第6页-第9页)示出了一种整体式CD生产设备，其中用于制造CD的不同加工装置被整合在一台设备中。为输送构成CD的元件，同时采用传送带和机械爪。DE-C-19722408示出了一种在两条分开的输送路线上分头输送基片的方法和装置，该装置具有两个输送站、至少两个加工站和两个输出站。一个输送基片的输送装置可以绕一条转动轴线转动第一度并且它具有至少两个可以按预定角间距设置在一个绕该转动轴线的圆弧上的手爪。在两个加工站之间和在两个输出站之间的这两个输送站的角间距分别等于预定间隔角度，第一角度大于这个预定角度。从DE-C-4127341中还知道了一种对一个工件进行不同加工的装置。工件通过一个可直线运动的且具分别具有三个设置在其两侧的输送臂的输送滑架被送往一个圆分度工作台并从那里被取出。搬运装置具有一个基片爪，它可以在x、y、z方向上直线运动并绕z轴线转动。在这样的装置中，为给工站装卸工件而设置了独立的搬运装置和独立的输送和送走装置。由此一来，装置部件的占地需求大，这尤其是在洁净房间环境的情况下导致了高成本。基于这样的装置，本专利技术的任务是提出一种成本低廉的且具有少量部件且占地要求小的装置。根据本专利技术，在这样一种装置中如此完成了该任务，输送装置设置在至少两个工站之间，所述的至少一个搬运装置被设置在输送装置上方。把输送装置布置在至少两个工站之间具有以下优点，即通过设置在输送装置上方的可转动的搬运装置，可以占地小地装载许多工站。根据一个优选设计方案，搬运装置的转动中心位于输送装置的一条中心轴线上。搬运装置最好具有设置在一个外圆上的基片捡拾机构，它们等间隔地分布在外圆上。这产生了回转对称，这样的对称可以通过搬运装置转动实现简单地给多个工站装卸基片。为了能够在加工基片时不挡住工站并且避免介质转换，捡拾头最好设置在搬运装置的径向臂上，以便在它们之间形成自由空间。直线输送装置具有一条传送带，这是有利的，该传送带最好延伸于一个装载站和一个卸载站之间。这具有以下优点，即为了供应和送走基片，只需要一条传送带，由此减少了所需部件数量。根据一个特别优选的实施例，传送带具有用于基片的托座。在这种情况下，当可以规定保持不变的运动间歇时，托座在传送带运动方向上均匀间隔开以便简化传送带控制，这是有利的。为了形成相对搬运装置的对称性，托座设置在传送带的中心轴线上，或者总是至少有两个托座是相对中心轴线对称设置的，这简化了搬运装置的控制。如果至少两个托座被设置在外圆上，以便能够同时捡拾或放下多个基片，则这也是有利的。根据一个优选实施例，工站的捡拾头中点设置在外圆上并且工站最好完全相反地成对设置在外圆上。在这种情况下，最好组成对的工站是同一类型的。这又提高了装置的对称性并因而简化了搬运装置的控制。当用同一驱动装置驱动在外圆上紧邻设置的工站时，这是特别有利的，这减少了所需的驱动装置数量并缩减了与之有关的成本。搬运装置的捡拾机构的数量有利地等于设置在外圆上的托座和工站的数量。这使得在一个工序中有效地装卸在外圆上的所有工站和托座成为可能。在这种情况下，最好在装卸载时，所有捡拾头或是被安置在输送装置的托座上，或是被安置在工站的捡拾头中点上。根据一个优选实施例，设置了一个用于同时打开和关闭捡拾头的控制机构，以便同时让托座和工站捡拾基片或把基片放在其上。以下，结合优选实施例并参见附图来详细说明本专利技术，其中附图说明图1是具有一个根据本专利技术第一实施例的基片装卸装置的设备的俯视图；图2是具有一个根据本专利技术第二实施例的基片装卸装置的设备的俯视图；图3是具有一个根据本专利技术第二实施例的基片装卸装置的设备的俯视图。图1示出一台用于加工CD的设备。设备1包括根据本专利技术的基片装载装置2的第一实施例，它具有一个直线输送式输送装置3和两个搬运装置4、5。此外，设备1具有八个工站6A-6D和7A-7D，在这些工站上加工CD。设备1被安置在一个基体或机座8上，它例如是无机物铸锭。搬运装置4、工站6A-6D和直线输送装置3一起构成了设备1的第一组。此外，搬运装置5、工站7A-7D一起构成了对应于第一组的设备1的第二组。设备的第一组和第二组共同使用这一个直线输送装置3。第一实施例的装置2的直线输送装置3具有一条传送带13，它沿一条轨道14延伸。传送带13在输送装置3的转向端15、16上支承在一个空转轮17或一个主动轮18上。在直线输送装置3的端部16上设置了一个驱动装置19。驱动装置19是一个具有一个适当的未示出控制机构的伺服电动机，该驱动装置驱动主动轮18以便输送传送带13。直线输送装置3具有一条中心轴线20，传送带13的中心轴线也是这条中心轴线。在传送带13上设置了用于未示出CD的托座。在图1中，示出了八个托座21-28。