衬底输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台（１、１６）和浮起块（１１）上形成的多个空气孔（４、１８、１２）上吹空气而使玻璃衬底（３）浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底（３）在输送方向Ｃ上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使玻璃衬底在输送路径上浮起而进行输送的衬底输送装置，该玻璃衬底是用于例如大型液晶显示(下面，省略为LCD)和等离子显示面板(下面，省略为PDP)等平板显示器(下面，省略为FPD)等。
技术介绍
近年来，为了对应屏幕的大型化和减少成本的要求，FPD领域中FPD制造工艺中所处理的玻璃衬底的大小有日益大型化的倾向。作为FPD制造工艺中输送大型玻璃衬底的方法，已知有采用使用了滚筒的滚动输送机构。例如在专利公开公报2000-193604号和专利公开公报2000-9661号中记载着输送大型玻璃衬底的技术。前者通过使一对支撑滚筒机构仅接触被检查衬底(相当于玻璃衬底)下面的左右两侧来进行支撑，且通过与玻璃衬底的左右端对接的一对限制滚筒机构来限制左右方向的位置。另外，由于玻璃衬底的中间部分因重力而向下方弯曲，所以为了限制该玻璃衬底的弯曲，而向玻璃衬底的下面喷射压力空气。后者通过滚动输送部将玻璃衬底输送到缺陷检查部，定位玻璃衬底，并通过夹持机构夹持玻璃衬底的端部来进行缺陷检查。缺陷检查时，为了不接触地支撑玻璃衬底，从空气浮起台上设置的排气口中排出高压空气后，将玻璃衬底的高度保持为一定。但是，前者的玻璃衬底的输送由于使用了一对支撑滚筒机构和一对限制滚筒机构，故若高速输送玻璃衬底，则在与滚筒接触的玻璃衬底的滚动面上产生了滚筒的摩擦痕迹。后者为了通过滚动输送部来输送玻璃衬底，与前者相同，若高速输送玻璃衬底，则在与滚筒接触的玻璃衬底的滚动面上产生了滚筒的摩擦痕迹。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供一种在非接触状态下进行输送，可进行不刮伤玻璃衬底的高速输送的衬底输送装置。根据本专利技术的主要观点，提供了一种衬底输送装置，包括衬底浮起机构，其沿搬送路径设置、使衬底在输送路径上浮起；输送机构，其保持由衬底浮起机构浮起的衬底的两端部，并沿输送路径进行输送。附图说明图1是表示本专利技术涉及的衬底输送装置的第一实施例的平面结构图；图2是同一装置的侧面结构图；图3是同一装置中，在衬底装载台1上浮起的玻璃衬底的示意图；图4是同一装置中的玻璃衬底的空气输送动作的示意图；图5是同一装置中的定位动作的示意图；图6是同一装置中的定位动作的示意图；图7是同一装置中的定位动作的示意图；图8是同一装置中的定位动作后的输送玻璃衬底输送的示意图；图9是表示本专利技术涉及的衬底输送装置的第二实施例的结构图；图10是同一装置中的在浮起块上形成的多个槽的示意图。具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术的第一实施例。图1是将衬底(基板)输送装置适用于大型LCD和PDP等的FPD工序的成线(インライン)检查情况下的平面结构图，图2是同一装置的侧面结构图。将搬入用的衬底装载台1设置在减振台2上。该衬底装载台1装载所搬入的玻璃衬底3，其宽度(与输送方向C垂直的方向)形成为比玻璃衬底3的宽度稍短。在该衬底装载台1的上面设置兼用作空气上吹和吸入的多个空气孔4。另外，这些空气孔4也可大致有规则地设置在衬底装载台1的整个面上。该衬底装载台1上，在相对于输送方向C为平行方向且相隔预定间隔地形成两条槽5。另外，在衬底装载台1上设置玻璃衬底3搬入时升降的多个抬升销(リフトピン)6。在衬底装载台1的相对于输送方向C垂直方向的入口侧设置搬入用输送机器人7。该搬入用输送机器人7通过图中未示的多关节臂使两个手臂8旋转、前进与后退，同时从盒子中取出未检查的玻璃衬底3，并搬入到衬底装载台1上。在衬底装载台1的出口侧，沿输送方向C并列设置输送架台9。该输送架台9形成为长度从玻璃衬底3的搬入侧到搬出侧。将该输送架台9装载在减振台10上。从该输送架台9上的搬入侧到搬出侧，贯穿该搬入侧与搬出侧的全长设置浮起块11。该浮起块11形成为其宽度(相对于输送方向C的垂直方向)比玻璃衬底3的宽度稍短。在该浮起块11的上面设置兼用作空气上吹和吸入的多个空气孔12。另外，也可在浮起块11的整个面上大致均匀地设置这些空气孔12。在该浮起块11上，与输送方向C为平行方向且相隔预定的间隔地形成两条槽13。浮起块11的表面高度与衬底装载台1的表面高度大致相同。在输送架台9的输送方向C上的大致中间位置上设置对以一定速度进行输送的玻璃衬底3进行各种检查的检查部E。该检查部E例如将显微镜、线传感器(ラインセンサ)或CCD摄像机等各种检查用设备14搭载在门型臂15上。例如，检查用设备14通过所排列的多个线传感器取得玻璃衬底3的图像数据。并且，通过图像处理该图像数据等来进行例如玻璃衬底3的图像检查、缺陷检查等。在输送架台9的出口侧，沿输送方向C并列设置搬出用的衬底装载台16。将该衬底装载台16设置在减振台17上。该衬底装载台16为了搬出从浮起块11输送来的玻璃衬底3而进行暂时装载，其宽度(相对于输送方向C的垂直方向)形成为比玻璃衬底3的宽度稍短。在该衬底装载台16的上面设置兼用作空气上吹和吸入的多个空气孔18。另外，也可在衬底装载台16的整个面上大致有规则地设置这些空气孔18。