【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于检测半导体制备设备的测试衬底的回收。
技术介绍
在制备半导体器件的过程中,各种不同材料可能被沉积在半导体晶片或其他衬底(substrate)上。这些材料可包括例如铜、铝、钨、钽的金属以及各种其他金属和化合物。其他沉积在晶片上的材料包括硅和各种氧化物及其他非金属材料。可利用各种技术,包括溅射(也称之为物理气相沉积或PVD)、化学气相沉积(CVD)和热生长,来沉积这些材料。除了材料沉积,还可进行其他制备工艺,包括用杂质掺杂半导体层、扩散、离子注入、蚀刻、化学机械抛光(CMP)、清洗和热处理。为了检测这些制备工艺,经常使用测试晶片来确保这些工艺是按照合适的规范进行的。因而,例如,为检测铜溅射工艺,可将测试晶片置入铜溅射工具内,且铜被溅射沉积到测试晶片上。然后可检查测试晶片来核实所得的沉积铜层是符合规范。如果否,则可调整对铜溅射工具的控制,并用同一测试晶片或另一个测试晶片再次检测工具,直至所期望的铜沉积层可以可靠地获得。在用过的测试晶片不能再用于后续检测之后,与其丢弃它们,不如回收这些用过的测试晶片。回收工艺一般包括除去所有沉积的层和材料,并除去一些下层的硅材料,使得测试晶片余下的硅材料是干净的,基本不含附加的材料或其他杂质。所以,回收工艺意在恢复测试晶片以满足与新的测试晶片相同的规范,除了其厚度之外。为避免污染,优选的做法是将其上已沉积铜的测试晶片与其他没有铜沉积的测试晶片分开回收。类似地,将有金属沉积的测试晶片与仅有非金属沉积的测试晶片分开回收一般是优选的。为实现这一点,经常把要回收的用过的测试晶片划分到其中一个回收类别,然后将其存放在盒 ...
【技术保护点】
一种回收用于检测半导体制备工具的测试衬底的方法,包括:从多个测试衬底读取多个测试衬底标识数据;以及为每个读取的测试衬底,从数据库中获得已存储的回收工艺标识数据,所述已存储的回收工艺标识数据标识了为回收每个读取的测试衬底而选择的回收工艺。
【技术特征摘要】
US 2003-5-19 10/440,9371.一种回收用于检测半导体制备工具的测试衬底的方法,包括从多个测试衬底读取多个测试衬底标识数据;以及为每个读取的测试衬底,从数据库中获得已存储的回收工艺标识数据,所述已存储的回收工艺标识数据标识了为回收每个读取的测试衬底而选择的回收工艺。2.如权利要求1所述的方法,还包括将所述读取的多个测试衬底分类成多个组,每个测试衬底组具有与其相关联的共同的回收工艺,所述工艺是为回收所述组的每个读取的测试衬底而选择的。3.如权利要求2所述的方法,还包括将每组读取的测试衬底存放在盒中,并用表示与所述组相关联的所述共同的回收工艺的标记来标明所述每组的盒。4.如权利要求3所述的方法,还包括用表示存放在所述组的盒中的每个测试衬底的测试衬底标识数据的标记来标明每组的盒。5.如权利要求1所述的方法,其中所述测试衬底是由选自硅、砷化镓、锗和玻璃的材料制得的。6.如权利要求2所述的方法,其中所述分类的所述多个组包括第一组,所述第一组包括具有非金属沉积的测试衬底,而不包括具有金属沉积的测试衬底。7.如权利要求6所述的方法,其中所述分类的所述多个组包括第二组,所述第二组由曾暴露于铜的测试衬底组成。8.如权利要求7所述的方法,其中所述分类的所述多个组包括第三组,所述第三组包括具有金属沉积的测试衬底,而不包括曾暴露于铜的测试衬底。9.如权利要求1所述的方法,还包括利用如所述存储的回收工艺标识数据所标识的、为回收所读取的测试衬底而选择的回收工艺来回收每个读取的测试衬底。10.如权利要求2所述的方法,还包括利用为回收所述组的每个读取的测试衬底而选择的所述共同的回收工艺来回收每组的每个读取的测试衬底。11.