物料传送盒的清洁设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种物料传送盒的清洁设备，建构于一清洁加工区站中，包括一机械手臂、一前盖清洁腔室、一盒体清洗腔室、一盒体除液腔室及一盒体真空干燥腔室，凭借该机械手臂撷取并分离物料传送盒成为一前盖及一盒体，且能载运该前盖及盒体在不同腔室中依序进行湿清洗、除液及真空干燥的工序；其中，特别的是，该盒体能在单一的盒体除液腔室内能被带动自转，并且接受多个能在相异轴向提供呈面状分布的线性风力的风刀的喷吹，对于内部构造相对复杂的盒体而言，能提升其湿清洗后的除液效果。能提升其湿清洗后的除液效果。能提升其湿清洗后的除液效果。

【技术实现步骤摘要】
物料传送盒的清洁设备


[0001]本技术涉及在不同加工区站之间装填及移载物料用的传送盒，特别有关一种物料传送盒的清洁设备。

技术介绍

[0002]现有技术中，最接近本技术物料传送盒的，是一种用于载运半导体晶元的前开式晶元传送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP，以下简称晶元传送盒)。
[0003]半导体晶元在产制过程中，特别是在各个加工区站内，以及在各个加工区站之间载运晶元的过程中，对于洁净度的要求甚高，特别是避免环境中出现落尘微粒，而影响晶元的产制合格率。
[0004]且知，半导体晶元的载运，常见使用上述晶元传送盒，通过自动化搬运系统的运作，使多个晶元传送盒能分别在各个加工区站中撷取、容置晶元，并且能在各个加工区站之间移送晶元，而后在到达目标地的加工区站时卸载晶元。
[0005]晶元传送盒是由一可开启式的前盖和一盒体相互组扣而成，该盒体内部的双侧壁面上具有凸伸成梳状的肋片，用于支撑容置于内的晶元，使得每一晶元传送盒内都可容置多数片晶元。
[0006]基于洁净度的高标准要求，晶元传送盒在使用一段特定时间的后必须要进行自动化清洗。目前，已知的对晶元传送盒进行自动化清洗的较先进技术，可见于CN102804332B、TW201400202A(中国台湾专利)、CN1082222A、 US20140069467A1等专利，所述的这些专利公开教示于晶元的生产线中设置一清洁区站，并且利用自动化搬运系统将待清洗的晶元传送盒移送至该清洁区站的一装载端口(load port)上，利用清洁区站内的自动手臂(robot)撷取装载端口上的晶元传送盒，并将晶元传送盒的前盖和盒体先行分离，而后自动撷取该前盖和该盒体依序通过清洗液的湿清洗、负压环境的真空干燥等工序，以净化可能残留于该前盖和该盒体的内、外表面的微粒，进而提升无尘传送的洁净度。
[0007]且知，无尘传送晶元用的晶元传送盒，目前已经被应用至无尘传送高阶电路载板的场合，例如像崁入式多晶片互连桥接(Embedded Multi
‑
Die InterconnectBridge,EMIB)用电路载板或使用ABF作为增层材料的电路载板等，这些高阶电路载板的面域相对较传统PCB大，且采长方形的排版模式呈现，使得高阶电路载板的硬度也相对较传统PCB软。依此，当传送盒内的容置物必须由晶元变更成是高阶电路载板时，必须改变传送盒的内部构造，才能使每一个传送盒内能够稳定的容置多片高阶电路载板。
[0008]请参阅图1至图3，揭示现有用于容置所述高阶电路载板16(以下简称载板 16)的物料传送盒10的态样，其盒体11及前盖12具有晶元传送盒的相同特征，特别包括该盒体11的双侧壁面11a上具有凸伸成梳状的肋片13。此外，基于作为容置物的载板16的面域相对较大且较软，因此该盒体11内还必须形成由底部11b凸伸至容置腔14的悬状支撑杆15，以便利用双侧肋片13来支撑载板16 的双端16a，并且利用悬状支撑杆15来架持载板16之中段部16b，避免载板16 在物料传送盒10内发生塌陷或相互干涉的现象(详如图1、图2及图3所
示)。
[0009]由此可知，基于不同容置物的差异，会影响传送盒的盒体内部构造的复杂度，特别是，装载载板用的物料传送盒10，其盒体11内部具有梳状肋片13和悬状支撑杆15的整体构造相对较晶元传送盒的盒体构造复杂。
[0010]基于此因，在清洁内部构造相对较复杂的传送盒的盒体(例如像载板传送盒的盒体)时，上述已公开的传送盒清洁技术仍不理想。陈如CN102804332B专利中所公开的湿清洗、真空干燥技术，是最接近的现有技术，其教示：
[0011]1.在同一个湿清洗用的腔室内同时布设多个喷液嘴和吹气嘴，先利用喷液嘴对盒体进行喷洗之后，利用该腔室内布设的吹气嘴将盒体内、外表面上的液体残留物进行吹除。然而，不论所述的这些喷液嘴和吹气嘴为固定式或可转动式，都容易于同一个腔室内对盒体内具有凸伸的悬状支撑杆造成牵绊，因而抵减了整个清洁程序中的湿清洗效率及除液效率，甚至不利于在湿清洗的腔室内取、放所述内部构造较复杂的盒体。
[0012]2.真空干燥可以在同一个或不同的腔室内和湿清洗一起进行。然而，真空干燥所使用的红外线加热器的布设位置，不是针对具有悬状支撑杆或构造较复杂而生成诸多槽、肋死角的盒体而设计，因此同样存在着，容易造成牵绊以及抵减了干燥效率的问题。
[0013]3.在真空干燥过程中，仅有概念性的揭示，可以使用湿度传感器监测干燥过程和结束点。然而，却未进一步教示该湿度传感器如何在真空干燥腔室或其他位置对已清洗和干燥后的传送盒进行湿度监测的具体技术细节。
[0014]由上述可知，对于晶元传送盒进行自动清洁的现有技术，难以有效地被应用至清洁内部构造相对复杂的他款前开式物料传送盒，特别包含盒体内具有凸伸至盒内容置腔的悬状支撑杆的物料传送盒，故亟需加以研创并改进。