该衬底装载台16上相对于输送方向C为平行方向且相隔预定间隔地形成两条槽19。另外，在衬底装载台16上设置玻璃衬底3搬出时升降的多个抬升销20。衬底装载台16的表面高度与浮起块11的表面高度大致相同。在衬底装载台16的与输送方向C为垂直方向的出口侧上设置搬出用输送机器人21。该搬出用输送机器人通过图中未示的多关节臂使两个手臂旋转、前进和后退，同时将检查完的玻璃衬底3容纳到盒子内。在输送架台9和减振台17上，沿输送方向C彼此平行地设置多组夹着浮起块11和衬底装载台16的各一对滑块23～28。一对滑块23、24和27、28设置在一对滑块25、26的更外侧。另外，将这些滑块23～28的高度位置设置为相同。将一对滑块23、24设置在输送架台9入口侧的定位(アライメント)部A上。在这些滑块23、24上分别可移动地设置成为一对的各输送端部29、30。这些输送端部29、30具有分别可沿上下方向伸缩且自由旋转地设置的各臂29a、30a；在这些臂29a、30a的前端部设置的，分别吸附保持玻璃衬底3背面的两端部的各吸附衬垫29b、30b；设置在各输送端部29、30内，且使各臂29a、30a沿与输送方向C垂直的方向移动的各推杆(プランジヤ)。将一对滑块25、26设置在定位部(校准部)A的出口侧与输送架台9的出口侧之间。在这些滑块25、26上分别可移动地设置成为一对的各输送端部31、32。这些输送端部31、32与各输送端部29、30相同，具有各臂31a、32a和各吸附衬垫31b、32b。将一对滑块27、28设置在输送架台9的出口侧与衬底装载台16的出口侧之间。在这些滑块27、28上分别可移动地设置成为一对的各输送端部33、34。这些输送端部33、34与各输送端部29、30相同，具有各臂33a、34a和各吸附衬垫33b、34b。另外，由于一对滑块23、24和27、28被设置在一对滑块25、26的更外侧，所以设定各臂29a、30a、33a、34a的长度，使得各滑块23、24和27、28的各吸附衬垫29b、30b、33b、34b的位置与各滑块25、26的各吸附衬垫31b、32b的位置相同。另外，若为可沿XY方向微小移动用于保持玻璃衬底3的各臂29a、30a、31a、32a、33a、3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底输送装置，其特征在于，包括：衬底浮起机构，其是沿搬送路径设置的、用于使衬底在所述输送路径上浮起；输送机构，保持由所述衬底浮起机构浮起的所述衬底的两端部，并沿所述输送路径进行输送。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2002-4-18 116581/20021.一种衬底输送装置，其特征在于，包括衬底浮起机构，其是沿搬送路径设置的、用于使衬底在所述输送路径上浮起；输送机构，保持由所述衬底浮起机构浮起的所述衬底的两端部，并沿所述输送路径进行输送。2.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，所述衬底浮起机构至少上吹空气而使所述衬底浮起。3.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，所述衬底浮起机构通过空气的上吹和空气的吸入而使所述衬底浮起。4.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，所述衬底浮起机构具有浮起块；在所述浮起块上形成的、至少对空气进行上吹的多个孔；在所述浮起块上沿所述衬底的输送方向形成的所述空气的排气槽。5.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，所述输送机构具有沿所述输送路径的两侧配置的各滑块；各输送端部，分别可移动地设置在这些滑块上，分别保持成为所述衬底的搬送方向的前侧的所述衬底的两端侧。6.如权利要求5所述的衬底输送装置，其特征在于，所述各输送端部具有分别吸附保持所述衬底的背面的两端部的吸附衬垫。7.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，所述衬底浮起机构具有在所述输送路径的全长上设置的浮起块；在所述浮起上形成的、至少进行上吹空气的多个孔；在所述浮起块上沿所述衬底的输送方向形成的所述空气排气槽；沿所述输送路径全长的两侧配置的多个滑块；各吸附衬垫，分别在这些滑块上可移动地设置，分别吸附保持成为所述衬底的输送方向的前侧的所述衬底背面的两端侧。8.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，所述衬底浮起机构具有在所述输送路径的全长上设置的输送架台；可移动地设置在所述输送架台上的保持器；在所述保持器上形成的、至少对空气进行上吹的多个孔；在所述保持器上沿所述衬底的输送方向形成的所述空气的排气槽；沿所述输送路径全长的两侧配置的多个滑块；各吸附衬垫，分别在这些滑块上可移动地设置，分别吸附保持成为所述衬底的输送方向的前侧的所述衬底背面的两端侧。9.如权利要求1所述的衬底输送装置，其特征在于，所述输送机构具有定位部，用于分别保持浮起的所述衬底的两端侧，并沿所述输送方向微小移动该保持的至少一个而使所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：安田守，藤崎畅夫，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]