转运系统及转运方法技术方案

本发明专利技术实施例提供一种转运系统及转运方法，其中，转运系统包括：台车设备在运输轨道上移动；控制装置用于，当台车设备移动到第一预设位点，向台车设备发出第一控制信号；台车设备根据第一控制信号抓取第一类载具；控制装置还用于，当台车设备移动到第二预设位点，向台车设备发出第二控制信号；台车设备根据第二控制信号抓取第二类载具；第一类载具和第二类载具用于承载不同的半导体材料；使得台车设备可以在预设位点时基于不同的控制信号抓取不同类型的载具，从而提高了台车设备的可用性，节约成本。约成本。约成本。

【技术实现步骤摘要】
转运系统及转运方法


[0001]本专利技术涉及物料搬送领域，特别涉及一种转运系统及转运方法。

技术介绍

[0002]现有半导体自动物料搬送系统(AMHS系统)中有两种用途的台车，用于抓取不同规格的载具，例如用于搬运晶圆载具的台车，和用于搬运掩膜载具的台车，两种台车的使用区域不同，所以在台车上线前，需设定不同的控制程序从而使得台车在相应区域进行不同类型的载具搬运。
[0003]然而专利技术人发现：不同类型的台车之间相互独立不能交叉使用，且各自只能在特定区域发挥作用，造成了台车可用性降低、以及成本浪费的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种转运系统及转运方法，使得台车设备可以在预设位点时基于不同的控制信号抓取不同类型的载具，从而提高了台车设备的可用性，节约成本。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术的实施例提供了一种转运系统，包括：台车设备在运输轨道上移动；控制装置用于，当台车设备移动到第一预设位点，向台车设备发出第一控制信号；台车设备根据第一控制信号抓取第一类载具；控制装置还用于，当台车设备移动到第二预设位点，向台车设备发出第二控制信号；台车设备根据第二控制信号抓取第二类载具；第一类载具和第二类载具用于承载不同的半导体材料。
[0006]与现有技术相比，本实施例通过设计一种台车设备以及控制装置，使得台车设备在到达预设位点时，控制系统向台车设备发出相应的控制信号，台车设备基于控制信号以抓取相应类型的载具，从而实现了同一台车设备可以抓取不同类型的载具，提高了台车设备的可用性，节约成本。
[0007]另外，台车设备包括：台车本体，台车本体上设置有通讯接口，通讯接口用于接收第一控制信号或第二控制信号，台车本体基于第一控制信号或第二控制信号于运输轨道上移动；抓取组件，连接台车本体，用于根据第一控制信号抓取第一类载具，或根据第二控制信号抓取第二类载具。
[0008]另外，抓取组件包括：伸缩部，一端固定连接台车本体，另一端固定连接抓取部，且伸缩部的本体可伸缩；伸缩部用于根据第一控制信号伸长至第一长度，或根据第二控制信号伸长至第二长度；抓取部用于抓取第一类载具或第二类载具。
[0009]另外，抓取组件还包括：第一旋转部，伸缩部通过第一旋转部连接台车本体，第一旋转部用于控制伸缩部自转；第一旋转部用于，基于第一控制信号旋转伸缩部至第一预设角度，或基于第二控制信号旋转伸缩部至第二预设角度。本专利技术实施例给出的一种旋转抓取组件的方式，通过可旋转的抓取组件，实现抓取组件可以抓取不同类型的载具。
[0010]另外，抓取组件还包括：第二旋转部，抓取部通过第二旋转部连接伸缩部，第二旋转部用于控制抓取部自转；第二旋转部用于，基于第一控制信号旋转抓取部至第一预设角
度，或基于第二控制信号旋转抓取部至第二预设角度。本专利技术实施例给出的另一种旋转抓取组件的方式，通过可旋转的抓取组件，实现抓取组件可以抓取不同类型的载具。
