电子部件试验装置制造方法及图纸

一种电子部件试验装置，在将被试验电子部件搭载于电子部件输送介质（１１、１２、１３、１４）的状态下由移动机构将被试验电子部件的输入输出端子推压到测试头部（１００）的触头部进行测试；其中：同时地由一方的移动机构把持搭载了被试验电子部件的２片电子部件输送介质（１１、１２），由另一方的移动机构把持搭载了被试验电子部件的２片电子部件输送介质（１３、１４），各移动机构独立地进行相对触头群的送入送出。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于测试电子部件的电子试验装置，涉及通过具有多个同时把持搭载了被试验电子部件的多个电子部件输送介质进行测试的移动机构，从而可以高测试效率进行试验的电子部件试验装置。
技术介绍
在被称为处理设备的电子部件试验装置中，将收容于托盘的多个电子部件输送到试验装置内，使各电子部件与测试头进行电接触，使电子部件试验装置本体(以下也称测试器)进行试验。当结束试验时，从测试头送出各电子部件，切换载置到与试验结果相应的托盘，从而进行合格品和不合格品这样的类别区分。在过去的电子部件试验装置中，具有用于收容试验前的电子部件或收容试验完毕的电子部件的托盘(以下也称用户托盘)与在电子部件试验装置内循环输送的托盘(以下称测试托盘)不同的类型。在这种电子部件试验装置中，在试验前后在用户托盘与测试托盘之间进行电子部件的换载。在使电子部件接触于测试头进行测试的测试工序中，电子部件在搭载于测试托盘的状态下被推压到测试头。另外，还存在这样类型，即，使用热板等将热应力加到收容于用户托盘的电子部件，然后，每次用吸附头一次吸附多个，运送到测试头，使其电接触。在这种电子部件试验装置的测试工序中，电子部件在吸附到吸附头的状态下被推压到测试头。当被推压时，在测试头设置多个触头部(通常该同时可测试的试验部位的个数即同时测定个数被限制为每1台电子部件试验装置为32个或64个等2n个。其中，n为自然数)，同时，通过同时进行多个电子部件的测试，进行高通过量的测试。过去在进行电子部件测试的场合，由于在电子部件的制造工序的最终工序进行该测试，所以，在已完成模制和引线接合等工序后完成的电子部件成为测试的对象。然而，如在制造工序结束后的该测试中为不合格，则从可实施测试的状态到完成之前的工序可能白费，所以，最好在成为可实施测试的状态下实施测试，并在该阶段排除不合格品。可是，在电子部件的制造工序中，如图24所示那样，由于受到电子部件的性质的制约，在用于格式带(Strip Format)10等离散防止的电子部件输送介质(在图24的场合，4行11列的格式带)上搭载被试验电子部件20，从而在各工序内和各工序间移动。为此，为了到达最终工序前的电子部件20在成为可测试的状态下进行测试，在被试验电子部件20搭载于电子部件输送介质10上的状态下进行测试，而且还需要不破坏电子部件输送介质10上的被试验电子部件20的排列地输送到下一工序。该电子部件输送介质10上的被试验电子部件20的个数和其排列为任意地存在。另外，过去的电子部件试验装置的测试头的触头部110a如图25和图26所示那样在电子部件试验装置内仅构成由受到制约的同时测定个数的触头部110a构成的1个触头群110。图25示出由受32个触头部110a制约地构成的1个触头群110，图26示出由受64个触头部110a制约地构成的1个触头群110。为此，例如图27所示那样，当要在电子部件输送介质10上的被试验电子部件20确保同时测定个数32个的试验部位时，可在第1次的测试中确保32个试验部位(图27的试验完成被试验电子部件21示出图中涂黑的方块的全部32个)，但在第2次测试中仅可确保余下的16个试验部位(图27的试验前被试验电子部件22示出图中空白方块的全部16个)，在第2次测试中，仅可使用32个触头部中的半数的触头部，所以，存在测试效率变差的问题。对于这些问题，如想相对电子部件输送介质10通常按良好的规则确保同时测定个数32个，则可考虑例如将由32个触头部110a构成的1个触头群110分割成32个触头群，1次输送32片电子部件输送介质10，同时测定32片该电子部件输送介质10上的被试验电子部件20，但在该场合存在装置巨大化、复杂化的可能性，所以，最好由尽可能少片数的电子部件输送介质10确保同时测定个数。另外，也可考虑例如将32个触头部110a分成几个触头群110，在各触头群110分别设置独立的移动机构，从而由尽可能少片数的电子部件输送介质10时常确保同时测定个数，但在超过某种程度的触头群的场合，就可能成为设备成本上升的一个原因。另外，也可考虑例如将32个触头部110a分成几个触头群110，用1个移动机构一起移动所有的电子部件输送介质10，设置进行测试的移动机构，从而时常确保同时测定个数，但由于一起把持许多片数的电子部件输送介质10，则随着电子部件输送介质10片数的增加，就会产生难以确保各电子部件20和触头部110a的定位精度的问题。本专利技术就是鉴于这样已有技术的问题而作出的，其目的在于提供可对搭载于多个电子部件输送介质上的被试验电子部件的任意个数和其排列以高测试效率进行试验的电子部件试验装置。
