本实用新型专利技术涉及光刻胶领域，具体为一种光刻胶均匀的喷涂装置，包括上箱体以及下箱体、所述上箱体包括喷涂舱、密封门、控制器以及操作键，所述喷涂舱内设有横向移动板、竖向导板以及竖向移动版，通过将产品安装在安装轴上，之后通过喷涂管上的抽料泵将料箱内的光刻胶抽到喷涂管上，并通过喷嘴喷到安装轴上的产品上，安装轴通过转动电机实现转动，使光刻胶在喷涂时更加均匀，通过第一滑动电机控制喷涂管上横向移动板上左右移动，通过第三滑动电机控制横向移动板在竖向移动板上前后移动，通过第二滑动电机控制竖向移动板在竖向导板上下移动，方便喷涂管调节适当的位置，提高光刻胶在喷涂时的均匀性。喷涂时的均匀性。喷涂时的均匀性。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶均匀的喷涂装置
[0001]本技术涉及光刻胶领域，具体为一种光刻胶均匀的喷涂装置。
技术介绍
[0002]在半导体制作中，需要通过在半导体元件上喷涂光刻胶以为下一步刻蚀做好工艺准备。
[0003]光刻胶需要通过溶剂溶解以形成粘稠液态，方能喷涂，而溶剂易于挥发，使得光刻胶暴露在空气中时，容易因溶剂挥发导致结晶，进而使得喷头在暂停作业一段时间后可能因为喷头端部残留的光刻胶结晶导致粘性消失而滴落，甚至使得喷头内光刻胶全部结晶而滴落，导致浪费，因此，还有改善空间。
[0004]现有专利“CN208969424U”公开了一种光刻胶喷涂装置，该技术方案如下：包括基座、工作台、主支架，主支架上设有喷头，基座上设有储液瓶，喷头包括与储液瓶连通的储液管，储液管一端朝向工作台，储液管朝向工作台的端部连接有覆盖储液管管口的挡板，挡板上开有若干喷液孔，挡板上滑动连接有隔断板，隔断板上开有若干过渡孔，过渡孔与喷液孔一一对应，储液管设有驱动隔断板滑动以使过渡孔与喷液孔正对或相错的驱动组件，该装置的结构简单，无法对喷涂的产品进行均匀喷涂，喷涂装置也无法根据喷涂需要调整合适的喷涂角度，影响了喷涂效果。
技术实现思路
[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种方便喷涂，喷涂效率高的光刻胶均匀的喷涂装置。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本技术的一种光刻胶均匀的喷涂装置，包括上箱体以及下箱体、所述上箱体包括喷涂舱、密封门、控制器以及操作键，所述喷涂舱内设有横向移动板、竖向导板以及竖向移动板，所述竖向导板安装在喷涂舱的两侧，所述竖向导板上设有滑动槽，所述竖向移动板与喷涂舱两侧的竖向导板设有滑动块连接，所述喷涂舱两侧的竖向导板上的竖向移动板之间设有连接杆连接，所述竖向移动板上设有滑动槽，所述横向移动板与竖向移动板的滑动槽之间设有滑动块连接，所述竖向移动板与竖向导板之间设有第二滑动电机，所述横向移动板与竖向移动板之间设有第三滑动电机，所述横向移动板上设第一滑动电机，所述喷涂舱内设有安装轴，所述安装轴位于横向滑动板的下方，所述上箱体的外侧设有转动电机，且所述转动电机与安装轴连接，所述控制器以操作键位于上箱体的前侧，且位于喷涂舱的一侧，所述密封门位于喷涂舱的前侧，所述喷涂舱内设有液压杆，所述液压杆与密封门连接，所述密封门的前侧设有拉杆，所述下箱体包括储物柜以及料箱，所述料箱位于储物柜的后侧，所述储物柜位于下箱体的前侧，所述下箱体的前侧设有柜门，所述柜门与储物柜之间设有铰接链连接，所述柜门上设有第二按手
槽，所述料箱上设有喷涂管，所述喷涂管一端贯穿料箱延伸至料箱内部，所述喷涂管的另一端固定在第一滑动电机的前侧，且所述喷涂管与第一滑动电机之间设有固定环连接，所述固定环与第一滑动电机之间设有固定螺栓连接，所述喷涂管位于第一滑动电机一端的端部设有喷嘴，所述喷涂管上设有抽料泵，且所述抽料泵位于喷涂舱内。
[0009]为了防止喷涂液到处滴落，本技术改进有，所述喷涂舱内设有漏洒槽，所述漏洒槽位于安装轴的下方，所述喷涂舱的底部设有移动槽，所述漏洒槽上设有滑动块与移动槽连接。
[0010]为了方便移动漏洒槽，本技术改进有，所述漏洒槽的前侧设有第一按手槽。
[0011]为了提高储物柜的储物效果，本技术改进有，所述储物柜包括上储物柜以及下储物柜，所述上储物柜与下储物柜之间设有隔板。
[0012]为了控制喷涂流量，本技术改进有，所述喷涂管上设有流量阀。
[0013]为了提高操作效果，本技术改进有，所述密封门上设有第一操作口以及第二操作口，且所述第一操作口与第二操作口对称设置，所述第一操作口以及第二操作口上设有操作手套。
[0014]为了方便移动或固定，本技术改进有，所述下箱体的底部设有滑轮，所述滑轮位于下箱体底部的边角处，所述滑轮上设有滑轮锁。
[0015](三)有益效果
[0016]与现有技术相比，本技术提供了一种光刻胶均匀的喷涂装置，具备以下有益效果：