技术实现思路

[0015]本技术的目的，旨在改进现有对晶元传送盒进行自动清洁的技术，特别是针对盒体内部构造相对复杂的物料传送盒，研创出能提升湿清洗及真空干燥效率的技术。
[0016]本技术特别改善传统晶元传送盒的自动化清洁制程，使整个清洁制程能区分成一湿清洗工序、一除水工序及一真空干燥工序；为此，本技术一较佳实施例在于揭示1、一种物料传送盒的清洁设备，建构于一清洁加工区站中，其特征在于，该清洁设备包括：
[0017]一机械手臂，立置于该清洁加工区站中，能撷取并分离该物料传送盒成为一前盖及一盒体，该盒体具有一开口，该清洁加工区站的四周安装有：
[0018]至少一前盖清洁腔室，该机械手臂能撷取该前盖并置入至少一所述前盖清洁腔室内，进行前盖的湿清洗、除液及真空干燥；
[0019]至少一盒体清洗腔室，内置多个喷液嘴，该机械手臂撷取该盒体，使该开口罩设于至少一所述盒体清洗腔室内，多个所述喷液嘴能邻近地分布于该盒体的外表面及内表面的四周喷撒清洗液，而对该盒体进行湿清洗；
[0020]至少一盒体除液腔室，内置一转台及多个能在相异轴向提供呈面状分布的线性风力的风刀，该机械手臂撷取至少一所述盒体清洗腔室内的该盒体，使该开口罩设于该转台上，该转台能驱动该盒体自转而接受多个所述风刀在相异轴向提供线性风力的喷吹，而对该盒体进行除液；及
[0021]至少一盒体真空干燥腔室，设置包含一排气孔及多个热能元件，该排气孔用以撷取所述盒体真空干燥腔室内的空气并生成负压，该机械手臂撷取至少一所述盒体除液腔室内的该盒体，使该开口能罩设于所述盒体真空干燥腔室的底部；多个所述热能元件能邻近地分布于该盒体的外表面及内表面的四周生成热辐射，而对该盒体进行真空干燥。
[0022]在进一步实施中，该转台由中空格状框体制成，并且坐落于所述盒体除液腔室靠近底部的位置。
[0023]在进一步实施中，多个所述风刀包含一底部风刀及一侧向风刀，该底部风刀横跨于该转台的底部，该侧向风刀以垂立方式设置于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料传送盒的清洁设备，建构于一清洁加工区站中，其特征在于，该清洁设备包括：一机械手臂，立置于该清洁加工区站中，能撷取并分离该物料传送盒成为一前盖及一盒体，该盒体具有一开口，该清洁加工区站的四周安装有：至少一前盖清洁腔室，该机械手臂能撷取该前盖并置入至少一所述前盖清洁腔室内，进行前盖的湿清洗、除液及真空干燥；至少一盒体清洗腔室，内置多个喷液嘴，该机械手臂撷取该盒体，使该开口罩设于至少一所述盒体清洗腔室内，多个所述喷液嘴能邻近地分布于该盒体的外表面及内表面的四周喷撒清洗液，而对该盒体进行湿清洗；至少一盒体除液腔室，内置一转台及多个能在相异轴向提供呈面状分布的线性风力的风刀，该机械手臂撷取至少一所述盒体清洗腔室内的该盒体，使该开口罩设于该转台上，该转台能驱动该盒体自转而接受多个所述风刀在相异轴向提供线性风力的喷吹，而对该盒体进行除液；及至少一盒体真空干燥腔室，设置包含一排气孔及多个热能元件，该排气孔用以撷取所述盒体真空干燥腔室内的空气并生成负压，该机械手臂撷取至少一所述盒体除液腔室内的该盒体，使该开口能罩设于所述盒体真空干燥腔室的底部；多个所述热能元件能邻近地分布于该盒体的外表面及内表面的四周生成热辐射，而对该盒体进行真空干燥。2.如权利要求1所述物料传送盒的清洁设备，其特征在于：该转台由中空格状框体制成，并且坐落于所述盒体除液腔室靠近底部的位置。3.如权利要求1所述物料传送盒的清洁设备，其特征在于：多个所述风刀包含一底部风刀及一侧向风刀，该底部风刀横跨于该转台的底部，该侧向风刀以垂立方式设置于所述盒体除液腔室的内壁的一侧，且该底部风刀提供的线性风力能经由该开口而喷吹该盒体的内表面，该侧向风刀提供的线性风力能喷吹该盒体的外表面。4.如权利要求1所述物料传送盒的清洁设备，其特征在于：多个所述热能元件包含多个垂立式电热板，所述多个垂立式电热板系立置于所述盒体真空干燥腔室进而能植入该盒体的容置腔内，并且邻近地生成热辐射加热该盒体的内表面。5.如权利要求4所述物料传送盒的清洁设备，其特征在于：该盒体的一底部凸伸有至少一悬状支撑杆，该盒体的内表面包含该悬状支撑杆的四周表面，所述多个垂立式电热板植入双侧肋片和悬状支撑杆之间的间隙。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：叶步章，游立达，
申请(专利权)人：科峤工业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：