一种液晶装置用的基板，在该基板上具有：多条数据线；与所述多条数据线交叉的多条扫描线；与所述多条数据线和所述多条扫描线对应而设置的多个薄膜晶体管；以及与该多个薄膜晶体管对应而设置的多个象素电极，其特征在于： 形成所述薄膜晶体管的下方的、至少与所述薄膜晶体管的沟道区重叠的第１遮光膜，和形成在所述薄膜晶体管的上方的、与所述沟道区重叠的第２遮光膜； 所述第２遮光膜的端部与相邻的所述象素电极的端部部分地重叠。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种适用于液晶装置用的基板和使用该基板的液晶装置、投射显示装置的技术。更详细地说，涉及以薄膜晶体管(以下，称为TFT)作为象素开关元件而使用的液晶装置用的基板中的遮光结构。
技术介绍
迄今，作为液晶装置，在玻璃基板上以矩阵状形成象素电极的同时，对应于各象素电极形成使用了非晶硅膜或多晶硅膜的TFT，以利用该TFT向各象素电极施加电压来驱动液晶的方式构成的液晶装置正趋于实用化。在所述液晶装置中作为TFT使用了多晶硅膜的装置，由于可用同样的工序在同一基板上形成构成移位寄存器等的外围驱动电路的晶体管，故适用于高集成化而引人注目。对于使用了所述TFT的液晶装置来说，用设置在对置基板上的称为黑色矩阵(或黑色条纹)的铬膜等遮光膜来覆盖象素电极驱动用的TFT(以下，称为象素TFT)的上方，以免光直接照射到TFT的沟道区上而引起漏泄电流流动。但是，有时因光引起的漏泄电流，不仅由于入射光、而且由于在液晶装置用的基板的背面用偏振片等反射的光照射TFT而流动。因此，已提出了为了减少因反射光引起的漏泄电流而在TFT的下侧也设置遮光膜的专利技术(特公平3-52611号)。但是，如果这样来形成设置在TFT的下侧的遮光膜，使其在对置基板上设置的黑色矩阵的开口部中露出，则存在入射光直接射到遮光膜上，被反射的光照射TFT的沟道区从而引起漏泄电流流动的情况。这是因为，在TFT的下方设置遮光膜的技术中，由于设置在对置基板上的黑色矩阵与在液晶装置用的基板上形成的象素区域的高精度的位置对准是困难的，故来自对置基板一侧的入射光直接射到在黑色矩阵的开口部中露出的遮光膜上而反射，照射TFT的沟道部，引起漏泄电流流动。特别是如果液晶装置用的基板上的遮光膜与黑色矩阵的位置对准的误差较大，则由遮光膜表面引起的反射光显著增多，因该反射光照射到沟道区上，TFT的漏泄电流增大，引起交扰(crosstalk)等的显示恶化。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在液晶装置中能减少TFT的因光引起的漏泄电流的技术。本专利技术的另一个目的在于提供一种在对置基板上不设置黑色矩阵的情况下能减少TFT的因光引起的漏泄电流的技术。为了达到上述目的，本专利技术的第1方面所述的一种液晶装置用的基板，在该基板上具有多条数据线；与所述多条数据线交叉的多条扫描线；与所述多条数据线和所述多条扫描线对应而设置的多个薄膜晶体管；以及与该多个薄膜晶体管对应而设置的多个象素电极，其特征在于形成所述薄膜晶体管的下方的、至少与所述薄膜晶体管的沟道区重叠的第1遮光膜，和形成在所述薄膜晶体管的上方的、与所述沟道区重叠的第2遮光膜；所述第2遮光膜的端部与相邻的所述象素电极的端部部分地重叠。在按照本专利技术的液晶装置用的基板中，所述第1遮光膜的端部与所述象素电极的端部部分地重叠。在按照本专利技术的液晶装置用的基板中，所述第1遮光膜在与所述数据线交叉的方向上伸展。在按照本专利技术的液晶装置用的基板中，所述第2遮光膜是所述数据线。在按照本专利技术的液晶装置用的基板中，以所述第1遮光膜和所述第2遮光膜，与所述象素电极的所有的边重叠。在按照本专利技术的液晶装置用的基板中，所述第1遮光膜由导电性的第1布线构成，在所述象素画面区域的外侧，与恒定电位线电连接。在按照本专利技术的液晶装置用的基板中，所述第1布线与扫描线驱动电路的负电源电连接。在按照本专利技术的液晶装置用的基板中，所述薄膜晶体管的半导体层，对所述扫描线至少交叉两次。按照本专利技术的一种液晶装置，其特征在于在上述液晶装置用的基板和具有对置电极的对置基板隔开规定的间隔而配置，并且在所述液晶装置用的基板和所述对置基板空隙内，封入液晶。在按照本专利技术的液晶装置中，在所述对置基板上，形成第3遮光膜。在按照本专利技术的液晶装置中，所述第3遮光膜至少覆盖所述第1遮光膜而形成。在按照本专利技术的液晶装置中，所述第3遮光膜与相邻的所述象素电极的端部重叠。在按照本专利技术的液晶装置中，在所述对置基板上分别对应于在所述液晶装置用的基板上形成的所述多个象素电极，以矩阵状形成微透镜。