用于自动的传感器安装的方法和设备技术

本发明专利技术提供一种图形用户接口（ＧＵＩ），用于配置和设置在半导体处理系统中用于监视工具和处理性能的传感器。所述半导体处理系统包括许多处理工具、许多处理模块（室）和许多传感器。图形显示被这样组织，以使得所有的重要参数被清楚地和合乎逻辑地显示，从而用户能够利用尽可能少的输入进行所需的配置和设置任务。所述ＧＵＩ是基于环球网的，且用户可以使用环球网浏览器察看。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体处理系统，尤其涉及使用图形用户接口(GUI)配置和使用传感器的半导体处理系统。
技术介绍
计算机一般用于控制、监视和初始化制造过程。如果由于再入的晶片流程、关键的处理步骤和过程的可维护性而使半导体制造厂具有复杂性，计算机对于这样的操作是理想的。使用各种输入/输出(I/O)装置来控制和监视处理流、晶片状态以及维护调度。在半导体制造厂中具有多种工具用于完成这些复杂的步骤，从关键的操作例如蚀刻到批处理和检验。大部分工具安装使用显示屏来完成，所述显示屏是含有安装软件的控制计算机的图形用户接口(GUI)的一部分。半导体处理工具的安装是一种费时的过程。半导体处理设备需要不断地被监视。处理条件随时间而改变，在关键的处理参数中的最轻微的改变便能产生有害的结果。蚀刻气体的成分或压力、处理室或晶片温度容易发生小的改变。在许多情况下，借助于简单地参考所显示的处理数据，不能检测反映处理特性的劣化的处理数据的改变。难于检测处理的早期阶段的异常性和特性劣化。通常需要由先进的处理控制(APC)提供的预测和图形识别。通常由具有多种控制器的若干个不同的控制系统进行设备控制。一些控制系统可以具有人机接口例如触摸屏，而另一些可能只采集和显示一个变量例如温度。监视系统可以采集用于处理控制系统的列表的数据。监视系统的数据采集可以包括单变量数据和多变量数据、数据的分析和显示，并能够选择被采集的处理变量。在处理中的多种条件由被提供在每个处理室中的不同的传感器监视，并且被监视的条件的数据被传递和存储在一个控制计算机中。如果处理数据自动地被显示和检测，则大量生产线的最佳的处理条件可以被设置，并通过统计处理控制(SPC)图表进行控制。设备的无效的监视可以导致设备的停机，这增加了总的生产成本。
技术实现思路
按照一个方面，本专利技术提供一种使用图形用户接口(GUI)配置半导体处理系统中的传感器的方法，所述方法包括访问系统配置GUI屏幕，选择一个配置部分，选择传感器类型任选项，以及使用传感器类型列表屏幕、传感器信息屏幕和传感器参数屏幕中的至少一个来产生每个传感器的传感器类型。本专利技术的另一个方面提供一种使用图形用户接口(GUI)配置半导体处理系统中的传感器的方法，所述方法包括使用传感器类型列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器参数GUI屏幕中的至少一个来配置传感器类型；以及使用传感器列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器设置项目信息GUI屏幕中的至少一个来配置传感器实例。本专利技术的另一个方面提供一种用于在半导体处理系统中设置传感器的控制系统和图形用户接口(GUI)，包括用于执行数据采集计划的装置；用于使用所述数据采集计划确定传感器设置计划的装置；以及用于执行以传感器设置计划以设置所述传感器的装置。本专利技术的另一个方面提供一种用于配置半导体处理系统中的传感器的控制系统和图形用户接口(GUI)，包括用于利用传感器类型列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕和传感器参数GUI屏幕中的至少一个配置传感器的装置；以及用于利用传感器列表GUI屏幕、传感器信息GUI屏幕、和传感器设置项目信息GUI屏幕中的至少一个配置传感器实例的装置。附图说明作为本说明的一部分并被包括在本说明中的附图说明本专利技术的实施例，其和上面给出的一般性说明以及在下面给出的实施例的详细说明一道，用于说明本专利技术的原理。