可扩充频道的半导体多管芯测试系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及一种可扩充频道的半导体多管芯测试系统及方法，用以测试至少一待测管芯的复数待测接脚、或测试复数待测管芯，此系统包括：一测试处理机、一测试装置及一多工器；其中，测试处理机具有总数少于该些待测接脚的复数测试频道且经由测试频道读取待测接脚的测试结果，测试模组对待测管芯进行测试而产生待测接脚的测试结果，多工器则依序切换接收测试结果，使测试结果轮流输出至测试频道；本发明专利技术可提高测试速度。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体多管芯的测试系统及方法，特别是一种，使用测试处理机中有限的测试频道(channel)进行接脚(pin)总数超过频道数的多个管芯的测试。附图说明图1显示了一传统半导体多管芯测试系统的方块图。此系统包括一测试处理机1(Handler/Prober)、测试装置2、及一界面装置3。测试处理机1包括一接收装置13，在接收装置13中放入晶片(图未显示)，而对晶片上其中一个待测管芯(Die)11进行测试。待测管芯11具有八个待测接脚P1-P8。显示器14则从八个测试频道15a-15h分别取得每一个接脚P1-P8的测试结果而将其显示。测试装置2包括与待测管芯11相对的测试模组21及测试机22。在执行数位测试(如嵌入内存(embedded memory)测试)时，测试机22控制测试模组21经由信号线L1发出一组测试信号至待测管芯11的待测接脚P1-P8，测试结果亦经由信号线L1传回再经测试模组21转送至测试机22。而在执行类比测试时，测试机22则略过测试模组21而直接对待测管芯11进行测试。测试机22经由信号线L2将测试结果送至界面装置3，经界面装置3转换信号接头后再经由信号线L3送回测试处理机1的测试频道15a-15h。利用上述传统的半导体多管芯测试系统进行管芯的测试步骤如下如图2所示，首先在步骤21中对晶片上选定的第一个待测管芯进行类比测试，即测试待测接脚的类比性质，如电压值、电流值等等。接着，在步骤22中再对此待测管芯进行数位测试，即测试待测接脚的逻辑运算功能，如输出代表特定数值的数位信号，此处可以是对嵌入内存(embedded memory)进行测试。再者，在步骤23中，若晶片上尚有第二个管芯需进行测试，则继续对第二个待测管芯重复上述步骤21及22；否则结束测试。从上述传统半导体多管芯测试系统及方法的说明中可以得知，在使用一组测试频道对多个管芯进行测试时，若管芯的总数大于该组测试频道的测试容量、或是所有管芯待测接脚的总数大于该组测试频道可提供的测试接脚总数时，由于测试频道不足，所有的管芯必需一个接着一个地轮流使用频道以进行测试，所花费的测试时间将随待测管芯数目的增加而增加，十分耗时。另外，由于在进行管芯测试时，数位测试所花费的时间占了全部测试时间的95％以上，若能缩短数位测试所需的时间，必能有效减少全部的测试时间。因此，为克服上述现有技术的不足，本专利技术特提供一种，在进行数位测试时，可使多个测试模组同时进行测试并将测试结果依序输入测试频道，使得在待测接脚总数大于测试频道数时亦可以进行快速的测试。本专利技术的一个目的在于提供一种可扩充频道的半导体多管芯测试系统，用以测试至少一待测管芯的复数待测接脚。其技术方案是此系统包括一测试处理机、一测试装置及一多工器。其中，测试处理机具有总数少于该些待测接脚的复数测试频道，且经由测试频道读取待测接脚的测试结果。测试模组对待测管芯进行测试而产生待测接脚的测试结果。多工器则依序切换接收测试结果，使测试结果轮流输出至测试频道。本专利技术的另一目的在于提供一种可扩充频道的半导体多管芯测试系统，用以测试多个待测管芯。其技术方案是此系统包括一测试处理机、一测试装置及一多工器。其中，测试处理机具有一组测试频道，经由测试频道逐一读取每一待测管芯的一组测试结果。测试装置对每一待测管芯进行测试而产生每一待测管芯的一组测试结果。多工器则依序轮流接收每一组测试结果，并将每一组测试结果轮流输出至测试频道。本专利技术的再另一目的在于提供一种半导体多管芯测试方法，使用一具有一组测试频道的测试处理机配合多个测试模组对多个待测管芯进行测试。其技术方案是其中每一测试模组对每一待测管芯进行测试而分别产生一组测试结果，测试处理机则经由测试频道读取每一待测管芯的一组测试结果。该方法包括以下步骤首先，令该些测试模组同时对该些待测管芯进行测试，使每一组测试结果于同时间产生。接着，使该测试处理机轮流使用该组测试频道逐一读取每一组测试结果。通过以上对本专利技术目的及技术方案的描述可知，本专利技术的，既可用以测试至少一待测管芯的复数待测接脚，又可同时测试多个待测管芯。上述的半导体多管芯测试方法，由于执行数位测试时是让多个管芯同时进行再依序读取其测试结果，不会让测试时间因管芯的增加而增加，且又因数位测试时间占全部测试时间的95％以上，所以亦有效减少了全部所需的测试时间，使本专利技术达到提高测试速度的效果。以下为本专利技术的附图图1为一传统半导体多管芯测试系统的方块图；图2为一传统半导体多管芯测试方法的流程图图3显示本专利技术一实施例中可扩充频道的半导体多管芯测试系统的方块图；图4显示本专利技术一实施例中半导体多管芯测试方法的流程图。图中元件符号说明1测试处理机 11、11a-11c待测管芯13接收装置14显示器15a-15h测试频道 L1-L3信号线21、21a-21c测试模组 22测试机3界面装置 4多工器p1-p8待测接脚下面结合附图对本专利技术做进一步详述图3显示了本专利技术的半导体多管芯测试系统的方块图，图3与图1中相同的元件使用相同或类似的符号。此系统包括测试处理机1、测试装置2、一界面装置3及一多工器4。测试处理机1包括一接收装置13，在接收装置13中放入一晶片(图未显示)，此晶片上具有三个待测管芯11a、11b、11c需进行测试。待测管芯11a、11b、11c各具有八个待测接脚p1-p8。显示器14则从八个测试频道15a-15h分别取得每一个接脚p1-p8的测试结果而将其显示。测试装置2包括与待测管芯11a、11b、11c相对的测试模组21a、21b、21c及测试机22。图3中本专利技术的半导体多管芯测试系统与图1中传统的半导体多管芯测试系统最大的不同即在于在测试模组与测试机之间增加一多工器4使本系统可使用一组测试频道15a-15h(其测试容量仅为一个管芯)，配合三个测试模组21a、21b、21c而进行三个待测管芯11a、11b、11c的测试。多工器4的作用在于可将测试模组21a、21b、21c所产生的测试结果依序切换输出至测试机22，使测试机22同时间只接受一组测试结果。因此，在执行数位测试(如嵌入内存测试)时，由于多工器4的存在，使得测试机22可令测试模组21a、21b、21c同时经由信号线L1a、L1b、L1c各发出一组测试信号至待测管芯11a、11b、11c的待测接脚p1-p8而同时取回测试结果，再借由多工器4的切换而依序将其输出至测试机22。在执行类比测试时，测试机22则略过测试模组21a、21b、21c与多工器4而直接对待测管芯11a、11b、11c以轮流的方式进行测试。测试机22经由信号线L2将测试结果送至界面装置3，经界面装置3转换信号接头后再经由信号线L3送回测试处理机1的测试频道15a-15h。上述本专利技术的半导体多管芯测试系统进行的测试步骤如下如图4所示，首先在步骤41中对11a的八个待测接脚p1-p8进行类比测试，即测试待测接脚p1-p8的类比性质，如电压值、电流值等等。接着，在步骤42中，若晶片上尚有管芯未完成类比测试则继续对下一个待测管芯(11b或11c)重复步骤41。在步骤43中再对三个待测管芯11a、11b、11c的八个待测接脚p1-p8同时进行数位测试，即测试待测接脚p1-p8本文档来自技高网...

