一种单晶炉用气体过滤罐制造技术

本实用新型专利技术提供一种单晶炉用气体过滤罐，包括：上封头，所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口；罐体，所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门，所述罐体内部用于容纳过滤袋；延伸部，所述延伸部连接于所述罐体下端；下封头，所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。根据本实用新型专利技术实施例的一种单晶炉用加长过滤罐，在罐体连接处增加延伸部，使得过滤罐高度增加，从而能够容纳更多的滤袋数量，增大了底部挥发物的放置空间，提升了过滤罐的过滤性能。提升了过滤罐的过滤性能。提升了过滤罐的过滤性能。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用气体过滤罐


[0001]本技术涉及直拉单晶领域，具体涉及一种单晶炉用气体过滤罐。

技术介绍

[0002]在用直拉法生产单晶硅的过程中，单晶炉内采用负压氩气流动带走挥发物的方式保证主室的洁净，循环的氩气需经过滤罐净化回收。目前，过滤罐普遍采用下进上出的接入方式，现在随着装料量的增加，导致过滤罐底部空间不足，使得单个石英坩埚不能拉制更多的硅单晶棒，从而不得不停炉清理过滤罐。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种单晶炉用气体过滤罐，其能够解决过滤罐过滤性能下降，挥发物增多过滤罐底部放置空间不足的问题，从而提升过滤效果。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]根据本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐，包括：
[0006]上封头，所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口；
[0007]罐体，所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门，所述罐体内部用于容纳过滤袋；
[0008]延伸部，所述延伸部连接于所述罐体下端；
[0009]下封头，所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。
[0010]进一步地，所述罐体内部顶端固定有悬挂梁，所述悬挂梁的下端悬挂有用于连接所述过滤袋的弹簧卡扣。
[0011]更进一步地，所述延伸部内还设有连接件，用于连接所述过滤袋的底端。
[0012]进一步地，根据本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐，还包括：r/>[0013]振动气缸，所述振动气缸固定在所述上封头外部；
[0014]活塞杆，所述活塞杆顶部穿过所述上封头连接所述振动气缸且底部连接所述悬挂梁，用于带动所述悬挂梁振动；
[0015]电磁阀，所述电磁阀连接所述振动气缸用于控制所述振动气缸进气/出气。
[0016]更进一步地，所述振动气缸共有三个，三个所述振动气缸围绕所述上封头中心对称设置。
[0017]进一步地，所述延伸部的上下两端分别通过法兰结构与所述罐体、所述下封头连接。
[0018]进一步地，所述罐体侧面还设有电控装置。
[0019]进一步地，所述下封头侧面还设有可打开/关闭的除灰口，所述除灰口与所述进气口相对设置。
[0020]进一步地，所述保养门共有两个，两个所述保养门相对应地设置于所述罐体的外
部两侧。
[0021]进一步地，所述罐体底部还设有三个脚轮，三个所述脚轮围绕所述下封头中心对称设置。
[0022]本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：
[0023]根据本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐，在原有的过滤罐基础上增加延伸部，提升了过滤罐的底部空间，能够容纳更多数目的滤袋，增加了滤袋里面的滤棉长度，从而大大提升了过滤效果；
[0024]进一步地，新增了振动气缸，通过振动使得滤袋上吸附的挥发物脱落，其控制和力度调节方便，响应速度快，振动频率可调。
附图说明
[0025]图1为本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐整体结构示意图；
[0026]图2为本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐的主视示意图；
[0027]图3为本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐的沿A
‑
A剖视示意图。
[0028]附图标记：
[0029]1.上封头；2.罐体；3.延伸部；4.下封头；5.出气口；6.保养门；7.过滤袋；8.进气口；9.悬挂梁；10.弹簧卡扣；11.连接件；12.振动气缸；13.活塞杆；14.法兰结构；15.电控装置；16.除灰口；17.把手；18.脚轮。
具体实施方式
[0030]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]除非另作定义，本技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
[0032]下面首先结合附图具体描述本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐。
[0033]如图1至图3所示，根据本技术实施例的单晶炉用气体过滤罐，包括上封头1、罐体2、延伸部3、下封头4。
[0034]其中，上封头1顶端设有可打开/关闭的出气口5；罐体2连接于上封头1的下端且罐体2外部侧面设有可打开/关闭的保养门6，罐体2内部用于容纳过滤袋7；延伸部3连接于罐体2下端；下封头4连接于延伸部3的底端且下封头4外部侧面设有可打开/关闭的进气口8。
[0035]罐体2中容纳过滤袋7用于吸附挥发物，通过在罐体2下端设置延伸部3增加了罐体2的高度，例如可设置延伸部3的高度为330mm，也就是说提升了整个过滤罐的高度，从而可
以在增加过滤袋7内部的滤棉长度，同时可以通过缩小过滤袋7的直径来设置更多的过滤袋，由此可以增加气体与过滤袋的接触面积，提升过滤效果。延伸部3连接于下封头4的顶端，使得底部挥发物的放置空间也得到了进一步的提升，从而提升了该装置整体的过滤性能。
[0036]也就是说，氩气通过下封头4外部的进气口8进入过滤罐中，通过罐体2，由罐体2内部的过滤袋7吸附该气体在生产过程中产生的挥发物，最后从上封头1顶端的出气口5排出。通过设置延伸部3增加了该过滤罐整体的高度，从而使得过滤袋7内部的滤棉长度也得到进一步的增加，提升了过滤效率；而且，还增加了过滤罐的底部空间，过滤袋7吸附的挥发物脱落至底部空间，可以减小除灰频率，进一步提升了过滤效率。操作人员通过罐体2外部的保养门6对过滤袋7进行更换维护，提升了操作的灵活性。
[0037]进一步地，罐体2内部顶端固定有悬挂梁9，悬挂梁9的下端悬挂有用于连接过滤袋7的弹簧卡扣10。如图3所示，悬挂梁9设置在罐体2内部顶端，过滤袋7通过弹簧卡扣10连接在悬挂梁9的下端，该设置能够使得过滤袋7能够固定在罐体2内部，而弹簧卡扣10的设置，使得过滤袋7在外力作用下能发生振动，使得其吸附的挥发物因受到振动而掉落，同时进一步提升了更换过滤袋7的便利性。
[0038]更进一步地，延伸部3内还设有连接件11，用于连接过滤袋7的底端。在过滤袋7的底端设置有连接件11，进一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用气体过滤罐，其特征在于，包括：上封头，所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口；罐体，所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门，所述罐体内部用于容纳过滤袋；延伸部，所述延伸部连接于所述罐体下端；下封头，所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。2.根据权利要求1所述的单晶炉用气体过滤罐，其特征在于，所述罐体内部顶端固定有悬挂梁，所述悬挂梁的下端悬挂有用于连接所述过滤袋的弹簧卡扣。3.根据权利要求2所述的单晶炉用气体过滤罐，其特征在于，所述延伸部内还设有连接件，用于连接所述过滤袋的底端。4.根据权利要求2或3所述的单晶炉用气体过滤罐，其特征在于，还包括：振动气缸，所述振动气缸固定在所述上封头外部；活塞杆，所述活塞杆顶部穿过所述上封头连接所述振动气缸且底部连接所述悬挂梁，用于带动所述悬挂梁振动；电...

【专利技术属性】
技术研发人员：武绚丽，董朝海，颜玉峰，
申请(专利权)人：曲靖晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：