参看下面的详细说明将获得对本专利技术的实施例的更加完整的理解，尤其是当结合附图时。附图中图1表示按照本专利技术的一个实施例的先进的处理控制(APC)的半导体制造系统的示例方块图；图2表示按照本专利技术的一个实施例的用于监视半导体处理系统中的处理工具的示例的流程图；图3表示按照本专利技术的一个实施例的策略和计划的示例的关系图；图4表示按照本专利技术的一个实施例的策略和计划的示例的流程图；图5表示按照本专利技术的一个实施例的选择屏幕的示例图；图6是按照本专利技术的一个实施例的计划信息屏幕的示例图； 图7是按照本专利技术的一个实施例的传感器设置屏幕的示例图；图8是按照本专利技术的一个实施例的传感器设置项目的示例图；图9是按照本专利技术的一个实施例的参数保存屏幕的示例图；图10是按照本专利技术的一个实施例的公式信息屏幕的示例图；图11是按照本专利技术的一个实施例的参数采集信息屏幕的示例图；图12是按照本专利技术的一个实施例的屏幕选择屏幕的示例图；图13是按照本专利技术的一个实施例的传感器类型选择屏幕的示例图；图14是按照本专利技术的一个实施例的传感器信息屏幕的示例图；图15是按照本专利技术的一个实施例传感器参数屏幕的示例图；图16是按照本专利技术的一个实施例另一个传感器参数屏幕幕的示例图；图17是按照本专利技术的一个实施例另一个传感器参数屏幕的示例图；图18是按照本专利技术的一个实施例的传感器实例选择GUI屏幕的示例图；图19是按照本专利技术的一个实施例传感器信息屏幕幕的示例图；图20是按照本专利技术的一个实施例传感器设置项目信息屏幕的示例图；图21是按照本专利技术的一个实施例另一个选择屏幕的示例图；图22是按照本专利技术的一个实施例的另一个配置屏幕的示例图；图23A，23B是按照本专利技术的一个实施例附加的配置屏幕的示例图；以及图24-27是按照本专利技术的一个实施例另一个配置屏幕的示例图。具体实施例方式图1表示在按照本专利技术的一个实施例的半导体制造环境中的APC系统的示例方块图。在所示的实施例中，半导体制造环境100包括至少一个半导体处理工具110，多个处理模块120，PM1-PM4，用于监视所述工具、模块和处理的多个传感器130，传感器接口140和APC系统145。APC系统145可以包括接口服务器(IS)150，APC服务器160，客户工作站170，GUI元件180，以及数据库190。在一个实施例中，IS 150可以包括实时存储器数据库，其可被视为一个“网络集线器”。APC系统145可以包括工具状态监视系统，用于监视处理工具、处理模块和传感器中的至少一个的性能。在所示的实施例中，和4个处理模块120一道示出了一个工具110，但本专利技术不限于此。工具状态监视系统可以与若干个处理工具接口，所述处理工具包括具有一个或多个处理模块的群集工具。工具状态监视系统可用于配置和监视若干个处理工具，所述处理工具包括具有一个或多个处理模块的群集工具。例如，工具以及其相关的处理模块可用于进行蚀刻、淀积、扩散、清洗、测量、抛光、显影、转印、存储、装载、卸载、对准、温度控制、光刻技术、集成的度量衡(IM)、光学数据成形(ODP)、微粒检测以及其它的半导体制造工艺。在一个实施例中，处理工具110可以包括工具代理(未示出)，其可以是一个在工具110上运行的软件处理，并且其可以提供事件信息、环境信息(context information)和用于使数据获取和工具处理同步的开始-停止定时指令。此外，APC系统145可以包括代理客户(未示出)，其可以是能够用于提供与所述工具代理的连接的软件处理。例如，APC系统145可以通过互联网或内联网连接和处理工具110相连。在一个实施例中，IS 150使用套接字进行通信。例如，接口可以使用TCP/IP套接字通信来实现。在每次通信之前，建立一个套接字。然后作为一个串发送信息。在该信息被发送之后，所述套接字被取消。或者，接口可以作为利用C/C++代码扩展的TCL本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使用图形用户接口（ＧＵＩ）配置半导体处理系统中的多个传感器的方法，所述方法包括：　　　　访问系统配置ＧＵＩ屏幕；　　　　选择一个配置选项；　　　　选择传感器类型选项；以及　　　　使用传感器类型列表屏幕、传感器信息屏幕和传感器参数屏幕中的至少一个来产生用于每个传感器的传感器类型。

