一种薄膜蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种薄膜蒸镀装置，包括真空腔体，所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板，所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁，还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件，所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件；所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。本发明专利技术可实现薄膜的两面的镀膜工作，生产效率高，生产成本低，生产时间少，生产场地的占用空间小。生产场地的占用空间小。生产场地的占用空间小。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜蒸镀装置


[0001]本专利技术涉及薄膜蒸镀
，具体的是涉及一种薄膜蒸镀装置。

技术介绍

[0002]薄膜蒸镀，是指在薄膜的表面采用真空镀膜方法，将蒸镀材料沉积到薄膜的表面上。现有的薄膜蒸镀装置，在进行镀膜工作时，只可实现薄膜的其中一面的蒸镀工作，对薄膜的另一面的蒸镀则需将薄膜搬运到另外一个装置进行，生产效率低下，生产成本高，生产时间长，同时生产场地的占用空间大。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足，本专利技术提供一种薄膜蒸镀装置，可解决上述的技术问题。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种薄膜蒸镀装置，包括真空腔体，所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板，所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁，还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件，所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件；所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊，所述第一放卷辊靠近所述第四侧壁，所述第二过辊靠近所述第二侧壁，所述第一过辊位于第一放卷辊的正上方，所述第三过辊位于第二过辊的正上方，第二过辊和第三过辊位于第一放卷辊和第一过辊之间，所述第一收卷辊位于第三过辊的正上方，第一过辊位于第三过辊和第一收卷辊之间；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。
[0006]作为优选的技术方案，所述第一辊筒组件包括第一辊筒和第二辊筒，所述第一辊筒、第二辊筒的一端分别设置到所述盖板，另一端分别与所述本体内的底部相对，所述第一辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角对应，所述第二辊筒与所述第一侧壁和第二侧壁之间的拐角对应，所述第一辊筒和第二辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；所述第一放卷辊、第一过辊的一端分别可转动地设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端分别与所述第一侧壁相对，所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第二辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端分别与所述第一侧壁相对；所述本体内的底部在对应所述第一放卷辊和第二过辊之间的位置设有所述第一下部蒸发源；所述第一上部蒸发源与所述盖板平行，第一上部蒸发源位于所述第一过辊和第三过辊的下方且位于所述第一放卷辊和第二过辊的上方，第一上部蒸发源的一端固定设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒。
[0007]作为优选的技术方案，还包括设置到所述本体内的第二辊筒组件，所述第二辊筒组件设有至少一个第二辊组件；所述第二辊组件包括分别与所述第三侧壁相对的第二放卷辊、第四过辊、第五过辊、第六过辊和第二收卷辊，所述第二放卷辊靠近所述第二侧壁，所述
第五过辊靠近所述第四侧壁，所述第四过辊位于第二放卷辊的正上方，所述第六过辊位于第五过辊的正上方，第五过辊和第六过辊位于第二放卷辊和第四过辊之间，所述第二收卷辊位于第六过辊的正上方，第四过辊位于第六过辊和第二收卷辊之间；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第二下部蒸发源和第二上部蒸发源。
[0008]作为优选的技术方案，所述第二辊筒组件包括第三辊筒和第四辊筒，所述第三辊筒、第四辊筒的一端分别设置到所述盖板，另一端分别与所述本体内的底部相对，所述第三辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角对应，所述第四辊筒与所述第三侧壁和第四侧壁之间的拐角对应，所述第四辊筒和第三辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；所述第二放卷辊、第四过辊的一端分别可转动地设置到所述第三辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端分别与所述第三侧壁相对，所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第四辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端分别与所述第三侧壁相对；所述本体内的底部在对应所述第二放卷辊和第五过辊之间的位置设有所述第二下部蒸发源；所述第二上部蒸发源与所述盖板平行，第二上部蒸发源位于所述第四过辊和第六过辊的下方且位于所述第二放卷辊和第五过辊的上方，第二上部蒸发源的一端固定设置到所述第三辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒。
[0009]作为优选的技术方案，所述第一辊筒的一端固定设置到所述盖板，所述第二辊筒的一端可转动地设置到所述盖板；所述第一辊筒组件还包括第五辊筒，所述第五辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第五辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角相靠近，所述第二辊筒和第五辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；所述第一辊组件还包括分别与所述第二侧壁相对的第七过辊和第八过辊，所述第七过辊、第八过辊的一端分别可转动地设置到所述第五辊筒的靠近第二侧壁的一侧，另一端分别与所述第二侧壁相对，所述第七过辊位于所述第八过辊的正上方，当所述第二辊筒转动到使所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊分别与所述第二侧壁相对时，所述第七过辊与所述第一收卷辊平齐，所述第八过辊位于所述第一收卷辊和第三过辊之间；所述本体内的底部在对应所述第八过辊和第三过辊之间的位置设有第三下部蒸发源；所述本体的内部设有第三上部蒸发源，所述第三上部蒸发源与所述盖板平行，第三上部蒸发源的一端固定设置到所述第五辊筒的靠近所述第二侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒，当所述第二辊筒转动到使所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊分别与所述第二侧壁相对时，第三上部蒸发源位于所述第一收卷辊和第七过辊的下方且位于第八过辊和第三过辊的上方。
