【技术实现步骤摘要】
本申请要求优先于2000年7月7日登记的美国临时专利申请系列No.60/217144,它在此处整个结合,以作为参考。本专利技术涉及一半导体制造装置,更具体一些,涉及在半导体制造装置中使用的本专利技术的锁料室(loadlock chamber)。附图说明图1为传统的处理系统11的适当部分的示意俯视图,该系统有一工厂边界圆片搬运器13,该搬运器用于在多个圆片载体装载站15a~15d和一处理厂17之间运输圆片。图1中所示的示例性处理系统11包括一边界室19和处理厂17,该厂在此例子中包括一对传统的锁料室23、与传统的锁料室23结合的传送室25和许多与传送室25结合的处理室27。一边界壁29位于圆片载体装载站15a~15d与处理系统11之间,以用于将一“白区”清洁室31与一较不清洁的“灰区”清洁室33分开。圆片载体装载站15a~15d位于“白区”清洁室31中,而处理系统11则位于较不清洁的“灰区”清洁室33中。圆片载体装载站15a~15d位于边界壁29的可密封的开口35的附近。圆片载体装载站15a~15d各自包括一圆片载体平台(未示出),以用于接纳一密封的容器(未示出)和一圆片载体打开器37,该打开器用于如同在本技术中已知的那样,用于接合并拉开与其余的容器连接的容器门闩(未示出)。边界室19包含安装在一导轨(未示出)上的边界圆片搬运器13。处理厂17的传送室25包含传送室圆片搬运器39,以用于在锁料室23与处理室27之间运输圆片(如圆片W)。在操作时,一包含圆片盒的容器(未示出)装在一个圆片载体装载站15a~15d上;圆片载体打开器37接合并拉开容器的容器门(未示出 ...
【技术保护点】
一锁料室,它包括:一用于保持静止的第一室部分;一用于相对于第一室部分移动的第二室部分;和一位于第一室和第二室部分之间的基体搬运器;其特征为,锁紧室用于采取:(a)一封闭位置,其中,第一和第二室部分彼此接触,以便界定能保持真空压力 的区域;(b)一打开位置,其中,第二室部分从第一室部分移开,以便界定一开口;和(c)一装载位置,其中,至少一部分基体搬运器穿过开口伸出。
【技术特征摘要】
US 2000-7-7 60/217,1441.一锁料室,它包括一用于保持静止的第一室部分;一用于相对于第一室部分移动的第二室部分;和一位于第一室和第二室部分之间的基体搬运器;其特征为,锁紧室用于采取(a)一封闭位置,其中,第一和第二室部分彼此接触,以便界定能保持真空压力的区域;(b)一打开位置,其中,第二室部分从第一室部分移开,以便界定一开口;和(c)一装载位置,其中,至少一部分基体搬运器穿过开口伸出。2.如权利要求1的锁料室,其特征为,第一室部分为一上室部分,以及第二室部分为一下室部分,该下室部分用于相对于第一室部分上升和下降。3.如权利要求2的锁料室,其特征为,第二室部分和基体搬运器用于作为一个单位相对于第一室部分上升和下降。4.如权利要求2的锁料室,其特征为,打开位置是这样一个位置,其中,第二室部分从第一室部分下降。5.如权利要求1的锁料室,其特征为,基体搬运器包括一叶板,它用于在锁料室处于装载位置时支承一基体并穿过开口伸出和从基体加载站收回基体。6.如权利要求1的锁料室,其特征为至少一个第一和第二室部分包括一室开口,用于允许基体往返锁料室被传送;以及锁料室用于采取一卸载位置,其中,第一和第二室部分彼此接触,以及至少基体搬运器的一部分经过室开口伸出。7.如权利要求6的锁料室,其特征为,室开口包括一闸阀(SlitValve)。8.如权利要求6的锁料室,其特征为,基体搬运器包括一叶板,它用于支承一基体并经过室开口伸出,并将基体传送至传送室。9.一系统,它包括结合至一传送室上的如权利要求6的锁料室。10.一锁料室,它包括一用于保持静止的第一室部分;一用于相对于第一室部分移动的第二室部分,其中,至少一个第一和第二室部分包括一第一开口,以用于允许基体往返锁料室被传送;以及一位于第一和第二室部分之间的基体搬运器;其特征为,锁料室用于采取(a)一封闭位置,其中,第一和第二室部分彼此接触,以便界定能保持真空压力的区域;(b)一打开位置,其中,第二室部分从第一室部分移开,以便界定一第二开口;(c)一装载位置,其中,至少一部分基体搬运器穿过第二开口伸出;以及(d)一卸载位置,其中,第一和第二室部分彼此接触,以及至少一部分基体搬运器穿过第一开口伸出。11.一锁料室,它包括一用于保持静止的顶部;一用于相对于第一部分上升和下降的底部;和一位于顶部和底部之间的基体搬运器;其特征为,锁料室用于采取(a)一封闭位置,其中,顶部和底部彼此接触,以便界定能保持真空压力的区域;(b)一打开位置,其中,底部从顶部下降,以便界定一开口;(c)一装载位置,其中,至少一部分基体搬运器穿过开口伸出。12.一锁料室,它包括一顶部,它用于保持静止,并包括一用于允许基体往返锁料室被传送的第一开口;一底部,它用于相对于顶部上升和下降;一位于顶部和底部之间的...
【专利技术属性】
技术研发人员:伊利亚佩尔洛夫,
申请(专利权)人:应用材料有限公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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