本实用新型专利技术提供了一种硅处理碱洗液循环装置，包括清洗槽、温水槽、过滤装置A、过滤装置B和收集槽；所述清洗槽的液体出口和温水槽的液体出口均与过滤装置A的液体进口连接；过滤装置A的液体出口与过滤装置B的液体进口连接，过滤装置B的液体出口与收集槽的液体进口连接；所述过滤装置A内安装有微孔滤膜，所述过滤装置B内安装有反渗透膜。该碱液循环装置具有结构简单、设计合理、实用性强的优点。使用该碱液循环装置对清洗槽和温水槽内的碱水进行处理，可有效减少碱水中的有机杂质和无机杂质，使碱水符合重复利用标准，实现对清洗槽和温水槽内的碱水重复利用，减少碱液的浪费，降低清洗成本。洗成本。洗成本。
【技术实现步骤摘要】
一种硅处理碱洗液循环装置
[0001]本技术涉及硅处理装置
，具体涉及一种硅处理碱洗液循环装置。
技术介绍
[0002]硅清洗的目的是清除其表面的污染杂质，清洗方法以化学方法最为常用，具有清除效果好、对硅表面无损伤的优点。
[0003]化学法清洗硅常用的清洗剂为碱液，使用碱液清洗时，先将硅和洗篮在清洗槽内浸泡，然后提出洗篮进行温水浸泡，这个过程中，碱液会随着硅和洗篮进入温水槽中，进而使清洗槽内的碱液总量降低，而温水槽内的碱液由于碱浓度低、含有杂质等缺点一般不会继续使用，导致碱浪费；而对于清洗槽内的碱液，在经过多次使用后会含有颗粒杂质，使得碱液难以重复使用，导致碱液浪费，提高成本。可见，提供一种对碱液处理的装置以实现碱液循环利用对硅清洗来说具有重要意义。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的上述不足，本技术提供了一种硅处理碱洗液循环装置，具体为一种设有过滤装置A和过滤装置B、过滤装置A内安装有微孔滤膜、过滤装置B内安装有反渗透膜的碱液循环装置。该碱液循环装置具有结构简单、设计合理、实用性强的优点。使用该碱液循环装置对清洗槽和温水槽内的碱水进行处理，可有效减少碱水中的有机杂质和无机杂质，使碱水符合重复利用标准，实现对清洗槽和温水槽内的碱水重复利用，减少碱液的浪费，降低清洗成本。
[0005]在现有技术的基础上，本技术提供了一种硅处理碱洗液循环装置，包括清洗槽、温水槽、过滤装置A、过滤装置B和收集槽；
[0006]所述清洗槽的液体出口和温水槽的液体出口均与过滤装置A的液体进口连接；
[0007]过滤装置A的液体出口与过滤装置B的液体进口连接，过滤装置B的液体出口与收集槽的液体进口连接；
[0008]所述过滤装置A内安装有微孔滤膜，所述过滤装置B内安装有反渗透膜；
[0009]通过过滤装置A，对清洗槽和温水槽的碱液进行一次过滤，获得滤液A，避免滤液A对过滤装置B产生堵塞，通过过滤装置B对滤液A进行二次过滤，使经过处理后的滤液B能够满足清洗槽中碱液洁净度需求，利于对碱液进行循环利用。
[0010]自清洗槽清洗后，将洗篮和硅片移至温水槽中，对洗篮和硅片表面的碱液进行初步冲洗，使硅片表面的碱液得到稀释，因此，温水槽中每次使用后，需要更换水，为下次使用做准备；在更换水时，会产生水浪费和自清洗槽带出的碱浪费，将温水槽与过滤装置A连接后，可将该部分碱水收集，减少水浪费，做到节能环保。
[0011]优选的，所述收集槽的顶部安装有加料口，从加料口中向收集槽内加入碱，对收集槽内滤液B的浓度调整，使调整后的滤液B浓度与清洗槽的碱水浓度相同，从而能够直接用于清洗槽中使用。
[0012]优选的，在清洗槽的液体进口连接有补液槽，收集槽的液体出口分别与补液槽的液体进口和清洗槽的液体进口连接；通过该设置，可及时向补液槽和清洗槽中补充碱液，促使碱液循环、流动使用。
[0013]优选的，在清洗槽与过滤装置A的连接管路上安装有阀门A、在温水槽与过滤装置A的连接管路上安装有阀门B；可根据需求分别开启阀门A和阀门B，对碱水处理。
[0014]优选的，所述微孔滤膜的孔径在0.2
‑
0.45μm之间，可有效地去除碱水中的颗粒杂质。