[0010]作为优选的技术方案，所述第三辊筒的一端固定设置到所述盖板，所述第四辊筒的一端可转动地设置到所述盖板；所述第二辊筒组件还包括第六辊筒，所述第六辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第六辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角相靠近，所述第六辊筒和第四辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；所述第二辊组件还包括分别与所述第四侧壁相对的第九过辊和第十过辊，所述第九过辊、第十过辊的一端分别可转动地设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端分别与所述第四侧壁相对，所述第九过辊位于所述第十过辊的正上方，当所述第四辊筒转动到使所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊分别与所述第四侧壁相对时，所述第九过辊与所述第二收卷辊平齐，所述第十过辊位于所述第二收卷辊和第六过辊之间；所述本体内的底部在对应所述第十过辊和第六过辊之间的位置分别设有第四下部蒸发源；所述本体的
内部设有第四上部蒸发源，所述第四上部蒸发源与所述盖板平行，第四上部蒸发源的一端固定设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒，当所述第四辊筒转动到使所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊分别与所述第四侧壁相对时，第四上部蒸发源位于所述第二收卷辊和第九过辊的下方且位于第十过辊和第六过辊的上方。
[0011]作为优选的技术方案，所述第一辊筒、第二辊筒的一端固定设置到所述盖板；所述第一辊筒组件还包括第五辊筒，所述第五辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第五辊筒与所述第三侧壁和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜蒸镀装置，包括真空腔体，所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板，所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁，其特征在于，还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件，所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件；所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊，所述第一放卷辊靠近所述第四侧壁，所述第二过辊靠近所述第二侧壁，所述第一过辊位于第一放卷辊的正上方，所述第三过辊位于第二过辊的正上方，第二过辊和第三过辊位于第一放卷辊和第一过辊之间，所述第一收卷辊位于第三过辊的正上方，第一过辊位于第三过辊和第一收卷辊之间；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。2.根据权利要求1所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第一辊筒组件包括第一辊筒和第二辊筒，所述第一辊筒、第二辊筒的一端分别设置到所述盖板，另一端分别与所述本体内的底部相对，所述第一辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角对应，所述第二辊筒与所述第一侧壁和第二侧壁之间的拐角对应，所述第一辊筒和第二辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；所述第一放卷辊、第一过辊的一端分别可转动地设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端分别与所述第一侧壁相对，所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第二辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端分别与所述第一侧壁相对；所述本体内的底部在对应所述第一放卷辊和第二过辊之间的位置设有所述第一下部蒸发源；所述第一上部蒸发源与所述盖板平行，第一上部蒸发源位于所述第一过辊和第三过辊的下方且位于所述第一放卷辊和第二过辊的上方，第一上部蒸发源的一端固定设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒。3.根据权利要求1所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，还包括设置到所述本体内的第二辊筒组件，所述第二辊筒组件设有至少一个第二辊组件；所述第二辊组件包括分别与所述第三侧壁相对的第二放卷辊、第四过辊、第五过辊、第六过辊和第二收卷辊，所述第二放卷辊靠近所述第二侧壁，所述第五过辊靠近所述第四侧壁，所述第四过辊位于第二放卷辊的正上方，所述第六过辊位于第五过辊的正上方，第五过辊和第六过辊位于第二放卷辊和第四过辊之间，所述第二收卷辊位于第六过辊的正上方，第四过辊位于第六过辊和第二收卷辊之间；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第二下部蒸发源和第二上部蒸发源。4.根据权利要求3所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第二辊筒组件包括第三辊筒和第四辊筒，所述第三辊筒、第四辊筒的一端分别设置到所述盖板，另一端分别与所述本体内的底部相对，所述第三辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角对应，所述第四辊筒与所述第三侧壁和第四侧壁之间的拐角对应，所述第四辊筒和第三辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；
所述第二放卷辊、第四过辊的一端分别可转动地设置到所述第三辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端分别与所述第三侧壁相对，所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第四辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端分别与所述第三侧壁相对；所述本体内的底部在对应所述第二放卷辊和第五过辊之间的位置设有所述第二下部蒸发源；所述第二上部蒸发源与所述盖板平行，第二上部蒸发源位于所述第四过辊和第六过辊的下方且位于所述第二放卷辊和第五过辊的上方，第二上部蒸发源的一端固定设置到所述第三辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒。5.根据权利要求2所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第一辊筒的一端固定设置到所述盖板，所述第二辊筒的一端可转动地设置到所述盖板；所述第一辊筒组件还包括第五辊筒，所述第五辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第五辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角相靠近，所述第二辊筒和第五辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；所述第一辊组件还包括分别与所述第二侧壁相对的第七过辊和第八过辊，所述第七过辊、第八过辊的一端分别可转动地设置到所述第五辊筒的靠近第二侧壁的一侧，另一端分别与所述第二侧壁相对，所述第七过辊位于所述第八过辊的正上方，当所述第二辊筒转动到使所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊分别与所述第二侧壁相对时，所述第七过辊与所述第一收卷辊平齐，所述第八过辊位于所述第一收卷辊和第三过辊之间；所述本体内的底部在对应所述第八过辊和第三过辊之间的位置设有第三下部蒸发源；所述本体的内部设有第三上部蒸发源，所述第三上部蒸发源与所述盖板平行，第三上部蒸发源的一端固定设置到所述第五辊筒的靠近所述第二侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒，当所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：发明
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