一种可降低功耗的大尺寸单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可降低功耗的大尺寸单晶炉，包括固定平台，水平放置在工作间的地面上，所述固定平台上表面平整；上壳体，通过安装块固定安装在所述下壳体上方，所述上壳体与下壳体对齐，且两者之间可拆卸；进料口，居中开设所述上壳体上表面，所述进料口下方设置有可是原料均匀分散的挡板，所述挡板侧面固定有可增加性的密封圈。该可降低功耗的大尺寸单晶炉，采用新型的结构设计，使得装置在坩埚托的下表面覆盖软毡层，利用软毡层可以有效减缓坩埚托的散热速度，并且在软毡层的下方设置保护层，防止对软毡层进行保护，在上料时可以利用挡板尽可能的使原料分散，之后利用转动的筛网使得原料均匀的落入坩埚主体内部，防止出现堆积的情况。积的情况。积的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种可降低功耗的大尺寸单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体为一种可降低功耗的大尺寸单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体的环境中，用石墨加热器将多晶硅熔化，并用直拉法生长无错位单晶的一种设备。
[0003]现有技术中，授权公告号为CN211814712U的中国专利公开了一种半导体生产单晶炉，涉及单晶炉
，为解决现有的单晶炉保温性能不够完善，使用起来不够方便的问题，所述单晶炉壳体的下方安装有安装架，所述单晶炉壳体下端的一侧设置有排气口，所述排气口的前端安装有调节阀，所述单晶炉壳体下端的中间位置处安装有电机，所述单晶炉壳体前端的上端安装有可视玻璃窗，所述单晶炉壳体的上端安装有法兰密封下连接盖，所述法兰密封下连接盖的上端安装有法兰密封上连接盖，所述法兰密封上连接盖上方的一侧设置有真空抽气口。
[0004]但是在实际的使用过程中，单晶炉内部的坩埚主体的埚托一般为碳碳材料，碳碳材料的导热性较好，所以在使用时会导致坩埚主体下方热量散失较快，并且上述专利在上料时会出现原料在坩埚内部分布不均匀，中间的原料受热较为困难，从而延长了加热时间，造成一定的资源浪费。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种可降低功耗的大尺寸单晶炉，以解决上述
技术介绍
中提出热量散失、原料堆积的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可降低功耗的大尺寸单晶炉，包括：
[0007]固定平台，水平放置在工作间的地面上，所述固定平台上表面平整；
[0008]下壳体，固定安装在所述固定平台上方；
[0009]上壳体，通过安装块固定安装在所述下壳体上方，所述上壳体与下壳体对齐，且两者之间可拆卸；
[0010]进料口，居中开设所述上壳体上表面，所述进料口下方设置有可是原料均匀分散的挡板，所述挡板侧面固定有可增加性的密封圈；
[0011]加热装置，均匀分布在所述下壳体内部，所述加热装置可实现对内侧物体均匀加热；
[0012]坩埚主体，安装在所述下壳体内部中间位置，所述坩埚主体可升降活动；
[0013]坩埚托，设置在所述坩埚主体正下方，所述坩埚托下表面外侧包裹有用于减少散热的软毡层，所述软毡层下方设置有可防止其过热损坏的保护层。
[0014]优选的，所述进料口外侧转动安装有外齿轮，所述上壳体上方贯穿连接有连接杆，所述连接杆外侧设置有复位弹簧。
[0015]优选的，所述连接杆利用内齿轮与外齿轮组成啮合结构，所述连接杆通过上下两端的上螺纹和下螺纹可分别与上壳体固定，通过转动外齿轮可以带动内侧啮合连接的内齿轮发生转动，从而根据需要选择上螺纹或者下螺纹与上壳体连接，在上料和密封之间切换。
[0016]优选的，所述连接杆通过复位弹簧可带动挡板在上壳体内部上下活动，所述挡板外部密封圈直径大于所述进料口内壁直径，挡板在复位弹簧的带动下移动到上方时，器外部的密封圈会与上料口的内壁发生挤压，从而实现对上料口的密封效果。
[0017]优选的，所述坩埚主体上方设置有与其直径相等的筛网，所述筛网可与所述坩埚主体相对转动，在原料落在筛网的上方后，利用筛网的转动可带动原料均匀的从筛网的上方落下，从而可以避免原料在进入坩埚主体后堆积的情况。
