用于纯化氟化液体的方法和使用该方法的纯化设备技术

本发明专利技术提供了根据本公开的一个实施方案的用于纯化氟化液体的方法，该方法包括执行提取步骤两次或更多次，该提取步骤包括使水与其中混合有清洁剂的氟化液体接触的第一步骤，以及将水接触后的混合溶液分离成两种液体的第二步骤，两种液体即位于上层的水相和位于下层的含有氟化液体的相，然后收集下层中的液体，其中在直至最终提取步骤与液体接触的水的总量为约30.0质量％或更少，清洁剂为溶解于氟化液体中的非质子极性溶剂，并且氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。氢氟烯烃或它们的混合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于纯化氟化液体的方法和使用该方法的纯化设备


[0001]本公开涉及一种用于纯化氟化液体的方法以及一种使用该方法的纯化设备。

技术介绍

[0002]例如，用于制造有机EL显示器的方法包括通过金属掩模在诸如玻璃的基底上蒸发RGB三色染料以形成有机发光层的步骤。由于金属掩模是昂贵的构件，因此在用清洁剂诸如N
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甲基
‑2‑
吡咯烷酮清洁金属掩模，然后使用氟化液体进行冲洗步骤和干燥步骤之后，金属掩模将被重复使用。
[0003]专利文献1(日本未经审查的专利申请公布No.2006
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313753)描述了一种清洁方法，其中当制造低分子量有机EL元件时，用于真空蒸发步骤中的金属掩模通过用包含非质子极性溶剂诸如N
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甲基
‑2‑
吡咯烷酮的清洁液组合物或用射流浸渍，然后用氢氟醚冲洗来清洁。
[0004]专利文献2(日本未经审查的专利申请公布No.H07
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076787)描述了一种金属清洁剂的纯化设备，其包括使用NMP作为金属清洁剂的清洁设备，以及纯化设备，该纯化设备在清洁之后从NMP清洁液中去除污染物并且使所得液体循环至清洁设备，其中纯化设备中提供的过滤材料为包含至少聚丙烯并且对NMP具有漂浮性的颗粒状过滤材料。
[0005]专利文献3(日本未经审查的专利申请公布No.2008
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163400)公开了一种清洁系统，其包括：清洁槽，其中储存包含选自(1a)烃、(1b)二醇醚和(1c)酯中的一者或多者的清洁液体，并且浸入待清洁的材料；冲洗液体罐，其中储存包含选自(2a)氢氟烃和(2b)氢氟醚中的一者或多者作为主要组分的冲洗液体，并且浸入待清洁的材料；蒸汽罐，其储存冲洗液体并产生冲洗液体的蒸汽；以及具有蒸馏器的纯化单元。
[0006]引用文献列表
[0007]专利文献
[0008][专利文献1]：JP 2006
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313753 A
[0009][专利文献2]：JP H07
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076787 A
[0010][专利文献3]：JP 2008
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163400 A

