本发明专利技术提供了一种石英管清洗干燥装置，包括：底部具敞口的清洗罩与清洗罩沿垂直方向活动插接装配的底座，设置于底座内并箍持石英管的承载台，以及第一驱动装置；清洗罩的顶部内置一清洗帽及驱动清洗帽作升降运动的第二驱动装置，清洗帽遮蔽石英管的弧形封闭端并与石英管的弧形封闭端分离，清洗帽的内壁面设置侧向连续间隔布置的若干第一喷嘴；底座嵌设回旋密封装置，承载台垂直设置内喷管，内喷管沿垂直方向连续贯穿承载台与回旋密封装置；第一驱动装置驱动承载台旋转，内喷管在承载台旋转过程中保持静止。本发明专利技术有效地解决了石英管在旋转清洗过程中可能发生的倾覆及旋转姿态不稳定的问题，满足了不同直径石英管的清洗与干燥需求。需求。需求。
【技术实现步骤摘要】
一种石英管清洗干燥装置
[0001]本专利技术涉及半导体设备耗材清洗设备
，尤其涉及一种石英管清洗干燥装置。
技术介绍
[0002]石英管是半导体器件制造设备(例如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、扩散设备(Diff)或者成膜设备(T/F)等)中普遍使用的半导体设备耗材。石英管在前述半导体设备中使用一段时间后其内壁面会残留大量脏污、金属杂质或者固体颗粒，然而石英管造价昂贵，因此需要在被彻底清洗后予以重复使用，以降低半导体器件的制造成本。
[0003]申请人经过检索后发现公开号为CN101181711A的中国专利技术专利公开了一种自动立式石英管清洗机及其清洗工艺。在该现有技术中，石英管(即工件)由工件支架支撑在转盘上，并通过转盘两边相对安装的喷淋管及顶部吊装的管式喷嘴对石英管进行清洗作业，石英管以开口朝上的姿态放置于转盘上。
[0004]首先，该现有技术无法实现大直径石英管的清洗作业，尤其是对于8英寸及12英寸晶圆制成所使用的石英管而言，石英管的体积及质量较大。该现有技术以石英管开口向上的姿态被固定在清洗机中。因此当位于顶部的管式喷嘴向石英管的开口处喷入去离子水(DIW)或者清洗剂后，会导致整个石英管重量巨大，这会严重影响石英管被转盘驱动并旋转过程中的稳定性并增加能耗，且存在去离子水严重浪费的缺陷。此外，客观上这种清洗装置对石英管的内壁面由于液体贮存在石英管内，从而导致对石英管内壁面的清洗效果不佳。其次，该现有技术由于需要通过工件支架支撑在转盘，导致与工件支架接触的石英管的外壁面接触处由于受到工件支架的遮蔽，从而导致存在石英管的外壁面无法被有效清洗的缺陷，且转盘需要承受石英管及容置于石英管内部所贮存的液体所施加的巨大压力，极易导致转盘发生故障并对转盘造成损坏；最后，申请人还指出该现有技术只能对一种特定直径的石英管进行清洗，且石英管在旋转过程中其外壁面会与工件支架发生摩擦，从而导致石英管的外壁面在清洗过程中造成划伤，且无法满足不同直径石英管清洗的需求。
[0005]有鉴于此，有必要对现有技术中的对石英管执行清洗作业的清洗装置予以改进，以解决上述问题。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于揭示一种石英管清洗干燥装置，用以解决现有技术中对一端具敞口的钟罩式石英管执行清洗及干燥过程中所存在的技术缺陷，尤其是为了实现对各种尺寸的石英管执行高效清洗及干燥作业，节约去离子水等清洗剂的使用量，并简化石英管清洗干燥装置的结构，提高石英管以竖直旋转姿态执行清洗及干燥过程的旋转稳定性，并避免石英管在清洗过程中发生表面划伤等清洗损害。
[0007]为实现上述专利技术目的，本专利技术提供了一种石英管清洗干燥装置，包括：
[0008]底部具敞口的清洗罩与清洗罩沿垂直方向活动插接装配的底座，设置于底座内并
箍持石英管的承载台，以及第一驱动装置；
[0009]所述清洗罩的顶部内置一清洗帽及驱动所述清洗帽作升降运动的第二驱动装置，所述清洗帽遮蔽所述石英管的弧形封闭端并与所述石英管的弧形封闭端分离，所述清洗帽的内壁面设置侧向连续间隔布置的若干第一喷嘴；
[0010]所述底座嵌设回旋密封装置，所述承载台垂直设置内喷管，所述内喷管沿垂直方向连续贯穿承载台与回旋密封装置；所述第一驱动装置驱动承载台旋转，所述内喷管在承载台旋转过程中保持静止。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述清洗罩的侧壁竖直设置若干第二喷嘴，所述内喷管位于承载台上方的顶部和侧部设置若干第三喷嘴，以通过第三喷嘴喷射形成与石英管内部腔体适配的圆柱状喷射束流。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，所述清洗帽包括：帽体，设置于帽体外壁的至少一个分流管，以及连通分流管并与帽体呈一体式结构的供应管；所述分流管连接设置于清洗帽的内壁面的第一喷嘴，所述第二驱动装置设置沿竖直方向连接所述供应管的吊臂，所述供应管与吊臂刚性连接。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述第二驱动装置包括：第二电机、吊座、轨道本体、被所述第二电机驱动的丝杆，以及套设于丝杆上的滑块，以通过所述滑块纵向连接所述吊臂并驱动所述吊臂作升降运动；