技术实现思路
为了达到上述目的，本专利技术的电子部件试验装置在将被试验电子部件搭载于电子部件输送介质的状态下由移动机构将上述被试验电子部件的输入输出端子推压到测试头的触头部进行测试；其中具有1个或多个同时把持搭载了上述被试验电子部件的多片上述电子部件输送介质、并可相对上述触头部送入送出的上述移动机构。在本专利技术的电子部件试验装置中，既不相对各触头群分别独立地设置移动机构，也不设置相对所有触头群一起把持的移动机构，而是具有多个同时把持搭载了被试验电子部件的多片电子部件输送介质、并可相对触头部送入送出的移动机构，从而可抑制设备成本的增加、占有面积的扩大，并确保定位精度，同时确保同时测定个数，可实现高测试效率。另外，本专利技术的电子部件试验装置为，上述移动机构可在可把持的片数以内任意选择把持片数的电子部件试验装置。通过对应于电子部件输送介质上的任意的被试验电子部件的个数及其排列在移动机构的可把持片数范围内适宜地选择把持片数，从而可确保同时测定个数，实现高测试效率。另外，上述1个移动机构可独立于其它移动机构、任意选择把持片数。通过相应于状况自由选择可由测试头上的各移动机构把持的片数，在测试头上的多个移动机构之间对其进行组合，从而可灵活地使移动方法对应生产计划等状况的变化，可通常确保同时测定个数，赋予实现高测试效率的灵活性。另外，上述多个移动机构中的任2个或其以上的移动机构的动作范围实质上在作为上述触头部的集合的触头群上重复。通过具有将上述移动机构中的、作为触头部集合的触头群上作为实质上的重复动作范围的任2个或其以上的移动机构，从而使各移动机构分别相对上述触头群交替地动作，可使一方移动机构的换位时间的一部分计算到另一方移动机构进行的测试时间。测试时间指从将开始请求信号送到设置了电子部件输送介质上的试验前的电子部件的触头部，到进行测试、输出测试结束信号的时间。另外，换位时间指从由触头部发送测试结束信号，移动搭载了试验完毕的电子部件的电子部件输送介质，到将下一电子部件输送介质上的试验前的电子部件设置到触头部、移动机构侧输出开始请求信号的时间。另外，测试延迟由测试时间和换位时间的和构成，指移动机构侧从输出开始请求信号到可输出下一开始请求信号的最短时间。特别是在测试时间为短时间的场合，由于测试延迟中的换位时间占有的比例增大，所以，通过相对触头群存在的范围由多个移动机构交替地进行测试，从而实现高通过量。在本专利技术的电子部件输送介质中包含搭载被试验部件的所有介质。例如，在技术方案5所述的电子部件试验装置中，上述电子部件输送介质为格式带或晶片。在测试晶片上的电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件试验装置，在将被试验电子部件搭载于电子部件输送介质的状态下由移动机构将上述被试验电子部件的输入输出端子推压到测试头的触头部进行测试；其特征在于：具有１个或多个可同时把持搭载了上述被试验电子部件的多片上述电子部件输送介质、相对上述触头部送入送出的上述移动机构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电子部件试验装置，在将被试验电子部件搭载于电子部件输送介质的状态下由移动机构将上述被试验电子部件的输入输出端子推压到测试头的触头部进行测试；其特征在于具有1个或多个可同时把持搭载了上述被试验电子部件的多片上述电子部件输送介质、相对上述触头部送入送出的上述移动机构。2.根据权利要求1所述的电子部件试验装置，其特征在于上述移动机构可在可把持的片数以内任意选择把持的片数。3.根据权利要求1或2所述的电子部件试验装置，其特征在于上述1个移动机构可与其它移动机构独立地任意选择把持的片数。4.根据权利要求1～3中任何一项所述的电子部件试验装置，其特征在于上述多个移动机构中的任2个或其以上的移动机构的动作范围实质上在作为上述触头部的集合的触头群上重复。5.根据权利要求1～4中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤明彦，中村浩人，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]