托座21-28以均匀的间距d设置在传送带13的中心轴线20上。用于装卸CD的未示出的搬运装置与传送装置3的转向端15、16相邻。在图1中，CD在转向端15上通过一个适当的未示出的搬运装置被放到传送带13上并在经过加工后在转向端16上通过另一个未示出的适当的搬运装置被取走。搬运装置4、5通过适当的驱动装置而可以转动并可以抬高并且它们从上边被固定住地被设置在传送带13上方。由于搬运装置4、5基本上是一样的，所以，在图中只示出了搬运装置4。搬运装置4的转动轴线经过外圆41的中心点40。搬运装置4的转动轴线垂直与直线输送装置3的中心轴线20。搬运装置4分别具有六个捡拾机构或捡拾头42-47，它们设置在六个径向延伸的臂48-53上。捡拾头42-47适用于通过如打开和关闭来捡拾并又放下CD，为此可以通过一个未示出的控制机构来进行适当的控制。如图1所示，搬运装置4的捡拾头42-48位于外圆41上并且在外圆41上均匀间隔开。这六个捡拾头42-48分别以一个角度α＝60°设置在外圆41上。如上所述地，给这两个搬运装置4或5分别配备了工站6A-6D或7A-7D。因此，只描述工站6A-6D，但这也适用于与搬运装置5有关的工站7A-7D。工站6A和6C是上漆工站，它们具有一个转盘和可摆动的喷漆嘴。此外，它们具有带有用于要处理的CD的捡拾头中点60A、60C的捡拾头。工站6B和6D是边缘清理装置，它们具有一个转盘和一个用于在上漆后清理CD边缘的边缘刮刀。工站6B和6D也具有带有用于在工站上支承CD的捡拾头本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基片装卸装置（１；１ａ；１ｂ），它具有一个直线输送基片的输送装置（３；３ａ；３ｂ）和至少一个可转动的且用于在该输送装置（３；３ａ；３ｂ）和至少一个工站（６Ａ－６Ｄ；７Ａ－７Ｄ；８０Ａ－Ｈ）之间输送基片的搬运装置（４，５；４ａ），其特征在于，输送装置（３；３ａ；３ｂ）被设置在至少两个工站（６Ａ－６Ｄ；７Ａ－７Ｄ；８０Ａ－Ｈ）之间且所述的至少一个搬运装置（４，５；４ａ）被设置在输送装置（３；３ａ；３ｂ）的上方。

【技术特征摘要】
DE 1999-9-23 19945648.81.一种基片装卸装置(1；1a；1b)，它具有一个直线输送基片的输送装置(3；3a；3b)和至少一个可转动的且用于在该输送装置(3；3a；3b)和至少一个工站(6A-6D；7A-7D；80A-H)之间输送基片的搬运装置(4，5；4a)，其特征在于，输送装置(3；3a；3b)被设置在至少两个工站(6A-6D；7A-7D；80A-H)之间且所述的至少一个搬运装置(4，5；4a)被设置在输送装置(3；3a；3b)的上方。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，搬运装置(4，5；4a)的转动中心(40，65；40a)位于输送装置(3；3a；3b)的一条中心轴线(20；20b；20a)上。3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，搬运装置(4，5；4a)具有设置在一个外圆(41，66；41a)上的基片用捡拾头(42-47；400a-411a)。4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，捡拾头(42-47；400a-411a)等间隔地分布在外圆(41，66；41a)上。5.如权利要求3或4所述的装置，其特征在于，捡拾头(42-47；400a-411a)设置在搬运装置(4，5；4a)的径向臂(48-53；420-431)上。6.如前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，输送装置(3；3a；3b)具有一条传送带(13；13a；13b)。7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，传送带(13；13a；13b)延伸于一个装载站和一个卸载站之间。8.如权利要求6或7所述的装置，其特征在于，传送带(13；13a；13b)具有用于基片的托座(21-28；21a-28a)。9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，托座(21-28；21a-28a)在传送带(13；1...

【专利技术属性】
技术研发人员：K韦伯，M塞曼，J卡利斯，
申请(专利权)人：施蒂格哈马技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]