扩散炉管道清洗设备制造技术

本申请实施例提供一种扩散炉管道清洗设备，扩散炉管道清洗设备包括相互独立的冲洗箱及烘干箱；冲洗箱中设置有第一转动组件及冲洗组件；第一转动组件包括第一转轮组及驱动第一转轮组的第一驱动组件；冲洗组件包括沿扩散炉管道径向方向设置的多个液体喷头；烘干箱中设置有第二转动组件及烘干组件；第二转动组件包括第二转轮组及驱动第二转轮组的第二驱动组件；烘干组件包括用于向烘干箱室输入烘干气体的气体泵。通过设置冲洗箱和烘干箱，可以同时对两根扩散炉管道分别进行自动化的冲洗和烘干作业，提高了作业效率，减少了作业时间。通过烘干的方式代替脱水剂，可以减少对环境的污染，并且降低了操作难度，减少了安全隐患。减少了安全隐患。减少了安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
扩散炉管道清洗设备


[0001]本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种扩散炉管道清洗设备。

技术介绍

[0002]半导体元器件扩散行业中，扩散炉石英管道及碳化硅管道的颗粒度是重要的工艺指标，为保证扩散炉管道的颗粒度，定期会对扩散炉管道进行清洗。在现有的清洗方式中，通常是将炉管放入清洗机中，先使用纯水进行冲洗，然后使用泵向管道内喷射一定配比的酸溶液，进行浸泡冲洗，再使用纯水进行冲洗掉表面附着的酸性溶液，最后使用脱水溶剂将扩散炉管道内外壁的水分进行脱水。从经济角度分析，由于每次只能清洗一根扩散炉管道，整个过程耗时较长，极大的浪费人力及时间，同时使用脱水溶剂也是一项支出；从环境角度考虑，脱水溶剂为化工溶剂，对环境造成了一定的污染；从安全角度考虑，由于操作员工需要手动向扩散炉管道内外壁进行浇灌脱水溶剂，脱水溶剂的挥发性和刺激性很大，操作员工长时间近距离的接触，对员工身体也有危害，易造成人身伤害等安全隐患。