按照本专利技术的一种投射型显示装置，其特征在于，具备光源；对来自所述光源的光进行调制并使其透过或反射的上述的液晶装置；以及对利用该液晶装置进行了调制的光进行聚焦并进行放大和投射的投射光学装置。因而，光源变得更加明亮，即使强的光入射到液晶装置，TFT特性也不会受到影响，可提供一种能得到明亮的、高品位的图象质量的投射型显示装置。用以下的实施形态可清楚地说明本专利技术的这样的作用和其它优点。附图说明图1是示出应用了本专利技术的液晶装置用的基板的第1实施例的象素的平面图。图2是图1的A-A’线上的象素的剖面图。图3是按照工序顺序示出第1实施例的液晶装置用的基板的制造工序(前半部分)的剖面图。图4是按照工序顺序示出第1实施例的液晶装置用的基板的制造工序(后半部分)的剖面图。图5是示出应用了本专利技术的液晶装置用的基板的第2实施例的象素的平面图。图6是在图5的B-B’线上的象素的剖面图。图7是示出应用了本专利技术的液晶装置用的基板的第3实施例的象素的平面图。图8是在图7的C-C’线上的象素的剖面图。图9是示出应用了本专利技术的液晶装置用的基板的第4实施例的象素的平面图。图10是在图9的D-D’线上的象素的剖面图。图11是示出应用了本专利技术的液晶装置用的基板的第5实施例的象素的平面图。图12是示出应用了本专利技术的液晶装置用的基板的第6实施例的象素的平面图。图13是示出应用了本专利技术的液晶装置用的基板的第7实施例的象素的平面图。图14是在图13的E-E’线上的象素的剖面图。图15是示出应用本专利技术效果良好的液晶装置用的基板的系统构成例的框图。图16(a)是示出使用了与本专利技术有关的液晶装置用的基板的液晶装置的构成例的平面图，(b)是沿H-H’线的剖面图。图17是作为投射型显示装置的一例的液晶投影仪的概略构成图，该投射型显示装置应用使用了与本专利技术有关的液晶装置用的基板的液晶装置作为光阀。图18是示出在对置基板上使用了微透镜的液晶装置的构成例的剖面图。图19是示出应用了本专利技术的液晶装置用的基板的第8实施例的象素的平面图。图20是在图19的F-F’线上的象素的剖面图。1 半导体层2 扫描线(栅电极)3 数据线(第2遮光膜)4 象素电极与漏区的接触孔5 数据线与源区的接触孔6 对置基板一侧的黑色矩阵(第3遮光膜) 7 第1遮光膜10 基板11 第1层间绝缘膜12 栅绝缘膜13 第2层间绝缘膜14 象素电极15 第3层间绝缘膜16 电容线17 抗蚀剂掩模20 画面区域30 液晶装置31 对置基板32 液晶装置用的基板33 对置电极36 封口层37 液晶38 液晶注入孔39 封装材料40 外部输入输出端子50 数据线驱动电路51 X移位寄存器52 取样用的开关53 X缓冲器54～56 图象信号线60 扫描线驱动电路61 Y移位寄存器63 Y缓冲器80 微透镜90 象素 91 象素TFT370 光源373、375、376 分色镜374、377 反射镜378、379、380 光阀383 分色棱镜384 投射透镜具体实施方式以下根据附图说明应用本专利技术效果良好的实施例(实施例1)图1和图2示出应用本专利技术效果良好的液晶本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种液晶装置用的基板，在该基板上具有多条数据线；与所述多条数据线交叉的多条扫描线；与所述多条数据线和所述多条扫描线对应而设置的多个薄膜晶体管；以及与该多个薄膜晶体管对应而设置的多个象素电极，其特征在于形成所述薄膜晶体管的下方的、至少与所述薄膜晶体管的沟道区重叠的第1遮光膜，和形成在所述薄膜晶体管的上方的、与所述沟道区重叠的第2遮光膜；所述第2遮光膜的端部与相邻的所述象素电极的端部部分地重叠。2.如权利要求1所述的液晶装置用的基板，其特征在于所述第1遮光膜的端部与所述象素电极的端部部分地重叠。3.如权利要求2所述的液晶装置用的基板，其特征在于所述第1遮光膜在与所述数据线交叉的方向上伸展。4.如权利要求1所述的液晶装置用的基板，其特征在于所述第2遮光膜是所述数据线。5.如权利要求4所述的液晶装置用的基板，其特征在于以所述第1遮光膜和所述第2遮光膜，与所述象素电极的所有的边重叠。6.如权利要求1所述的液晶装置用的基板，其特征在于所述第1遮光膜由导电性的第1布线构成，在所述象素画面区域的外侧，与恒定电位线电连接。7.如权利要求6所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：村出正夫，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：
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