曲面盖板玻璃镀膜设备及镀膜方法技术

本发明专利技术公开了一种曲面盖板玻璃镀膜设备，包括靶材、可旋转设置且用于放置曲面盖板玻璃的定位装置和用于调节有效镀膜线程的遮挡装置，遮挡装置位于靶材和曲面盖板玻璃之间。本发明专利技术的曲面盖板玻璃镀膜设备，减少了对盖板本身的限制，不会导致隐性损伤，且镀膜后无异色；能够有效控制盖板镀膜；且采用膜厚仪进行监控，膜厚控制更精确，连续生产偏差更小，具有稳定的镀膜周期，提高产品质量。本发明专利技术还提供了一种曲面盖板玻璃镀膜方法。一种曲面盖板玻璃镀膜方法。一种曲面盖板玻璃镀膜方法。

【技术实现步骤摘要】
曲面盖板玻璃镀膜设备及镀膜方法


[0001]本专利技术属于盖板玻璃生产工艺
，具体地说，本专利技术涉及一种曲面盖板玻璃镀膜设备及镀膜方法。

技术介绍

[0002]随着电子设备技术的发展，曲面屏幕逐渐地广泛应用，尤其是，随着5G技术和无线充电的深入推广，显示设备的玻璃盖板的造型设计也逐渐地从2D/2.5D盖板向3D盖板发展。3D玻璃盖板物理性能更优，硬度，弹性，散热性更好，同时集合多种光学特性。
[0003]现有盖板玻璃镀膜方式为磁控溅射，往往只能进行平面盖板玻璃的镀膜，对于部分小弧度曲面盖板玻璃采用两端固定的方式将盖板玻璃受力变形为近平面进行镀膜，这种方式可能会对曲面盖板玻璃造成隐性损伤，同时会有曲面无法拉平的位置，导致镀膜出现异色。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提供一种曲面盖板玻璃镀膜设备，目的是减少盖板玻璃长时间变形可能对盖板玻璃本身的隐性损伤，且对盖板玻璃形状限制更小。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：曲面盖板玻璃镀膜设备，包括靶材、可旋转设置且用于放置曲面盖板玻璃的定位装置和用于调节有效镀膜线程的遮挡装置，遮挡装置位于靶材和曲面盖板玻璃之间。
[0006]所述遮挡装置包括遮挡板，遮挡板设置多个且所有遮挡板为沿竖直方向依次布置，遮挡板为沿水平方向可移动设置。
[0007]所述定位装置包括转架和设置于转架上且用于放置曲面盖板玻璃的载板，转架为可旋转设置。
[0008]本专利技术还提供了一种曲面盖板玻璃镀膜方法，采用所述的曲面盖板玻璃镀膜设备，通过所述遮挡装置调节有效镀膜线程，间接控制曲面盖板玻璃的实际有效镀膜时间。
[0009]在镀膜过程中，通过膜厚仪监控有效镀膜时间。
[0010]本专利技术的曲面盖板玻璃镀膜设备，减少了对盖板本身的限制，不会导致隐性损伤，且镀膜后无异色；能够有效控制盖板镀膜；且采用膜厚仪进行监控，膜厚控制更精确，连续生产偏差更小，具有稳定的镀膜周期，提高产品质量。
附图说明
[0011]本说明书包括以下附图，所示内容分别是：
[0012]图1是本专利技术曲面盖板玻璃镀膜设备的俯视图；
[0013]图2是遮挡装置的布置示意图；
[0014]图中标记为：1、转架；2、靶位；3、曲面盖板玻璃；4、遮挡板；5、靶材。
具体实施方式
[0015]下面对照附图，通过对实施例的描述，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的说明，目的是帮助本领域的技术人员对本专利技术的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解，并有助于其实施。
