密封件、以及使用该密封件的片料容纳容器制造技术

一种介于由具有开口端部的容纳片料的容器本体（２０ａ）与盖体（２０ｂ）构成的片料容纳容器（２０）的所说开口端部与所说盖体之间的密封件（１０），所说密封件由以第一材料形成的基体部分（１１），以及以第二材料形成的、将所说基体部分的至少一部分覆盖的被覆部分（１２）构成，所说被覆部分具有与所说容器本体和盖体中的一方接触而形成密封的密封形成部。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种介于容纳半导体晶片和掩膜玻璃片等片料的片料容纳容器的开口端部与将开口端部封闭的盖体之间的密封件，以及使用该密封件的片料容纳容器。
技术介绍
过去，将片料容纳容器的开口部以盖体呈密封状态进行封闭时所使用的密封件，是将聚烯烃系、聚酯系等各种热塑性弹性体或者氟橡胶、EPDM(三元乙丙橡胶)等各种橡胶材料，使用成形模具做成无端状而成。为了防止污染所容纳的片料，如上得到的片料容纳容器用密封件是经过清洗后再使用的。现有的密封件是使设置在容器本体的开口部周缘或盖体的开口周缘部的槽部和凸部这样的嵌合部与密封件上呈凸部或槽部形成的卡合部分进行嵌合而加以使用的。这种密封件嵌合作业以手工方式进行。现有的密封件，整体由作为如前所述的弹性体的热塑性弹性体等形成。因此，受成形条件等的影响容易发生变形，尺寸的离散性也较大。特别是成形后容易粘贴在模具上，若在脱模时强制将其从模具上剥下，将导致周长尺寸不一致，而且，成形后进行保管时要使其严格保持原来形状是困难的，产品相互重叠导致冷却不均或所承受重量不同等也容易导致变形，诸如此类，其尺寸稳定性差。如前所述，密封件使用的是具有弹性而无刚性的材质，而且必须形成有凹凸形状以形成能够与盖体或容器本体进行嵌合的卡合部，因此密封件更容易粘贴在成形模具上，要实现脱模自动化是困难的，不得不以手工方式进行脱模。如上所述地得到的密封件，在如前所述地进行保管时也容易变形，因此处理时必须小心以防止其变形，保管和搬运时处理起来很麻烦。此外，片料容纳容器所使用的密封件在使用前要使用界面活性剂等清洗液、纯水、超纯水等冲刷水进行清洗，将密封件表面的颗粒等污染源除去之后使用。进行这种清洗时，为提高生产效率，要将多个密封件集中进行处理，而现有的由具有弹性的软材料制成的密封件形状不稳定而容易变成任何形状，因此若不采取措施直接进行清洗，则有可能因局部表面卷曲或重叠而无法充分得到清洗。为此，有一种方法是，将密封件对其施加很小的张力保持在作为清洗用保持部品而制成的框架上进行清洗，但该很小的张力和清洗时的加温会使密封件的尺寸稳定性更差。另外，在将密封件装在片料容纳容器的容器本体或盖体上加以使用时，密封件的卡合部整周必须牢靠嵌入，安装作业非常麻烦。特别是，当做成可容纳近年来成为主流的直径200mm以上的晶片等大直径片料的片料容纳容器时，开口部的周长当然更长，使得密封件安装作业变成一种非常耗费工时的作业。而为保证片料容纳容器的清洁度，要尽量避免作业人员介入，最好是以自动设备处理密封件。此外，在将密封件安装在容器本体或盖体的既定位置上时，即使密封件有一处未牢靠嵌入也会导致密封不良；取下盖体时，若密封件的部分卡止部脱离嵌合部而发生局部翘起，则下一次无法将盖体盖好；若密封件发生翘起等部分受到强力压缩，则容器部分与密封件之间发生的磨擦有可能产生颗粒而污染所容纳的片料。特别是近年来，为了提高工厂内的清洁度，上述片料容纳容器的盖体的装拆，以自动设备进行而替代以往的人工作业。因此，若出现密封件的周长存在离散性或发生变形，进行安装时嵌合不充分等现象，则有可能发生诸如在未注意到密封件发生错位的情况下将密封件夹在中间，以及因盖上盖体时受阻而引起盖体开合作业中断等故障，导致生产效率显著降低。本专利技术旨在解决以上存在的问题，其目的是，提供一种成形时尺寸离散性小且脱模性良好而且之后的清洗和保管中的处理和在片料容纳容器上的安装易于实现自动化的、处理过程中很少发生污染的、通过牢固安装在片料容纳容器上而在使用过程中不会因相对于卡止部分发生错位而翘起的密封件以及使用该密封件的片料容纳容器。专利技术的公开本专利技术属于一种介于由具有开口端部的容纳片料的容器本体与盖体所构成的片料容纳容器的所说开口端部与所说盖体之间的密封件，所说密封件由以第一材料形成的基体部分，以及以第二材料形成的、将所说基体部分的至少一部分覆盖的被覆部分构成，所说被覆部分具有与所说容器本体或盖体中的一方接触而形成密封的密封形成部。此外，最好是，所说第一材料为热塑性树脂，所说第二材料为热塑性弹性体。既可以是所说被覆部分将所说基体部分的整个区域覆盖，也可以是所说基体部分的一部分形成从所说被覆部分突出的翼片部。