[0015]优选的，所述反渗透膜的孔径在0.5
‑
5nm之间，可有效的去除滤液A中的盐类、有机杂质等。
[0016]相对于现有技术，本技术的有益效果在于，通过设置过滤装置A和过滤装置B，可对清洗槽和温水槽中的碱水进行过滤处理，减少碱水中的有机杂质和无机杂质，从而获得的滤液B可进行重复利用，提高碱水的利用率，降低硅清洗成本；上述设置使该碱液循环装置具有结构简单、设计合理、实用性强的优点。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术的结构示意图。
[0019]图中，1
‑
清洗槽，2
‑
温水槽，3
‑
过滤装置A，4
‑
过滤装置B，5
‑
收集槽，6
‑
补液槽，7
‑
阀门A，8
‑
阀门B，9
‑
加料口。
具体实施方式
[0020]为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0021]如图1所示，本技术提供了一种硅处理碱洗液循环装置，包括清洗槽1、温水槽2、过滤装置A3、过滤装置B4和收集槽5；
[0022]在清洗槽1的液体进口连接有补液槽6；
[0023]清洗槽1的液体出口和温水槽2的液体出口均与过滤装置A3的液体进口连接；
[0024]在清洗槽1与过滤装置A3的连接管路上安装有阀门A7、在温水槽2与过滤装置A3的连接管路上安装有阀门B8；可根据需求分别开启阀门A7和阀门B8，对碱水处理；
[0025]过滤装置A3的液体出口与过滤装置B4的液体进口连接，过滤装置B4的液体出口与收集槽5的液体进口连接；
[0026]收集槽5的液体出口分别与补液槽6的液体进口和清洗槽1的液体进口连接；
[0027]过滤装置A3和过滤装置B4均为管式过滤器；
[0028]过滤装置A3内安装有微孔滤膜，过滤装置B4内安装有反渗透膜；
[0029]微孔滤膜的孔径在0.2
‑
0.45μm之间，本申请中，采用0.45μm的微孔滤膜可有效地去除碱水中的颗粒杂质；
[0030]反渗透膜的孔径在0.5
‑
5nm之间，本申请中，采用5nm的反渗透膜可有效的去除滤液A中的盐类、有机杂质等；
[0031]收集槽5的顶部安装有加料口9，便于对收集槽5内的滤液B进行浓度调整，使调整后的滤液B(碱液)能够直接用于清洗槽1中的使用需求，实现对碱液进行循环利用；
[0032]通过过滤装置A3，对清洗槽1和温水槽2的碱液进行一次过滤，获得滤液A，避免滤液A对过滤装置B4产生堵塞，通过过滤装置B4对滤液A进行二次过滤，使经过处理后的滤液B能够满足清洗槽1中碱液洁净度需求，利于对碱液进行循环利用。
[0033]以上对本技术进行了详细介绍。本实施例中的“上”、“下”、“左”和“右”是相对说明书附图中的位置说明的。尽管通过参考附图并结合优选实施例的方式对本技术进行了详细描述，但本技术并不本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅处理碱洗液循环装置，其特征在于，包括清洗槽、温水槽、过滤装置A、过滤装置B和收集槽；所述清洗槽的液体出口和温水槽的液体出口均与过滤装置A的液体进口连接；过滤装置A的液体出口与过滤装置B的液体进口连接，过滤装置B的液体出口与收集槽的液体进口连接；所述过滤装置A内安装有微孔滤膜，所述过滤装置B内安装有反渗透膜。2.如权利要求1所述的硅处理碱洗液循环装置，其特征在于，所述收集槽的顶部安装有加料口。3.如权利要求1所述的硅处理碱洗液循环装置，其特征在于，在清洗槽的液体进口连接有补液槽，收集槽的液体出口分别与补液槽的...
【专利技术属性】
技术研发人员：石坚，刘世伟，
申请(专利权)人：山东辰宇稀有材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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