一种回收用于检测半导体制备工具的测试衬底的方法,包括将多个测试衬底标识数据存储进数据库,每个测试衬底标识数据标识多个测试衬底中的一特定的测试衬底;为回收由所述多个测试衬底标识数据所标识的所述多个测试衬底的其中每一个衬底,从多个回收工艺中选择一回收工艺;以及将多个测试衬底回收工艺标识数据存储进所述数据库中,每个存储的测试衬底回收工艺标识数据与存储的测试衬底标识数据相关联,其中每个存储的测试衬底回收工艺标识数据标识所述回收工艺,所述回收工艺是为回收由与所述存储的测试衬底回收工艺标识数据相关联的所述存储的测试衬底标识数据所标识的所述测试衬底而选择的。12.如权利要求11所述的方法,还包括从所述多个测试衬底中的一测试衬底读取测试衬底标识数据;以及从所述数据库中获得已存储的回收工艺标识数据,所述已存储的回收工艺标识数据标识了为回收所述读取的测试衬底而选择的回收工艺。13.如权利要求12所述的方法,还包括将所述读取的测试衬底存放在盒中,并用表示所述获得的回收工艺标识数据的标记来标明所述盒。14.如权利要求11所述的方法,还包括将所述数据库用电子方法传送给回收操作员。15.如权利要求14所述的方法,其中所述用电子方法传送包括通过互联网传送所述数据库。16.如权利要求11所述的方法,还包括将所述数据库用电子方法存储在可移动存储介质上,并将所述可移动存储介质发送给回收操作员。17.如权利要求11所述的方法,还包括从所述多个测试衬底读取多个测试衬底标识数据;从所述数据库中为每个读取的测试衬底获得已存储的回收工艺标识数据,所述已存储的回收工艺标识数据标识了为回收每个读取的测试衬底而选择的回收工艺;以及将所述读取的多个测试衬底分类成组,每个测试衬底组具有与其相关联的共同的回收工艺,所述工艺是为回收所述组的每个读取的测试衬底而选择的。18.如权利要求17所述的方法,还包括将每组读取的测试衬底存放在盒中,并用表示与所述组相关联的所述共同的回收工艺的标记来标明每组的盒。19.如权利要求18所述的方法,还包括用表示存放在所述组的盒中的每个测试衬底的测试衬底标识数据的标记来标明每组的盒。20.一种回收用于检测半导体制备工具的测试衬底的方法,包括从第一数据库中读取多个测试衬底标识数据,每个测试衬底标识数据标识多个测试衬底中的一特定的测试衬底;从所述数据库中读取在由所述多个测试衬底标识数据所标识的所述多个测试衬底的其中每个衬底上进行的工艺步骤;为回收所述多个测试衬底的其中每个衬底,从多个回收工艺中选择一回收工艺,其中为特定的测试衬底而选择的所述回收工艺是在所述特定的测试衬底上进行的所述工艺步骤的函数;将多个测试衬底标识数据存储进第二数据库,每个测试衬底标识数据标识所述多个测试衬底中的一特定的测试衬底;以及将多个测试衬底回收工艺标识数据存储进所述第二数据库中,在所述第二数据库中的每个存储的测试衬底回收工艺标识数据与在所述第二数据库中的存储的测试衬底标识数据相关联,其中在所述第二数据库中的每个存储的测试衬底回收工艺标识数据标识所述回收工艺,所述回收工艺是为了回收由与所述存储的测试衬底回收工艺标识数据相关联的所述存储的测试衬底标识数据所标识的所述测试衬底而选择的。21.如权利要求20所述的方法,还包括将表示所述工艺步骤的数据存储进所述第二数据库中,所述工艺步骤在由所述多个测试衬底标识数据所标识的所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:伊斯雷尔拜恩格拉斯,保罗V米勒,
申请(专利权)人:应用材料公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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