【技术保护点】
用以测试至少一待测管芯的复数待测接脚的一种可扩充频道的半导体多管芯测试系统，其特征在于：该系统包括：具有总数少于该些待测接脚的复数测试频道、并由该些测试频道读取该些待测接脚的测试结果的一测试处理机；对该待测管芯进行测试而产生该些待测接脚的测试结果的一测试装置；依序切换接收该些测试结、并使该些测试结果轮流输出至该些测试频道的一多工器。

【技术特征摘要】
1.用以测试至少一待测管芯的复数待测接脚的一种可扩充频道的半导体多管芯测试系统，其特征在于该系统包括具有总数少于该些待测接脚的复数测试频道、并由该些测试频道读取该些待测接脚的测试结果的一测试处理机；对该待测管芯进行测试而产生该些待测接脚的测试结果的一测试装置；依序切换接收该些测试结、并使该些测试结果轮流输出至该些测试频道的一多工器。2.如权利要求1所述的可扩充频道的半导体多管芯测试系统，其特征在于其中该测试装置包括至少一组将一测试信号送入该些待测接脚、并读取该些待测接脚回馈的测试结果的测试模组。3.如权利要求2所述的可扩充频道的半导体多管芯测试系统，其特征在于其中该测试装置包括一用以控制该测试模组的动作的测试机。4.如权利要求3所述的可扩充频道的半导体多管芯测试系统，其特征在于其中该多工器连接于该些测试模组与该测试机之间。5.用以测试复数待测管芯的一种可扩充频道的半导体多管芯测试系统，其特征在于该系统包括具有一组测试频道且经由该组测试频道逐一读取每一待测管芯的一组测试结果的一测试处理机；对每一待测管芯进行测试而产生每一待测管芯的一组测试结果的一测试装置；依序轮流接收每一组测试结果、并将每一组测试结果轮流输出至该组测试频道的一多工器。6.如权利要求5所述的可扩充频道的半导体多管芯测试系统，其特征在于其中该测试装置包括每一测试模组将一测试信...

【专利技术属性】
技术研发人员：张国勇，
申请(专利权)人：华邦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]