高分辨率焊接凸块形成方法技术

本发明专利技术涉及一种高分辨率焊接凸块形成方法，此方法利用介电层特别是离形膜以及激光开孔的方式或是电浆蚀刻的制程来精确定位晶圆上的焊接凸块的形成位置，因此可以于介电层内形成高分辨率精确对准的开口，使焊接凸块能准确形成于晶圆上的焊接凸块下金属层（ＵＢＭ）上，同时可进一步缩小焊接凸块的间距，并成功地形成高纵横比（Ｈｉｇｈ Ａｓｐｅｃｔ Ｒａｔｉｏ）细间距高密集度的焊接凸块，同时可大大节省制作时间，降低成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是一种可形成高纵横比(High Aspect Ratio)细间距高密集度的焊接凸块的焊接凸块形成方法。附图说明图1A至图1G显示一种传统封装制程的凸块形成方法。参考图1A所示，显示一焊接凸块形成前的组件封装结构，此组件封装结构包含一组件100、一焊垫102(Pad)、一保护层104(Passivation Layer)与一焊接凸块下金属层106(Under Bump Metal)。如图1B所示，为了形成焊接凸块于焊接凸块下金属层106上，必须形成一光阻层108于图1A所示的结构上。接着如图1C所示，以微影制程将光阻层108曝光显影以暴露出焊接凸块下金属层106，使焊接凸块能形成于焊接凸块下金属层106。接着如图1D所示，以电镀的制程将一焊接凸块(Solder Bump)110形成于焊接凸块下金属层106上，而一般电镀的过程繁复且耗时较长久制造成本较高。另一种形成焊接凸块于焊接凸块下金属层106上的方法是利用钢版(Stencil Mask)将焊锡膏利用印刷法填入钢版上的开口，前提是钢版上的图案必须与焊接凸块下金属层106精确对准。还有一种形成焊接凸块于焊接凸块下金属层106上的方法是利用一种光阻膜定义的印刷(Photo Film Defined Printing)方式，但是受限于光阻膜(Photo Film)的分辨率而不适于形成高纵横比(High Aspect Ratio)细间距(Fine Pitch)的焊接凸块。图1E显示形成焊接凸块110后移除光阻层108的结果。而图1F显示蚀刻焊接凸块下金属层106以曝露出保护层104的结果。在正式进行焊接前，经回焊(Reflow)制程加热后，焊接凸块110形成如图1G所示的型态。上述传统封装制程的凸块形成方法具有以下多项缺点。图1A至图1G所示的凸块形成方法使用了耗时且高成本的电镀制程，而使用钢版形成焊接凸块对准不易且钢版成本高。另外光阻膜定义的印刷(Photo Film Defined Printing)的方式受限于光阻膜(Photo Film)的分辨率而不适于形成高纵横比(High Aspect Ratio)细间距的焊接凸块。有鉴于上述传统封装结构与制程的缺点，因此有必要发展出一种新颖进步的结构与制程以克服传统结构与制程的缺点。本专利技术的另一目的为提供一种可形成较小的焊接凸块与焊接凸块间距的高纵横比焊接凸块形成方法。本专利技术的再一目的为提供一种对准精确度高的。为了达成上述的目的，本专利技术提供一种，该包含以下步骤首先提供一晶圆，其中该晶圆上具有多个焊垫、一具有多个开口以暴露出该焊垫的保护层及多个位于该焊垫上的焊接凸块下导体层；接着形成一介电层覆盖该晶圆；然后转移多个焊接凸块的图案进入该介电层以形成多个开口并暴露出该焊接凸块下导体层；最后将焊料如焊膏或微小焊球填入该开口及执行回焊制程。本专利技术的该方法之一包含以下步骤提供一晶圆，其中该晶圆上具有多个焊垫、一具有多个开口以暴露出该焊垫的保护层及多个位于该焊垫上的焊接凸块下导体层(UBM)；形成一非感光性介电层覆盖该晶圆；借助一垂直方向开孔加工的方法转移多个焊接凸块的图案进入该介电层以形成多个开口并暴露出该焊接凸块下导体层；将焊料填入该开口；对该晶圆执行一次回焊制程以形成多个焊接凸块；及移除该介电层。所述的该非感光性介电层包含一离形膜。所述的该垂直方向开孔加工的方法包含激光开孔法。所述的该垂直方向开孔加工的方法包含电浆蚀刻法。所述的该焊膏或微小焊球以刮刀印刷的方式填入。所述的该介电层移除后，对该晶圆执行一干式蚀刻制程清洗该晶圆表面。所上述的该介电层移除后，对该晶圆执行一次回焊制程。本专利技术的该方法之二包含以下步骤提供一晶圆，其中该晶圆上具有多个焊垫、一具有多个开口以暴露出该焊垫的保护层及多个位于该焊垫上的焊接凸块下导体层；依序形成一非感光性介电层覆盖该晶圆与一离形膜覆盖该非感光性介电层；以一垂直方向开孔加工的方法转移多个焊接凸块的图案进入该离形膜与非感光性介电层以形成多个开口并暴露出该焊接凸块下导体层；将焊料填入该开口；对该晶圆执行回焊制程以形成多个焊接凸块；及移除该离形膜。所述的该离形膜移除后，对该晶圆执行一干式蚀刻制程清洗该晶圆表面。所述的该离形膜移除后，对该晶圆执行一次回焊制程。