[0017]该光刻胶均匀的喷涂装置通过将产品安装在安装轴上，之后通过喷涂管上的抽料泵将料箱内的光刻胶抽到喷涂管上，并通过喷嘴喷到安装轴上的产品上，安装轴通过转动电机实现转动，使光刻胶在喷涂时更加均匀，通过第一滑动电机控制喷涂管上横向移动板上左右移动，通过第三滑动电机控制横向移动板在竖向移动板上前后移动，通过第二滑动电机控制竖向移动板在竖向导板上下移动，方便喷涂管调节适当的位置，提高光刻胶在喷涂时的均匀性。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图；
[0019]图2为本技术图的正视结构示意图；
[0020]图3为本技术图的侧视剖面结构示意图；
[0021]图中：1、上箱体；2、下箱体；3、密封门；4、控制器；5、操作键；6、横向移动板；7、竖向导板；8、连接杆；9、竖向移动板；10、喷嘴；11、安装轴；12、第一滑动电机；13、喷涂管；14、固定环；15、液压杆；16、第二滑动电机；17、第三滑动电机；18、滑动槽；19、固定螺栓；20、第一按手槽；21、漏洒槽；22、移动槽；23、第一操作口；24、第二操作口；25、拉杆；26、柜门；27、第二按手槽；28、铰接链；29、滑轮；30、料箱；31、抽料泵；32、流量阀；33、转动电机；34、隔板；35、上储物柜；36、下储物柜；
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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3，本技术的一种光刻胶均匀的喷涂装置，包括上箱体1 以及下箱体2、所述上箱体1包括喷涂舱、密封门3、控制器4以及操作键5，所述喷涂舱内设有横向移动板6、竖向导板7以及竖向移动板9，所述竖向导板7安装在喷涂舱的两侧，所述竖向导板7上设有滑动槽18，所述竖向移动板9与喷涂舱两侧的竖向导板7设有滑动块连接，所述喷涂舱两侧的竖向导板7上的竖向移动板9之间设有连接杆8连接，所述竖向移动板9上设有滑动槽18，所述横向移动板6与竖向移动板9的滑动槽18之间设有滑动块连接，所述竖向移动板9与竖向导板7之间设有第二滑动电机16，所述横向移动板 6与竖向移动板9之间设有第三滑动电机17，所述横向移动板6上设第一滑动电机12，所述喷涂舱内设有安装轴11，所述安装轴11位于横向滑动板的下方，所述上箱体1的外侧设有转动电机33，且所述转动电机33与安装轴 11连接，所述控制器4以操作键5位于上箱体1的前侧，且位于喷涂舱的一侧，所述密封门3位于喷涂舱的前侧，所述喷涂舱内设有液压杆15，所述液压杆15与本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶均匀的喷涂装置，其特征在于，包括上箱体(1)以及下箱体(2)、所述上箱体(1)包括喷涂舱、密封门(3)、控制器(4)以及操作键(5)，所述喷涂舱内设有横向移动板(6)、竖向导板(7)以及竖向移动板(9)，所述竖向导板(7)安装在喷涂舱的两侧，所述竖向导板(7)上设有滑动槽(18)，所述竖向移动板(9)与喷涂舱两侧的竖向导板(7)设有滑动块连接，所述喷涂舱两侧的竖向导板(7)上的竖向移动板(9)之间设有连接杆(8)连接，所述竖向移动板(9)上设有滑动槽(18)，所述横向移动板(6)与竖向移动板(9)的滑动槽(18)之间设有滑动块连接，所述竖向移动板(9)与竖向导板(7)之间设有第二滑动电机(16)，所述横向移动板(6)与竖向移动板(9)之间设有第三滑动电机(17)，所述横向移动板(6)上设第一滑动电机(12)，所述喷涂舱内设有安装轴(11)，所述安装轴(11)位于横向滑动板的下方，所述上箱体(1)的外侧设有转动电机(33)，且所述转动电机(33)与安装轴(11)连接，所述控制器(4)以操作键(5)位于上箱体(1)的前侧，且位于喷涂舱的一侧，所述密封门(3)位于喷涂舱的前侧，所述喷涂舱内设有液压杆(15)，所述液压杆(15)与密封门(3)连接，所述密封门(3)的前侧设有拉杆(25)，所述下箱体(2)包括储物柜以及料箱(30)，所述料箱(30)位于储物柜的后侧，所述储物柜位于下箱体(2)的前侧，所述下箱体(2)的前侧设有柜门(26)，所述柜门(26)与储物柜之间设有铰接链(28)连接，所述柜门(26)上设有第二按手槽(27)，所述料箱(30)上设有喷涂管(13)，所述喷涂管(13)一端贯穿料...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟兴进，
申请(专利权)人：广州市鸿浩光电半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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