技术实现思路

[0011]一般来讲，增加清洁和冲洗操作次数也增大了清洁剂到冲洗罐中的混合速率。因此，冲洗罐被清洁剂污染，因此需要定期更换冲洗液体。然而，由于用作冲洗液体的氟化液体也是昂贵的溶剂，因此需要用于从被污染的冲洗液体中有效地收集和重复使用氟化液体的技术。
[0012]近年来，各国/地区纷纷出台了诸如减少环境载荷的法规，并且例如在各种生产线中，都要求采取措施来应对严格的排水法规，诸如减少废水。
[0013]本公开提供了一种用于纯化氟化液体的方法以及一种使用该方法的纯化设备，该方法有助于减少环境载荷并且对其中混合有清洁剂的氟化液体具有优异的纯化效率。
[0014]问题的解决方案
[0015]根据本公开的一个实施方案，提供了一种用于纯化氟化液体的方法，该方法包括执行提取步骤两次或更多次，该提取步骤包括使水与其中混合有清洁剂的氟化液体接触的第一步骤，以及将水接触后的混合溶液分离成两种液体的第二步骤，两种液体即位于上层的水相和位于下层的含有氟化液体的相，然后收集下层中的液体，其中在直至最终提取步骤接触的水的总量为约30.0质量％或更少，清洁剂为溶解于氟化液体中的非质子极性溶剂，并且氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。
[0016]根据本公开的另一个实施方案，提供了一种使用通过使用上述用于纯化氟化液体的方法纯化的氟化液体作为有机EL显示器制造设备中使用的构件的冲洗液体的方法。
[0017]根据本公开的又一个实施方案，提供了一种氟化液体纯化设备，该设备包括用于执行提取步骤两次或更多次的提取装置，该提取步骤包括使水与其中混合有清洁剂的氟化液体接触的第一步骤，以及将水接触后的混合溶液分离成两种液体的第二步骤，两种液体即位于上层的水相和位于下层的含有氟化液体的相，然后收集下层中的液体，其中在直至最终提取步骤接触的水的总量为约30.0质量％或更少，清洁剂为溶解于氟化液体中的非质子极性溶剂，并且氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。
[0018]专利技术的有益效果
[0019]根据本公开，可以提供一种用于纯化氟化液体的方法以及一种使用该方法的纯化设备，该方法有助于减少环境载荷并且对其中混合有清洁剂的氟化液体具有优异的纯化效率。
[0020]上文描述不应理解为公开了本公开的所有方面以及本公开的所有优点。
具体实施方式
[0021]下文将提供更详细的描述以便说明本公开的代表性实施方案，但本公开不限于这些实施方案。
[0022]在根据本公开的一个实施方案的用于纯化氟化液体的方法中，执行提取步骤两次或更多次，该提取步骤包括使水与其中混合有清洁剂的氟化液体接触的第一步骤，以及将水接触后的混合溶液分离成两种液体的第二步骤，两种液体即位于上层的水相和位于下层的含有氟化液体的相，然后收集下层中的液体，在直至最终提取步骤接触的水的总量为约30.0质量％或更少，此处所用的清洁剂为溶解于氟化液体中的非质子极性溶剂，并且氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。根据本公开的纯化方法，即使在直至最终提取步骤接触的水的总量低至约30.0质量％或更低，氟化液体的纯化效率也是优异的，并且废水量很少，因此可以有助于降低或抑制环境载荷。
[0023]可在本公开的用于纯化氟化液体的方法中混合的清洁剂为在各种构件的清洁期间使用的清洁剂，并且其示例包括在有机EL显示器制造设备中在金属掩模、防沉积板等的清洁期间使用的清洁剂。清洁剂不受特别限制，只要其为溶解于氟化液体中的非质子极性溶剂即可。其示例包括选自基于环酰胺的溶剂、基于胺的溶剂、基于二醇醚的溶剂、丙酮、二甲基亚砜和二甲基甲酰胺中的至少一者。这些清洁剂具有优异的清洁作用并且在水中比在氟化液体中更易溶，因此是本公开的使用水从氟化液体中去除清洁剂的纯化方法中的合适清洁剂。其中，从各种构件诸如金属掩模和防沉积板的清洁性能以及在氟化液体和水中的
溶解度平衡的角度来看，基于环酰胺的溶剂是优选的，并且N
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烷基吡咯烷酮溶剂诸如N
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甲基
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吡咯烷酮(NMP)和N
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丁基
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吡咯烷酮(NBP)或被称为γ
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内酰胺溶剂的溶剂是更优选的，并且N
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甲基
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吡咯烷酮(NMP)是特别优选的。此类非质子极性溶剂可单独使用或者以其两种或更多种组合使用。如果使用了上述清洁剂，则可通过本公开的纯化方法有效地纯化氟化液体。除了上述清洁剂之外，清洁剂还可包含在不抑制氟化液体的纯化效率的范围内的其他清洁剂；然而，从纯化效率等的角度来看，优选地不包含其他清洁剂。
[0024]清洁剂的沸点不受特别限制，但考虑到例如下述蒸馏步骤的应用，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于纯化氟化液体的方法，包括：执行提取步骤两次或更多次，所述提取步骤包括使水与其中混合有清洁剂的氟化液体接触的第一步骤，以及将水接触后的混合溶液分离成两种液体的第二步骤，所述两种液体即位于上层的水相和位于下层的含有所述氟化液体的相，然后收集所述下层中的液体，其中在直至最终提取步骤接触的水的总量为约30.0质量％或更少，其中所述清洁剂为溶解于所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且其中所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。2.根据权利要求1所述的纯化方法，其中在首次执行的所述第一步骤中接触的水量为3.0质量％至20.0质量％。3.根据权利要求1或2所述的纯化方法，其中执行所述提取步骤的次数为5次或更少。4.根据权利要求1至3中任一项所述的纯化方法，其中所述非质子极性溶剂为选自基于环酰胺的溶剂、基于胺的溶剂、基于二醇醚的溶剂、丙酮、二甲基亚砜和二甲基甲酰胺中的至少一者。5.根据权利要求1至4中任一项所述的纯化方法，其中水在所述氟化液体中的溶解度为500ppm或更小。6.根据权利要求1至5中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川雅一，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：