角度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种角度测量装置，用于测量晶棒定向时的转动角度，包括：Notch卡块，与所述晶棒上开设的Notch槽相配合；连接板，平行于所述晶棒的端面，且所述连接板的第一端连接所述Notch卡块；角度编码器，位于所述晶棒的中心轴线上，且连接所述连接板的第二端；在所述晶棒定向的过程中，所述Notch卡块卡入所述Notch槽，通过所述连接板带动所述角度编码器与所述晶棒同心旋转，以测量所述晶棒的转动角度。本实用新型专利技术实现了角度编码器与晶棒同心转动，减少或避免二者错位，从而提高晶棒转动角度测量的准确性和精度。度测量的准确性和精度。度测量的准确性和精度。

【技术实现步骤摘要】
角度测量装置


[0001]本技术涉及集成电路制造
，尤其涉及一种角度测量装置。

技术介绍

[0002]在集成电路制造
，通常需要在硅片上做一个Notch槽来标明晶体结构及硅片晶向，其中，硅片晶向的定向过程包括：对一晶棒进行定向，使所述晶棒的任一晶向垂直于粘棒托并将其粘接固定，随后，对所述晶棒进行线切割，从而形成具有目标硅片晶向的硅片。
[0003]在晶棒定向前，需要量测晶棒中原始晶体面的晶向，并结合设置的目标定向角度计算得到所述晶棒旋转至所述目标定向角度所需的转动角度；晶棒定向的过程中，连接有角度编码器的真空负压吸盘吸附在所述晶棒的端面并随着所述晶棒同心转动，通过所述角度编码器反馈接收所述晶棒的实时转动角度以使所述晶棒转动至目标定向角度。
[0004]然而，在所述真空负压吸盘与所述晶棒同心转动的过程中，所述晶棒端面的洁净度差会影响所述真空负压吸盘与晶棒端面的吸附情况，严重时可能造成错位；同时，所述晶棒的直径不均匀可能导致所述晶棒的中心不断变化，从而使得所述真空负压吸盘与所述晶棒不同心，而所述真空负压吸盘与所述晶棒不同心时也可能导致所述真空负压吸盘与所述晶棒端面在转动过程中发生错位。此外，由于不同晶棒具有的直径不同，当所述真空负压吸盘的直径与所述晶棒的直径差异过大时，所述真空负压吸盘无法稳定地吸附于所述晶棒的端面，从而影响测量结构的准确性，严重时甚至无法测量所述晶棒的转动角度，进而导致切割晶棒异常波动，无法达到理想切割晶向的效果。
[0005]鉴于此，需要一种装置提高晶棒转动角度测量的准确性和精度，同时适用于各种直径的晶棒的转动角度的测量。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种角度测量装置，确保角度编码器与晶棒同心转动，减少或避免二者错位，从而提高晶棒转动角度测量的准确性和精度。
[0007]为了达到上述目的，本技术提供了一种角度测量装置，用于测量晶棒定向时的转动角度，包括：
[0008]Notch卡块，与所述晶棒上开设的Notch槽相配合；
[0009]连接板，平行于所述晶棒的端面，且所述连接板的第一端连接所述Notch卡块；
[0010]角度编码器，位于所述晶棒的中心轴线上，且连接所述连接板的第二端；
[0011]在所述晶棒定向的过程中，所述Notch卡块卡入所述Notch槽，通过所述连接板带动所述角度编码器与所述晶棒同心旋转，以测量所述晶棒的转动角度。
[0012]可选的，所述连接板为可伸缩式连接板。
[0013]可选的，所述连接板的长度范围包括100mm～300mm，宽度范围包括5mm～10mm，高度范围包括3mm～5mm。
[0014]可选的，所述角度编码器通过一旋转轴连接所述连接板的第二端，且所述旋转轴与所述晶棒的端面垂直。
[0015]可选的，所述旋转轴的直径范围包括10mm～20mm，高度范围包括5mm～10mm。
[0016]可选的，所述角度编码器与所述旋转轴之间通过螺纹连接，并采用销轴结构固定。
[0017]可选的，所述角度编码器的表面中心设置有螺纹顶针，所述旋转轴的一端设置有与所述螺纹顶针相配合的螺纹孔。
[0018]可选的，所述连接板与所述旋转轴之间通过销轴结构固定。
[0019]可选的，所述Notch卡块平行于所述晶棒端面的截面为等腰直角三角形或扇形。
[0020]可选的，所述连接板与所述Notch卡块之间通过螺纹连接并采用销轴结构固定。