图中符号说明100组件102焊垫104保护层106焊接凸块下金属层108光阻层焊接110凸块200芯片202焊垫204保护层206焊接凸块下金属层208介电层210焊膏或微小焊球212焊接凸块300芯片302焊垫304保护层306焊接凸块下金属层308介电层309介电层310焊膏或微小焊球312焊接凸块在此必须说明的是以下描述的制程步骤及结构并不包含完整的制程。本专利技术可以通过各种制程方法来实施，在此仅提及了解本专利技术所需的制程方法。以下将根据本专利技术所附图标做详细的说明，请注意图标均为简单的形式且未依照比例描绘，而尺寸均被夸大以利于了解本专利技术。在本专利技术的较佳实施例中，凸块形成方法应用于覆晶封装(FlipChip Package)制程上。图2A至图2G显示有关于包含集成电路芯片的晶圆部份的制程。图2A至图2G显示本专利技术较佳实施例中的包含集成电路芯片的晶圆部份的制程。参考图2A所示，显示本专利技术于焊接凸块形成前包含集成电路芯片的晶圆部份组件封装结构，此晶圆部份组件封装结构包含芯片200、焊垫202(Metal Pad)、保护层204(Passivation Layer)与焊接凸块下金属层206(Under Bump Metal)。焊垫202包含铝焊垫，但其它材料焊垫亦不应被排除。焊垫202可以传统的沉积、微影与蚀刻制程形成。保护层204可由传统方法形成。保护层204被传统的微影与蚀刻制程蚀刻以形成开口并曝露出焊垫202。焊接凸块下金属层206以传统的沉积、微影与蚀刻制程形成于开口内及焊垫202上。接着参考图2B所示，在图2A所示的结构上覆盖一介电层208，此介电层208以一离形膜(Release Film)较佳。而离形膜为一般封装制程所用的介电膜，可轻易地被剥离。在经过一道简易的清洗步骤后可被完全地移除。离形膜则用于定义焊接凸块的形成位置。接着参考图2C所示，介电层208被开孔以暴露出焊接凸块下金属层206，介电层208为离形膜，则可以激光开孔(Laser)的方式或是电浆蚀刻(Plasma Etching)的制程移除离形膜位于焊接凸块下金属层206上的部分，以形成开口。利用激光开孔或是电浆蚀刻可以达成高分辨率精确对准的开口，使焊接凸块能准确形成于焊接凸块下金属层上，同时可进一步缩小焊接凸块的间距，并成功地形成高纵横比(HighAspect Ratio)细间距高密集度的焊接凸块。接着参考图2D所示，将焊膏或微小焊球(Solder Paste/Solder Powder)210填入暴露出焊接凸块下金属层206的开口内，并将溢出的焊膏或微小焊球移除。焊膏由许多微小焊球或焊粉(Solder Powder)、溶剂与助焊(熔)剂(Flux)构成，而焊球通常为共晶成分的锡铅合金。参考图2E所示，图2D中所示的焊膏210经回焊和清洗制程形成图中的焊接凸块212。而当使用微小焊球则须于印刷后回焊前再加入助焊剂，如此可将焊球气泡缩减本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高分辨率焊接凸块形成方法，其特征在于，该方法包含： 提供一晶圆，其中该晶圆上具有多个焊垫、一具有多个开口以暴露出该焊垫的保护层及多个位于该焊垫上的焊接凸块下导体层（ＵＢＭ）； 形成一非感光性介电层覆盖该晶圆； 借助一垂直方向开孔加工的方法转移多个焊接凸块的图案进入该介电层以形成多个开口并暴露出该焊接凸块下导体层； 将焊料填入该开口； 对该晶圆执行一次回焊制程以形成多个焊接凸块；及 移除该介电层。

【技术特征摘要】
1.一种高分辨率焊接凸块形成方法，其特征在于，该方法包含提供一晶圆，其中该晶圆上具有多个焊垫、一具有多个开口以暴露出该焊垫的保护层及多个位于该焊垫上的焊接凸块下导体层(UBM)；形成一非感光性介电层覆盖该晶圆；借助一垂直方向开孔加工的方法转移多个焊接凸块的图案进入该介电层以形成多个开口并暴露出该焊接凸块下导体层；将焊料填入该开口；对该晶圆执行一次回焊制程以形成多个焊接凸块；及移除该介电层。2.如权利要求1所述的高分辨率焊接凸块形成方法，其特征在于，上述的该非感光性介电层包含一离形膜。3.如权利要求1所述的高分辨率焊接凸块形成方法，其特征在于，上述的该垂直方向开孔加工的方法包含激光开孔法。4.如权利要求1所述的高分辨率焊接凸块形成方法，其特征在于，上述的该垂直方向开孔加工的方法包含电浆蚀刻法。5.如权利要求1所述的高分辨率焊接凸块形成方法，其特征在于，上述的该焊膏或微小焊球以刮刀印刷的方式填入。6.如权利要求1所述的高分辨率焊接凸块形成方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：何昆耀，宫振越，
申请(专利权)人：威盛电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]