LSI掩模制造系统、LSI掩模制造方法及LSI掩模制造程序技术方案

一种用于大规模集成电路掩模制造的计算机执行方法，将连接至网络的光刻单元的性能信息储存在光刻单元数据库中。该方法从连接至网络的用户终端接收光刻数据和光刻预订条件。该方法将该光刻数据储存在光刻数据数据库中。该方法搜索符合该光刻预订条件的光刻单元，生成光刻单元列表，并将该列表发送给该用户终端。另外，该方法接收被该用户终端指定的光刻单元的信息并将光刻请求发送给被该用户终端指定的该光刻单元。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及制造大规模集成电路(LSI)系统的掩模的方法、系统、以及程序。
技术介绍
通常，需要根据每一半导体制造工艺制造掩模和光刻掩模版。因此，首先，基于大规模集成电路的设计通过使用计算机辅助设计(CAD)系统生成对应于多个掩模中的每个的掩模数据。接着，通过使用诸如电子束写入器的图案生成器生成能够被置于彼此之上的掩模，从而，完成了掩模组。进而，检查每一掩模。最后，检查之后的掩模将被用于半导体制造工艺。通常，诸如半导体制造者、半导体代工厂的客户指定掩模规格、特殊编号、以及交货时间，从而向掩模室订购掩模，掩模室在交货时间之前交货。然而，在这样的传统掩模制造方法和系统中，所有的时间安排及机器(例如图案生成器)都取决于掩模制造室方的决定，客户不能在掩模制造室方选择任何时间安排或机器。从而，当改变掩模设计或有其它事情发生时，制造者很难加急准备掩模。另外，取得掩模的传统方法和系统被提供给大客户，即订购和委托大量掩模制造的客户。因而，订购少量掩模制造的小客户很难订购，他们可能失去商业机会。而且，还存在涉及掩模生产的安全问题。因此，在研究和开发中绝对保密地制造掩模，在传统的掩模制造方法和系统中是不可能的。另外，在掩模室中，提高半导体制造的成本价格的一个因素是在多个地点(或站点)操作制造工具的人力费用。
技术实现思路
一种大规模集成电路掩模制造系统，包括网络；门户站点服务器，被配置以被连接至该网络；用户终端，被配置以被连接至该门户站点服务器；主终端，被配置以被连接至该网络；以及光刻单元，被配置以被连接至该主终端。一种大规模集成电路掩模制造系统，包括网络；门户站点服务器，被配置以被连接至该网络；用户终端，被配置以被连接至该门户站点服务器；主终端，被配置以被连接至该网络；以及掩模制造单元，被配置以被连接至该主终端。一种用于大规模集成电路掩模制造的计算机执行的方法，包括在光刻单元数据库中储存连接至网络的光刻单元的性能信息；接收来自连接至该网络的用户终端的光刻数据和光刻预订条件；在光刻数据数据库中储存光刻数据；搜索符合该光刻预订条件的光刻单元，生成光刻单元列表，并将该列表发送给该用户终端；以及接收被该用户终端指定的光刻单元的信息并将光刻请求发送给被该用户终端指定的光刻单元。一种用于大规模集成电路掩模制造的计算机执行的方法，该方法包括在掩模制造单元数据库中储存连接至网络的掩模制造单元的性能信息；接收来自连接至该网络的用户终端的数据和预订条件；在掩模制造数据数据库中储存该数据；基于该预订条件确定订购范围；搜索符合该预订条件的掩模制造单元，生成掩模制造单元列表，并将该列表发送给该用户终端；以及接收该被用户终端指定的掩模制造单元的信息并将请求发送给被该用户终端指定的掩模制造单元。一种用于和掩模制造单元一起使用的计算机程序产品，该计算机程序产品包括在光刻单元数据库中储存连接至网络的光刻单元的性能信息的指令；接收来自连接至该网络的用户终端的光刻数据和光刻预订条件的指令；在光刻数据数据库中储存光刻数据的指令；搜索符合该光刻预订条件的光刻单元，生成光刻单元列表，并将该列表发送给该用户终端的指令；以及接收被该用户终端指定的光刻单元的信息并将光刻请求发送给被该用户终端指定的光刻单元的指令。