[0021]综上所述，本技术提供一种角度测量装置，用于测量晶棒定向时的转动角度，包括：Notch卡块，与所述晶棒上开设的Notch槽相配合；连接板，平行于所述晶棒的端面，且所述连接板的第一端连接所述Notch卡块；角度编码器，位于所述晶棒的中心轴线上，且连接所述连接板的第二端；在所述晶棒定向的过程中，所述Notch卡块卡入所述Notch槽，通过所述连接板带动所述角度编码器与所述晶棒同心旋转，以测量所述晶棒的转动角度。本技术实现了角度编码器与晶棒同心转动，减少或避免二者错位，从而提高晶棒转动角度测量的准确性和精度。
[0022]进一步的，所述连接板为可伸缩式连接板，可以通过实时调整所述连接板的长度使所述角度编码器与所述晶棒始终保持同心转动，减小或避免因晶棒直径不均匀或椭圆度较大导致的角度编码器错位，也扩大了所述角度测量装置的适用范围。
附图说明
[0023]图1为本技术一实施例提供的角度测量装置的结构示意图；
[0024]图2为本技术一实施例提供的角度测量装置中角度编码器与旋转轴的结构示意图；
[0025]图3为图2中所述的角度编码器与旋转轴组合后的结构示意图；
[0026]图4为本技术一实施例提供的角度测量装置中连接板的结构示意图；
[0027]其中，附图标记如下：
[0028]1‑
晶棒；11
‑
Notch槽；
[0029]2‑
角度测量装置；21
‑
Notch卡块；22
‑
连接板；23
‑
旋转轴；231
‑
螺纹孔；24
‑
角度编码器；241
‑
螺纹顶针；242
‑
销轴结构。
具体实施方式
[0030]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0031]图1为本技术一实施例提供的角度测量装置的结构示意图。参阅图1，本实施例所述的角度测量装置2用于测量晶棒1定向时的转动角度，包括：Notch卡块21，与所述晶棒1上开设的Notch槽11相配合；连接板22，平行于所述晶棒1的端面，且所述连接板22的第一端连接所述Notch卡块21；角度编码器24，位于所述晶棒1的中心轴线上，且连接所述连接
板22的第二端；在所述晶棒1定向的过程中，所述Notch卡块21卡入所述Notch槽11，通过所述连接板22带动所述角度编码器24与所述晶棒1同心旋转，以测量所述晶棒1的转动角度。
[0032]本实施例中，所述连接板22为可伸缩式连接板，可以通过实时调整所述连接板22的长度使所述角度编码器24与所述晶棒1始终保持同心转动，减小或避免因晶棒1直径不均匀导致的角度编码器24错位。可选的，所述连接板的长度范围包括100mm～300mm，宽度范围包括5mm～10mm，高度范围包括3mm～5mm。
[0033]继续参阅图1，本实施例中，所述角度编码器24通过一旋转轴23连接所述连接板22的第二端，且所述旋转轴23与所述晶棒1的端面垂直。可选的，所述旋转轴的直径范围包括10mm～20mm，高度范围包括5mm～10mm。
[0034]图2和图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种角度测量装置，用于测量晶棒定向时的转动角度，其特征在于，包括：Notch卡块，与所述晶棒上开设的Notch槽相配合；连接板，平行于所述晶棒的端面，且所述连接板的第一端连接所述Notch卡块；角度编码器，位于所述晶棒的中心轴线上，且连接所述连接板的第二端；在所述晶棒定向的过程中，所述Notch卡块卡入所述Notch槽，通过所述连接板带动所述角度编码器与所述晶棒同心旋转，以测量所述晶棒的转动角度。2.如权利要求1所述的角度测量装置，其特征在于，所述连接板为可伸缩式连接板。3.如权利要求1或2所述的角度测量装置，其特征在于，所述连接板的长度范围包括100mm～300mm，宽度范围包括5mm～10mm，高度范围包括3mm～5mm。4.如权利要求1或2所述的角度测量装置，其特征在于，所述角度编码器通过一旋转轴连接所述连接板的第二端，且所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周智元，季文明，谢金坤，康明，秦晓雄，高栋栋，严添悦，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：