[0018]优选的，所述筛网利用外侧从动齿轮与主动齿轮组成啮合结构，通过主动齿轮的转动可以带动与之啮合连接的从动齿轮发生转动，从而带动筛网开始转动。
[0019]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该可降低功耗的大尺寸单晶炉，采用新型的结构设计，使得装置在坩埚托的下表面覆盖软毡层，利用软毡层可以有效减缓坩埚托的散热速度，并且在软毡层的下方设置保护层，防止对软毡层进行保护，在上料时可以利用挡板尽可能的使原料分散，之后利用转动的筛网使得原料均匀的落入坩埚主体内部，防止出现堆积的情况。
[0020]1.外齿轮、内齿轮、连接杆、复位弹簧、挡板和密封圈之间的配合使用，在上料时，可以向下按动连接杆，之后转动主动齿轮使得从动齿轮带动连接杆上的上螺纹与上壳体连接，进行固定，此时原料在接触挡板时利用其倾斜的表面可尽可能的使原料分散分布，上料结束后复位弹簧带动挡板向上移动，此时利用挡板外侧的密封圈将进料口从内部进行密封，配合原有的密封措施，加强装置整体的密封性。
[0021]2.坩埚托、软毡层和保护层之间的配合使用，在装置工作时，坩埚托下方包裹的软毡层可以对坩埚托起到保温作用，从而减少热量的散失，达到降低能耗的作用，并且软毡层下方的保护层可以防止其在使用过程中出现粉化的情况。
附图说明
[0022]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0023]图2为本技术图1中A处放大结构示意图；
[0024]图3为本技术连接杆局部正视结构示意图；
[0025]图4为本技术图1中B处放大结构示意图；
[0026]图5为本技术挡板俯视结构示意图。
[0027]图中：1、固定平台；2、下壳体；3、上壳体；4、进料口；5、加热装置；6、坩埚主体；7、坩埚托；8、软毡层；9、保护层；10、外齿轮；11、内齿轮；12、连接杆；13、上螺纹；14、下螺纹；15、复位弹簧；16、挡板；17、密封圈；18、筛网；19、从动齿轮；20、主动齿轮。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种可降低功耗的大尺寸单晶炉，包括：
[0030]固定平台1，水平放置在工作间的地面上，固定平台1上表面平整；
[0031]下壳体2，固定安装在固定平台1上方；
[0032]上壳体3，通过安装块固定安装在下壳体2上方，上壳体3与下壳体2对齐，且两者之间可拆卸；
[0033]进料口4，居中开设上壳体3上表面，进料口4下方设置有可是原料均匀分散的挡板16，挡板16侧面固定有可增加性的密封圈17；
[0034]加热装置5，均匀分布在下壳体2内部，加热装置5可实现对内侧物体均匀加热；
[0035]坩埚主体6，安装在下壳体2内部中间位置，坩埚主体6可升降活动；
[0036]坩埚托7，设置在坩埚主体6正下方，坩埚托7下表面外侧包裹有用于减少散热的软毡层8，软毡层8下方设置有可防止其过热损坏的保护层9。
[0037]在使用装置时，首先将原料从上壳体3上方的进料口4放入装置内部的坩埚主体6内部，之后利用其外侧均匀分布的加热装置5对坩埚主体6进行加热，使得内部的原料熔化，完全熔化之后利用直拉法得到单晶硅，在一次制作完成后，坩埚托7下表本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可降低功耗的大尺寸单晶炉，其特征在于：包括：固定平台，水平放置在工作间的地面上，所述固定平台上表面平整；下壳体，固定安装在所述固定平台上方；上壳体，通过安装块固定安装在所述下壳体上方，所述上壳体与下壳体对齐，且两者之间可拆卸；进料口，居中开设所述上壳体上表面，所述进料口下方设置有可是原料均匀分散的挡板，所述挡板侧面固定有可增加性的密封圈；加热装置，均匀分布在所述下壳体内部，所述加热装置可实现对内侧物体均匀加热；坩埚主体，安装在所述下壳体内部中间位置，所述坩埚主体可升降活动；坩埚托，设置在所述坩埚主体正下方，所述坩埚托下表面外侧包裹有用于减少散热的软毡层，所述软毡层下方设置有可防止其过热损坏的保护层。2.根据权利要求1所述的一种可降低功耗的大尺寸单晶炉，其特征在于：所述进料...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，辛旭军，余庆华，赵秀雷，
申请(专利权)人：弘元新材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：