[0014]所述石英管清洗干燥装置还包括：自上而下平行布置的盖板、顶部安装板、上安装板与下安装板；所述第一驱动装置设置于下安装板上，所述底座嵌入设置于所述上安装板，所述第二驱动装置垂直贯穿顶部安装板，并通过所述吊座固定安装于所述盖板的下方。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，所述底座包括：底板，自底板环形布置并向上设置的内环壁，所述内环壁径向向外且水平延伸形成底壁，所述底壁的外侧形成垂直环形围合所述底壁的外环壁，所述收容槽由内环壁、底壁及外环壁围合形成；所述承载台沿垂直方向向上形成至少两层直径渐缩且逐级升高布置的定位凸台，所述定位凸台的边缘处形成若干缺口。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，
[0017]所述石英管清洗干燥装置还包括连接第一喷嘴、第二喷嘴及内喷管的切换装置，所述切换装置连接清洗液储存装置及气源，以通过所述切换装置控制所述第一喷嘴、第二喷嘴及第三喷嘴喷射清洗液和/或气体。
[0018]作为本专利技术的进一步改进，所述底座的边缘形成收容清洗罩底部敞口边缘的收容槽，清洗罩倒扣于所述收容槽中；所述清洗罩的环形侧壁形成侧向开口，所述清洗罩设置活动打开或者闭合所述侧向开口的滑动盖板。
[0019]作为本专利技术的进一步改进，所述外环壁沿垂直方向延伸以形成上外环壁与下外环壁，所述上安装板横向抵靠于所述内环壁的外壁并向上凸伸形成与所述下外环壁卡持的环形肋板；所述上外环壁沿垂直方向上的高度高于所述内环壁的顶部边缘，所述内环壁靠近底板的底部设置若干排水孔；所述内环壁的顶部开设若干第一缺口，所述清洗罩的底部开设若干第二缺口，以通过所述第一缺口与所述第二缺口建立空气流通通道。
[0020]作为本专利技术的进一步改进，所述第一驱动装置包括：第一电机，换向装置，主动轮，同步带及驱动承载台并位于底座底部的从动轮；所述内喷管沿垂直方向的上下两端部分别
凸伸出所述承载台与从动轮；所述底板向上凸设一圆台，所述承载台设置于所述圆台上方，所述承载台的直径大于所述圆台的直径。
[0021]作为本专利技术的进一步改进，所述回旋密封装置包括：同轴纵向布置的承托承载台的转接筒，设置于圆台上方隔水环，垂直纵向插入转接筒并套设所述从动轮的内套筒，固定于圆台底部的轴承座，以及设置于所述承载台上方并围合所述内喷管的第二密封圈压合所述第二密封圈的锁紧环；
[0022]所述内套筒横向凸设环形凸肋，位于环形凸肋上方的内套筒纵向插入转接筒与内喷管之间形成的环形间隙；位于环形凸肋下方的内套筒向下贯穿轴承座，并在内套筒的底部末端套设所述从动轮，所述环形凸肋与轴承座之间设置若干轴承，所述隔水环面向圆台的端面嵌设若干第一密封圈。
[0023]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0024]在本申请中，第二驱动装置驱动清洗帽并在清洗帽的内壁面设置侧向连续间隔布置的若干第一喷嘴，实现了对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英管清洗干燥装置，其特征在于，包括：底部具敞口的清洗罩与清洗罩沿垂直方向活动插接装配的底座，设置于底座内并箍持石英管的承载台，以及第一驱动装置；所述清洗罩的顶部内置一清洗帽及驱动所述清洗帽作升降运动的第二驱动装置，所述清洗帽遮蔽所述石英管的弧形封闭端并与所述石英管的弧形封闭端分离，所述清洗帽的内壁面设置侧向连续间隔布置的若干第一喷嘴；所述底座嵌设回旋密封装置，所述承载台垂直设置内喷管，所述内喷管沿垂直方向连续贯穿承载台与回旋密封装置；所述第一驱动装置驱动承载台旋转，所述内喷管在承载台旋转过程中保持静止。2.根据权利要求1所述的石英管清洗干燥装置，其特征在于，所述清洗罩的侧壁竖直设置若干第二喷嘴，所述内喷管位于承载台上方的顶部和侧部设置若干第三喷嘴，以通过第三喷嘴喷射形成与石英管内部腔体适配的圆柱状喷射束流。3.根据权利要求1或者2所述的石英管清洗干燥装置，其特征在于，所述清洗帽包括：帽体，设置于帽体外壁的至少一个分流管，以及连通分流管并与帽体呈一体式结构的供应管；所述分流管连接设置于清洗帽的内壁面的第一喷嘴，所述第二驱动装置设置沿竖直方向连接所述供应管的吊臂，所述供应管与吊臂刚性连接。4.根据权利要求3所述的石英管清洗干燥装置，其特征在于，所述第二驱动装置包括：第二电机、吊座、轨道本体、被所述第二电机驱动的丝杆，以及套设于丝杆上的滑块，以通过所述滑块纵向连接所述吊臂并驱动所述吊臂作升降运动；所述石英管清洗干燥装置还包括：自上而下平行布置的盖板、顶部安装板、上安装板与下安装板；所述第一驱动装置设置于下安装板上，所述底座嵌入设置于所述上安装板，所述第二驱动装置垂直贯穿顶部安装板，并通过所述吊座固定安装于所述盖板的下方。5.根据权利要求4所述的石英管清洗干燥装置，其特征在于，所述底座包括：底板，自底板环形布置并向上设置的内环壁，所述内环壁径向向外且水平延伸形成底壁，所述底壁的外侧形成垂直环形围合所述底壁的外环壁，所述收容槽由内环壁、底壁及外环壁围合形成；所述承载台沿垂直方向向上形成至少两层直径渐缩且逐级升高布置的定位凸台，...
【专利技术属性】
技术研发人员：华斌，刘国强，宗君颖，
申请(专利权)人：智程半导体设备科技昆山有限公司，
类型：发明
国别省市：
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