[0016]如图1和图2所示，本专利技术提供了一种曲面盖板玻璃镀膜设备，包括靶材5、可旋转设置且用于放置曲面盖板玻璃的定位装置和用于调节有效镀膜线程的遮挡装置，遮挡装置位于靶材5和曲面盖板玻璃之间。曲面盖板玻璃是指具有沿玻璃长宽单一方向进行单一或多组弯折(曲)或形成弧度的3D造型盖板玻璃。
[0017]具体地说，如图1所示，定位装置包括转架1和设置于转架1上且用于放置曲面盖板玻璃的载板，转架1为可旋转设置。转架1的旋转中心线为竖直线，载板固定设置在转架1上，转架1旋转时，可以带动载板及其上的曲面盖板玻璃进行旋转。有效镀膜线程是指镀膜过程中曲面盖板玻璃实际经过的路径，转架1旋转时，有效镀膜线程就是按旋转半径构成的圆形线程，只有被镀上膜层的线程是有效线程。
[0018]如图1和图2所示，靶材5设置在靶位2处，靶位2设置多个，所有靶位2在转架1的外侧呈周向分布。遮挡装置包括遮挡板3，遮挡板3设置多个且所有遮挡板3为沿竖直方向依次布置，遮挡板3为沿水平方向可移动设置，遮挡板3位于靶材5和载板上的曲面盖板玻璃之间。遮挡板3为可移动的设置于固定架上，固定架具有让遮挡板3嵌入的滑槽，通过人工拉拽遮挡板3进行移动，可以调整遮挡板3的遮挡长度，遮挡板3的遮挡长度是指遮挡板3插入靶材5和曲面盖板玻璃之间的部分的长度，通过遮挡板3挡住部分靶材粒子。
[0019]本专利技术还提供了一种曲面盖板玻璃镀膜方法，采用上述结构的曲面盖板玻璃镀膜设备。采用磁控溅射法，通过遮挡装置调节有效镀膜线程，间接控制曲面盖板玻璃的实际有效镀膜时间，制得光学条件一致的3D造型曲面盖板玻璃。
[0020]在镀膜过程中，通过移动遮挡板3，调整对应靶材前有效位置的遮挡板3的遮挡长度来调节有效镀膜线程，间接控制实际有效镀膜时间。转架1转动时，盖板/膜厚仪端头经过在进行溅射的靶位的有效时间为有效镀膜时间。
[0021]在镀膜过程中，通过膜厚仪监控有效镀膜时间。采用膜厚仪进行监控，膜厚控制更精确，连续生产偏差更小，具有稳定的镀膜周期，提高产品质量。膜厚仪监控取得的有效镀膜时间和调整后的曲面盖板的实际有效镀膜时间有固定系数关系(每次生产时遮挡板长度有偏差，目前铌靶：硅靶约1:1.15，实际有效镀膜时间每次遮挡板变动/治具改变均有所影响，有效镀膜时间与实际有效镀膜时间之间的比值在1.03～1.1之间)。
[0022]上述曲面盖板玻璃镀膜方法，对曲面盖板玻璃的形状等限制更小(曲度、弯折(曲)程度、厚度等)。该镀膜方法能够有效降低产品镀膜的现有的一部分形状限制，能够针对各种复杂的产品进行镀膜。
[0023]使用磁控溅射法，不局限于单体机，INLINE线也可以采用。
[0024]以上结合附图对本专利技术进行了示例性描述。显然，本专利技术具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本专利技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本专利技术的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.曲面盖板玻璃镀膜设备，包括靶材，其特征在于，还包括可旋转设置且用于放置曲面盖板玻璃的定位装置和用于调节有效镀膜线程的遮挡装置，遮挡装置位于靶材和曲面盖板玻璃之间。2.根据权利要求1所述的曲面盖板玻璃镀膜设备，其特征在于，所述遮挡装置包括遮挡板，遮挡板设置多个且所有遮挡板为沿竖直方向依次布置，遮挡板为沿水平方向可移动设置。3.根据权利要求1或2所述的曲面盖板玻璃镀膜设...

【专利技术属性】
技术研发人员：李卓诚，张坤，胡迪，
申请(专利权)人：芜湖长信新型显示器件有限公司，
类型：发明
国别省市：