一种用于和掩模制造单元一起使用的计算机程序产品，该计算机程序产品包括在掩模制造单元数据库中储存连接至网络的掩模制造单元的性能信息的指令；接收来自连接至该网络的用户终端的数据和预订条件的指令；在掩模制造数据数据库中储存该数据的指令；基于该预订条件确定订购范围的指令；搜索符合该预订条件的掩模制造单元，生成掩模制造单元列表，并将该列表发送给该用户终端的指令；以及接收被该用户终端指定的掩模制造单元的信息并将请求发送给被该用户终端指定的掩模制造单元的指令。附图说明图1是示出根据本专利技术的第一实施例的大规模集成电路掩模制造系统的概要图；图2是示出图1中的门户站点服务器的框图；图3A和图3B是示出根据本专利技术的第一实施例的大规模集成电路掩模制造方法的流程图；图4是示出图3B中所示的光刻数据转送程序的流程图；图5是本专利技术的第一实施例的转送程序窗口的例子；图6是示出图3B所示的光刻预订程序的流程图；图7是本专利技术的第一实施例的光刻单元预订窗口的例子；图8是本专利技术的第一实施例的时间预报程序窗口的例子；图9是本专利技术的第一实施例的搜索结果显示窗口的例子；图10是示出图3B所示的配置程序的流程图；图11是本专利技术的第一实施例的光刻开始菜单的例子；图12是示出图3B所示的监控程序的流程图；图13是本专利技术的第一实施例的光刻状态监控窗口的例子；图14是示出图3B所示的终止程序的流程图； 图15是示出根据本专利技术的第一实施例的预订时间和收费时间之间的关系的图表；图16是示出根据本专利技术的第二实施例的掩模制造系统的概念图；图17是示出图16所示的掩模制造系统的框图；图18、图19A、以及图19B是示出根据本专利技术的第二实施例的掩模制造方法的流程图；图19C是示出图19B所示的终止程序的流程图；以及图20是本专利技术的第二实施例的选择窗口的例子。具体实施例方式下面将参考附图说明本专利技术的多个实施例。应当注意的是，在所有附图中，相同或同样的参考符号被用于相同或同样的部分和部件，相同或同样部分和部件的描述将被省略或简化。在以下的描述中，将阐明很多诸如具体信号值等的具体细节以提供对本专利技术的彻底理解。然而，对于本领域技术人员显而易见的是，在没有这些具体细节的情况下，本专利技术也可以在其它情况下实施。为了避免本专利技术在非必要的细节中不明确，所以以框图的形式显示了公知的电路。第一实施例-光刻系统的体系结构如图1和图2所示，根据本专利技术的第一实施例的大规模集成电路掩模制造系统包括门户站点服务器1，第一用户终端3a，第二用户终端3b，第三用户终端3c，具有第一光刻单元5a1、第二光刻单元5a2、和第三光刻单元5a3的第一主终端4a，具有第四光刻单元5b1、第五光刻单元5b2、和第六光刻单元5b3的第二主终端4b，具有第七光刻单元5c1、第八光刻单元5c2、和第九光刻单元5c3的第三主终端4c，具有第十光刻单元5d1、第十一光刻单元5d2、和第十二光刻单元5d3的第四主终端4d，以及连接该门户站点服务器1、该用户终端3a-3c和该主终端4a-4d的网络6。在本专利技术的第一实施例中，互联网被建议作为网络6的一个例子。然而，诸如LAN或个人计算机通信网络的其它网络是可替代选项和优选的。另外，第一主终端4a、第二主终端4b、第三主终端4c、以及第四主终端4d都可以在一个国家或多个国家连接至网络6。例如，下面的情况是可能的，第一主终端4a和第二主终端4b在日本连接至网络6，第三主终端4c在美国连接至网络6，第四主终端4d在德国连接至网络6。该门户站点服务器1接受第一用户终端3a、第二用户终端3b、以及第三用户终端3c的请求，并预订第一光刻单元5a1至第十二光刻单元5d3中之一，其被连接至第一主终端4a至第四主终端4d，并符合用户请求。第一用户终端3a、第二用户终端3b、以及第三用户终端3c可以和该门户站点服务器1通信。通过该门户站点服务器1，第一用户终端3a、第二用户终端3b、以及第三用户终端3c搜索光刻单元，进而连接至第一主终端4a至第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大规模集成电路掩模制造系统，包括：网络；门户站点服务器，被配置以被连接至所述网络；用户终端，被配置以被连接至所述门户站点服务器；主终端，被配置以被连接至所述网络；以及光刻单元，被配置以被连接至所述主终端。