技术实现思路

[0003]为了克服上述技术背景中所提及的技术问题，本申请实施例提供一种扩散炉管道清洗设备，所述扩散炉管道清洗设备包括相互独立的冲洗箱及烘干箱；
[0004]所述冲洗箱中设置有第一转动组件及冲洗组件；所述第一转动组件包括用于从扩散炉管道外侧与扩散炉管道接触并带动扩散炉管道转动的第一转轮组及驱动所述第一转轮组的第一驱动组件；所述冲洗组件包括沿扩散炉管道径向方向设置的多个液体喷头；
[0005]所述烘干箱中设置有第二转动组件及烘干组件；所述第二转动组件包括用于从扩散炉管道外侧与扩散炉管道接触并带动扩散炉管道转动的第二转轮组及驱动所述第二转轮组的第二驱动组件；所述烘干组件包括用于向所述烘干箱室输入烘干气体的气体泵。
[0006]在一种可能的实现方式之中，所述扩散炉管道清洗设备还包括本体，所述本体上设置有相互隔离的第一腔室及第二腔室，所述第一腔室的开口方向向上，所述第二腔室位于所述第一腔室下方，所述第二腔室的开口方向与所述第一腔室的开口方向垂直；
[0007]所述冲洗箱设置于所述第一腔室，所述扩散炉管道清洗设备还包括用于封闭所述第一腔室的开口的第一槽门；
[0008]所述烘干箱设置有抽屉式导轨，所述烘干箱通过所述抽屉式导轨可收纳于所述第二腔室，所述扩散炉管道清洗设备还包括用于封闭所述第二腔室的开口的第二槽门。
[0009]在一种可能的实现方式之中，所述扩散炉管道清洗设备还包括溢流管及排水阀门，所述溢流管通过所述排水阀门与所述冲洗箱连接。
[0010]在一种可能的实现方式之中，所述冲洗箱中还设置有液位传感器，所述排水阀门与所述液位传感器联动。
[0011]在一种可能的实现方式之中，所述扩散炉管道清洗设备还包括排气管；所述排气管与所述烘干箱连接。
[0012]在一种可能的实现方式之中，所述冲洗箱内设置有第一调整支架，所述第一调整支架用于调整扩散炉管道在所述冲洗箱中的相对位置；
[0013]所述烘干箱内设置有第二调整支架，所述第二调整支架用于调整扩散炉管道在所述烘干箱中的相对位置。
[0014]在一种可能的实现方式之中，所述烘干组件还包括和所述气体泵连接的气体提供组件及气体加热组件。
[0015]在一种可能的实现方式之中，所述气体提供组件为氮气提供组件。
[0016]在一种可能的实现方式之中，所述扩散炉管道清洗设备还包括控制组件，所述控制组件与所述冲洗组件、第一驱动组件、烘干组件及第二驱动组件电性连接，所述控制组件用于控制所述冲洗组件、第一驱动组件、烘干组件及第二驱动组件。
[0017]在一种可能的实现方式之中，所述扩散炉管道清洗设备还包括人机交互组件，所述人机交互组件与所述控制组件连接，所述人机交互组件用于接收用户的操作指令并发送给所述控制组件。
[0018]本申请实施例提供的扩散炉管道清洗设备，通过设置冲洗箱和烘干箱，可以同时对两根扩散炉管道分别进行自动化的冲洗和烘干作业，提高了作业效率，减少了作业时间。通过烘干的方式代替脱水剂，可以减少对环境的污染，并且降低了操作难度，减少了安全隐患。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图做简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1为本申请实施例提供的扩散炉管道清洗设备的示意图之一；
[0021]图2为本申请实施例提供的扩散炉管道清洗设备的示意图之二；
[0022]图3为本申请实施例提供的第一驱动组件和第二驱动组件的示意图；
[0023]图4为本申请实施例提供的第一调整支架和第二调整支架的示意图；
[0024]图5为本申请实施例提供的扩散炉管道清洗设备的内部电路连接示意图之一；
[0025]图6为本申请实施例提供的扩散炉管道清洗设备的内部电路连接示意图之二。
具体实施方式
[0026]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0027]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0028]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0029]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0030]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例中的不同特征之间可以相互结合。
[0031]请参照图1，图1为本实施例提供的一种扩散炉管道20清洗设备，所述扩散炉管道20清洗设备可以包括相互独立的冲洗箱100及烘干箱200。
[0032]所述冲洗箱100中设置有第一转动组件110及冲洗组件120。
[0033]所述第一转动组件110包括用于从扩散炉管道20外侧与扩散炉管道20接触并带动扩散炉管道20转动的第一转轮组111及驱动所述第一转轮组111的第一驱动组件112。
[0034]具体地，请参照本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉管道清洗设备，其特征在于，所述扩散炉管道清洗设备包括相互独立的冲洗箱及烘干箱；所述冲洗箱中设置有第一转动组件及冲洗组件；所述第一转动组件包括用于从扩散炉管道外侧与扩散炉管道接触并带动扩散炉管道转动的第一转轮组及驱动所述第一转轮组的第一驱动组件；所述冲洗组件包括沿扩散炉管道径向方向设置的多个液体喷头；所述烘干箱中设置有第二转动组件及烘干组件；所述第二转动组件包括用于从扩散炉管道外侧与扩散炉管道接触并带动扩散炉管道转动的第二转轮组及驱动所述第二转轮组的第二驱动组件；所述烘干组件包括用于向所述烘干箱室输入烘干气体的气体泵。2.根据权利要求1所述的扩散炉管道清洗设备，其特征在于，所述扩散炉管道清洗设备还包括本体，所述本体上设置有相互隔离的第一腔室及第二腔室，所述第一腔室的开口方向向上，所述第二腔室位于所述第一腔室下方，所述第二腔室的开口方向与所述第一腔室的开口方向垂直；所述冲洗箱设置于所述第一腔室，所述扩散炉管道清洗设备还包括用于封闭所述第一腔室的开口的第一槽门；所述烘干箱设置有抽屉式导轨，所述烘干箱通过所述抽屉式导轨可收纳于所述第二腔室，所述扩散炉管道清洗设备还包括用于封闭所述第二腔室的开口的第二槽门。3.根据权利要求1所述的扩散炉管道清洗设备，其特征在于，所述扩散炉管道清洗设备还包括溢流管及排水阀门，所述溢流管通过所述排水阀门与所述冲洗箱连接。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：燕超，徐嘉，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：