【技术特征摘要】
US 2002-7-3 60/393,1041.一种使用图形用户接口(GUI)配置半导体处理系统中的多个传感器的方法，所述方法包括访问系统配置GUI屏幕；选择一个配置选项；选择传感器类型选项；以及使用传感器类型列表屏幕、传感器信息屏幕和传感器参数屏幕中的至少一个来产生用于每个传感器的传感器类型。2.如权利要求1所述的方法，还包括使用传感器类型列表GUI屏幕选择传感器类型；使用传感器信息GUI屏幕确定和所述传感器类型相关的多个参数；以及使用传感器参数GUI屏幕确定用于每个参数的值类型。3.如权利要求2所述的方法，还包括使用传感器类型列表GUI屏幕为传感器创建新的传感器类型；使用包括下列传感器参数中的至少两个传感器参数来定义新的传感器类型传感器类型，参数名称，值类型，数值最小，数值最大，IS_Optional，IS_Invisible，IS-Per-Instance，IS_Computed，提示，描述，缺省值，以及值数据；以及保存所述新的传感器类型。4.如权利要求3所述的方法，其中的值类型包括静态值类型，一次/实例值类型，和随DC计划可变的值类型之一。5.如权利要求2所述的方法，还包括使用传感器类型列表GUI屏幕来编辑现有的传感器类型；通过改变下述参数中的至少一个来定义被编辑的传感器类型传感器类型，参数名称，值类型，数值最小，数值最大，Is_Optional，Is_Invisible，Is-Per-Instance，Is_Computed，提示，描述，缺省值，以及值数据；以及保存被编辑的传感器类型。6.如权利要求2所述的方法，还包括使用传感器类型列表GUI屏幕选择现有的传感器类型；以及删除所选择的传感器类型。7.如权利要求1所述的方法，还包括从项目菜单中选择传感器实例选项；以及使用传感器列表GUI屏幕，传感器信息GUI屏幕和传感器设置项信息GUI屏幕中的至少一个来配置用于每个传感器的传感器实例。8.如权利要求7所述的方法，还包括使用传感器列表GUI屏幕产生半导体处理系统中的新的传感器实例；使用包括下列传感器参数中的至少两个传感器参数来定义新的传感器类型传感器类型，工具ID，模块ID，参数名称，参数值，值类型，缺省值，数值最小，数值最大，描述和is_enabled；以及保存新的传感器实例。9.如权利要求7所述的方法，还包括使用传感器列表GUI屏幕来编辑半导体处理系统中现有的传感器实例；通过改变以下参数中的至少一个来定义被编辑的传感器实例传感器类型传感器类型，工具ID，模块ID，参数名称，参数值，值类型，缺省值，数值最小，数值最大，描述，和is_enabled；以及保存被编辑的传感器实例。10.如权利要求7所述的方法，还包括定义传感器设置计划；以及执行所述传感器设置计划，以便设置每个传感器。11.如权利要求10所述的方法，还包括在计划GUI屏幕上从传感器实例的列表中选择一个传感器实例；以及向为该计划列表选择的实例添加所选择的传感器实例。12.如权利要求10所述的方法，还包括从计划GUI屏幕上用于该计划列表的选择的实例中选择传感器实例；以及把从用于该计划列表的选择的实例中选择的传感器实例移动到传感器实例列表的列表中。13.如权利要求1所述的方法，其中，所述GUI包括至少一个屏幕，该屏幕含有来自由下述标记构成的组中的标记左-右标记、右-左标记、顶-底标记和底-顶标记。14.如权利要求1所述的方法，其中，所述GUI包括从由下述多级导航树构成的组中选择的至少一个多级导航树英语多级导航树，日语多级导航树，...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫瑞特芬克，史蒂文哈特曼，
申请(专利权)人：东京电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]