[0011]另外，台车本体还包括：第一保护组件，设置在台车本体上；第二保护组件，可移动地设置在第一保护组件上，用于承载被抓取组件抓取的第一类载具的底部表面或第二类载具的底部表面；第一驱动组件，设置在第一保护组件上，用于控制第二保护组件在第一保护组件上移动。第一保护组件用于防止台车设备在移动的过程中，台车设备所抓取的载具的磕碰问题。
[0012]另外，第一保护组件包括：第一支撑杆，设置在台车本体上；第一滑块，第一滑块嵌套且可移动地设置在第一支撑杆上，且第二保护组件固定设置在第一滑块上；第一驱动组件设置在第一支撑杆上，用于控制第一滑块在第一支撑杆上移动。
[0013]另外，第一保护组件还包括；支撑杆固定部，固定连接第一支撑杆远离台车本体的一端。通过支撑杆固定部固定在第一支撑杆远离台车本体的一端，防止第一滑块在第一支撑杆上滑脱。
[0014]另外，第一支撑杆包括第一丝杆，第一驱动组件设置在第一丝杆上，用于控制第一丝杆旋转，第一滑块可移动地设置在第一丝杆上，在第一丝杆旋转的过程中，第一滑块沿第一丝杆设置的方向上移动。本专利技术实施方式给出的一种实现第一滑块在第一丝杆上滑动的实施方式。
[0015]另外，第二保护组件包括：第二支撑杆，可移动地设置在第一保护组件上，且第二支撑杆设置的方向与第一保护组件设置的方向相互垂直；第二滑块，第二滑块嵌套且可移动地设置在第二支撑杆上；支撑架，连接第二滑块，用于承载被抓取组件抓取的第一类载具的底部表面或第二类载具的底部表面。
[0016]另外，第二保护组件还包括：第二驱动组件，设置在第二支撑杆上，用于控制第二滑块在第二支撑杆上移动；当第二滑块处于第一预设位置时，支撑架处于收缩状态；当第二滑块处于第二预设位置时，支撑架处于打开状态；收缩状态为：支撑架之间的空隙尺寸大于第一类载具的尺寸或大于第二类载具的尺寸，打开状态为：支撑架之间的空隙尺寸小于第一类载具的尺寸或小于第二类载具的尺寸；第二滑块由第一预设位置向第二预设位置移动的过程中，支撑架由收缩状态变更为打开状态；第二滑块由第二预设位置向第一预设位置移动的过程中，支撑架由打开状态变更为收缩状态。支撑架包括打开状态和收缩状态，台车设备抓取载具，支撑架处于收缩状态；台车设备抓取载具移动时，支撑架处于打开状态，用以承载载具的底部表面，进一步保证台车设备在移动的过程中，台车设备所抓取的载具的稳定性。
[0017]另外，第二支撑杆包括：第二丝杆，第二驱动组件设置在第二丝杆上，用于控制第二丝杆旋转，第二滑块可移动地设置在第二丝杆上，在第二丝杆旋转的过程中，第二滑块沿第二丝杆设置的方向上移动。本专利技术实施方式给出的一种实现第二滑块在第二丝杆上滑动的实施方式。
[0018]另外，支撑架的一端固定设置在第二滑块上，通过伸缩或旋转的方式实现支撑架的打开状态和收缩状态的切换。本专利技术实施例给出的一种支撑架实现打开状态和收缩状态切换的实施方式。
[0019]另外，支撑架通过滚轮固定连接在第二滑块上，在第二滑块在第二支撑杆上移动
的过程中，推动滚轮的位置实现支撑架的打开状态和收缩状态的切换。本专利技术实施例给出的另一种支撑架实现打开状态和收缩状态切换的实施方式。
[0020]本专利技术实施例还提供了一种转运方法，应用于上述控制装置，包括：获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号；控制信号包括：台车设备所需抓取的载具的类型，以及台车设备所需移动的下一预设位点的位置；当台车设备于预设位点时，向台车设备发送对应的控制信号。
[0021]另外，控制信号还包括台车设备所需的旋转角度及伸长长度。