【技术特征摘要】
JP 2002-3-27 2002-0900291.一种大规模集成电路掩模制造系统，包括网络；门户站点服务器，被配置以被连接至所述网络；用户终端，被配置以被连接至所述门户站点服务器；主终端，被配置以被连接至所述网络；以及光刻单元，被配置以被连接至所述主终端。2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述门户站点服务器包括光刻数据接收单元，被配置以从所述用户终端接收用于光刻程序的光刻数据和光刻预订条件；光刻数据数据库，被配置以储存所述光刻数据；光刻单元数据库，被配置以储存所述光刻单元的性能信息；光刻单元搜索单元，被配置以搜索符合所述光刻预订条件的光刻单元，生成光刻单元列表，并将所述列表发送给所述用户终端；以及光刻单元预订单元，被配置以接收被所述用户终端指定的光刻单元的信息，并将光刻请求发送给被所述用户终端指定的所述光刻单元。3.根据权利要求2所述的系统，还包括光刻收费单元，被配置以基于在所述光刻单元的实际使用时间计算收费额并发送帐单给所述用户终端。4.根据权利要求2所述的系统，还包括光刻数据删除单元，被配置以从所述光刻数据数据库中删除所述光刻数据。5.根据权利要求2所述的系统，还包括光刻时间预报单元，被配置以基于所述光刻预订条件估算光刻时间；光刻配置单元，被配置以在所述光刻单元设置用于大规模集成电路掩模制造的光刻条件的详细情况；以及光刻监控单元，被配置以从所述光刻单元接收光刻状态，并将所述光刻状态发送给所述用户终端。6.一种大规模集成电路掩模制造系统，包括网络；门户站点服务器，被配置以被连接至所述网络；用户终端，被配置以被连接至所述门户站点服务器；主终端，被配置以被连接至所述网络；以及掩模制造单元，被配置以被连接至所述主终端。7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述门户站点服务器包括数据接收单元，被配置以从所述用户终端接收用于大规模集成电路掩模制造的数据和预订条件；掩模制造数据数据库，被配置以储存所述数据和所述预订条件；掩模制造单元数据库，被配置以储存所述掩模制造单元的性能信息；订购范围确定单元，被配置以基于所述预订条件确定订购范围；掩模制造机器搜索单元，被配置以搜索符合所述预订条件的掩模制造单元，生成掩模制造单元列表，并将所述列表发送给所述用户终端；以及掩模制造机器预订单元，被配置以接收被所述用户终端指定的掩模制造单元的信息的信息并将请求发送给被所述用户终端指定的所述掩模制造单元。8.根据权利要求7所述的系统，还包括收费单元，被配置以基于在所述掩模制造单元的实际使用时间计算收费额并将帐单发送给所述用户终端。9.根据权利要求7所述的系统，还包括数据删除单元，被配置以从所述掩模制造单元删除数据。10.根据权利要求7所述的系统，还包括时间预报单元，被配置以基于所述预订条件估算在被所述用户终端指定的所述掩模制造单元的掩模制造时间；配置单元，被配置以在被所述用户终端指定的所述掩模制造单元设置用于掩模制造的条件的详细情况；以及监控单元，被配置以从被所述用户终端指定的所述掩模制造单元接收掩模制造状态，并将所述掩模制造状态发送给所述用户终端。11.根据权利要求6所述的系统，其中，所述掩模制造单元包括CAD单元，被配置以基于设计数据设计掩模图案，并生成用于掩模的光刻数据；光刻单元，被配置以使所述掩模图案在所述掩模的抗蚀膜上曝光；显影单元，被配置以使在所述光刻单元曝光的所述抗蚀膜显影；蚀刻单元，被配置以基于被所述显影单元显影的所述抗蚀膜蚀刻所述掩模的保护层；灰化单元，被配置以从所述掩模去除所述抗蚀膜；掩模检查单元，被配置以检查所述掩模图案的误差；以及调整单元，被配置以调整所述掩模图案的所述误差。12.根据权利要求7所...

【专利技术属性】
技术研发人员：小山清美，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]