还可以是所说被覆部分形成于所说基体部分的外周侧面或内周侧面上，在所说被覆部分的一端形成有弯曲的突片作为所说密封形成部，另一端形成有可卡止在所说容器本体或盖体中的另一方上的卡止部。此外，本专利技术属于一种由具有开口端部的容纳片料的容器本体与盖体构成的片料容纳容器，介于所说开口端部与所说盖体之间有密封件，所说密封件由以第一材料形成的基体部分，以及以第二材料形成的、将所说基体部分的至少一部分覆盖的被覆部分构成，所说被覆部分其一端具有与所说容器本体或盖体中的一方接触而形成密封的密封形成部，另一端形成有可卡止在所说容器本体或盖体中的另一方上的卡止部，在所说容器本体或盖体中的另一方上形成有对所说卡止部进行保持的嵌合部。此外，所说基体部分为了保持密封件的形状而由硬质且具有刚性的第一材料形成，被覆部分由具有弹性的第二材料形成，与开口端部或盖体接触以形成密封，可避免因磨擦而产生颗粒。基体部分既可以是表面的大致整个区域由被覆部分覆盖的芯材部分，也可以是作为密封件的框体从表面露出，而其局部由被覆部分覆盖。附图的简单说明附图说明图1是根据本专利技术的密封件的第1实施形式的俯视图，图2是图1所示密封件的A-A向剖视图，图3是对图2的密封件的使用状态加以展示的剖视图，图4是使用本专利技术的实施形式的密封件的片料容纳容器的分解立体图，图5是根据本专利技术的密封件的第2实施形式的俯视图，图6是图5所示密封件的B-B向剖视图，图7是对图5所示密封件的使用状态加以展示的剖视图，图8是根据本专利技术的密封件的第2实施形式的变型例的俯视图。图9是对本专利技术的第2实施形式的密封件的使用状态的另一个例子加以展示的剖视图，图10是本专利技术的第3实施形式的密封件的立体图，图11是图10所示C-C向剖视图，图12是对图10所示密封件的使用状态加以展示的剖视图。专利技术的优选实施形式结合附图对根据本专利技术的密封件的实施形式以及使用该密封件的片料容纳容器的实施形式进行说明。如图1至图3所示，作为本专利技术的第1实施形式的密封件10，构成密封件10的芯材的基体部分11由作为第一材料的热塑性树脂形成，再形成对其进行被覆的、由作为第二材料的热塑性弹性体构成的被覆部分12而成为一体，是整体形状为角部带圆弧的矩形的无端部件。密封件10用于图4所示的片料容纳容器20中。片料容纳容器20由正面具有开口的容器本体10a和将开口部封闭的盖体20b构成。为了以水平状态支持片料，在容器本体20a的相向的内侧壁上，在垂直方向上以一定间隔设置的支持架21相向地向内突出。在容器本体20a上，底部安装有用来在装置上进行定位的底板22，并且根据需要，在侧部和顶部分别安装手工搬运用的把手23和自动搬运用的机用法兰盘24。此外，在容器本体20a的开口部周缘上，至少设置有一对用来卡止盖体20b的盖体卡合部25。为了将开口部沿整周封闭成密封状态，在盖体20b的侧壁上，安装有呈无端状形成的密封件10，在盖体20b的与容器本体20a开口部相向的内表面上，安装有朝向容器本体20a的内空间突出的一对保持架26，该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种介于由具有开口端部的容纳片料的容器本体与盖体所构成的片料容纳容器的所说开口端部与所说盖体之间的密封件，其特征是，所说密封件由以第一材料形成的基体部分，以及以第二材料形成的、将所说基体部分的至少一部分覆盖的被覆部分构成，所说被覆部分具有与所说容器本体或盖体中的一方接触而形成密封的密封形成部。

【技术特征摘要】
JP 2000-12-7 372527/001.一种介于由具有开口端部的容纳片料的容器本体与盖体所构成的片料容纳容器的所说开口端部与所说盖体之间的密封件，其特征是，所说密封件由以第一材料形成的基体部分，以及以第二材料形成的、将所说基体部分的至少一部分覆盖的被覆部分构成，所说被覆部分具有与所说容器本体或盖体中的一方接触而形成密封的密封形成部。2.如权利要求1所说的密封件，其特征是，所说第一材料为热塑性树脂，所说第二材料为热塑性弹性体。3.如权利要求1或2所说的密封件，其特征是，所说被覆部分将所说基体部分的整个区域覆盖。4.如权利要求1或2所说的密封件，其特征是，所说基体部分的一部分形成从所说被覆部分突出...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢岛敏嗣，镰田俊行，镰田俊行，
申请(专利权)人：信越聚合物株式会社，信越半导体株式会社，信越半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]