[0022]另外，获取台车设备于各个预设位点时所需的控制信号，包括：模拟台车设备在各个预设位点时执行的动作；记录台车设备在各个预设位点时执行的动作，获取转运记录；基于转运记录，生成台车设备在各个预设位点所需的控制信号。
[0023]相比于现有技术而言，本实施例通过控制装置先获取台车设备于各个位点所需的控制信号，在实际应用过程中，当台车设备到达相应的预设位点时，向台车设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转运系统，其特征在于，包括：台车设备、运输轨道以及控制装置；所述台车设备在所述运输轨道上移动；所述控制装置用于，当所述台车设备移动到第一预设位点，向所述台车设备发出第一控制信号；所述台车设备根据所述第一控制信号抓取第一类载具；所述控制装置还用于，当所述台车设备移动到第二预设位点，向所述台车设备发出第二控制信号；所述台车设备根据所述第二控制信号抓取第二类载具；所述第一类载具和所述第二类载具用于承载不同的半导体材料。2.根据权利要求1所述的转运系统，其特征在于，所述台车设备包括：台车本体，所述台车本体上设置有通讯接口，所述通讯接口用于接收所述第一控制信号或所述第二控制信号，所述台车本体基于所述第一控制信号或所述第二控制信号于所述运输轨道上移动；抓取组件，连接所述台车本体，用于根据所述第一控制信号抓取所述第一类载具，或根据所述第二控制信号抓取所述第二类载具。3.根据权利要求2所述的转运系统，其特征在于，所述抓取组件包括：伸缩部，一端固定连接所述台车本体，另一端固定连接抓取部，且所述伸缩部的本体可伸缩；所述伸缩部用于根据所述第一控制信号伸长至第一长度，或根据所述第二控制信号伸长至第二长度；所述抓取部用于抓取所述第一类载具或所述第二类载具。4.根据权利要求3所述的转运系统，其特征在于，所述抓取组件还包括：第一旋转部，所述伸缩部通过所述第一旋转部连接所述台车本体，所述第一旋转部用于控制所述伸缩部自转；所述第一旋转部用于，基于所述第一控制信号旋转所述伸缩部至第一预设角度，或基于所述第二控制信号旋转所述伸缩部至第二预设角度。5.根据权利要求3所述的转运系统，其特征在于，所述抓取组件还包括：第二旋转部，所述抓取部通过所述第二旋转部连接所述伸缩部，所述第二旋转部用于控制所述抓取部自转；所述第二旋转部用于，基于所述第一控制信号旋转所述抓取部至第一预设角度，或基于所述第二控制信号旋转所述抓取部至第二预设角度。6.根据权利要求2～5任一项所述的转运系统，其特征在于，所述台车本体还包括：第一保护组件，设置在所述台车本体上；第二保护组件，可移动地设置在所述第一保护组件上，用于承载被所述抓取组件抓取的所述第一类载具的底部表面或所述第二类载具的底部表面；第一驱动组件，设置在所述第一保护组件上，用于控制所述第二保护组件在所述第一保护组件上移动。7.根据权利要求6所述的转运系统，其特征在于，所述第一保护组件包括：第一支撑杆，设置在所述台车本体上；
第一滑块，所述第一滑块嵌套且可移动地设置在所述第一支撑杆上，且所述第二保护组件固定设置在所述第一滑块上；所述第一驱动组件设置在所述第一支撑杆上，用于控制所述第一滑块在所述第一支撑杆上移动。8.根据权利要求7所述的转运系统，其特征在于，所述第一保护组件还包括；支撑杆固定部，固定连接所述第一支撑杆远离所述台车本体的一端。9.根据权利要求7所述的转运系统，其特征在于，所述第一支撑杆包括第一丝杆，所述第一驱动组件设置在所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
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