被处理基板（Ｗ）的搬送装置（２０）包含可旋转的旋转基台（２４），在旋转基台上安装可伸屈的第１和第２臂机构（２６，２８），第１和第２臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂（２６Ａ，２８Ａ）、中间臂（２６Ｂ，２８Ｂ）和鸟嘴部（２６Ｃ，２８Ｃ），鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第１和第２臂机构的基端臂上连接连杆机构（３０），从而驱动第１和第２臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第１驱动源（３２），为了旋转连杆机构以便使第１和第２臂机构伸屈，配设第２驱动源（３４）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】技术区域本专利技术涉及搬送装置及驱动机构，尤其是涉及在半导体处理系统中利用的搬送装置及驱动机构。在这里所谓半导体处理意味着通过以规定的图形在晶片或LCD(Liquid crystal display)或FPD(Flat PanelDisplay)用的玻璃基板等的被处理基板上形成半导体层、绝缘层、导电层等，为了在该被处理基板上制造包括半导体器件或与半导体器件连接的配线、电极等构造物而实施的种种处理。
技术介绍
在制造半导体器件等的半导体处理系统内进行半导体晶片等被处理基板的传运。例如晶片在清洁状态下，在大气压气氛中或者在真空环境中传运，搬入到处理室内。或者相反从处理室中取出晶片，搬出到规定场所。用于传运半导体晶片的搬送装置例如在下述的专利文献1到4内公开。图33是示出与专利文献1和3公开的装置相同类型的现有技术的搬送装置一例的立体图。搬送装置2具有可伸屈连接基端臂4及中间臂6构成的臂8。在臂8的前端上可旋转地安装鸟嘴臂(beak arm)10。在鸟嘴部臂10两端上形成鸟嘴部10A，10B。臂8全体成为一体可以旋转。一旦使臂8伸屈，则通过其内内藏的滑轮或连接皮带传递驱动力，使鸟嘴部臂10向规定方向前进或后退。在驱动搬送装置2的电动机源12上配设2个电动机(未图示)。第一电动机如上述所示，使臂8全体旋转，向所希望方向定向。第二电动机如上述所示使臂8屈伸。如果用搬送装置2，则可以在如下述所示形态下进行处理室内的半导体晶片W的换装。即，首先，鸟嘴部臂10一方的鸟嘴部例如鸟嘴部10A处于空置状态，未处理的晶片W保持在另一方鸟嘴部10B上。其次，通过伸屈鸟嘴部臂8，首先从处理室内取出处理过的晶片W。在这里，使空置的鸟嘴部10A向处理室内前进，通过该空置的鸟嘴部10A接受处理过的晶片W。而且，使鸟嘴部10A后退，从处理室取出处理过的晶片W。其次，如图33所示，在折叠臂8的状态下，使该臂全体作180度旋转，在上述处理室内对保持未处理的晶片W的鸟嘴部10B定向。其次，再次通过伸屈上述臂8，把未处理的晶片搬入处理室内。在这里，使上述鸟嘴部10B前进，把鸟嘴部10B上保持的未处理晶片搬入处理室内。而且，使成为空置的鸟嘴部10B退避，据此传运动作结束。其它类型的搬送装置例如在下述专利文献2及4上公开。在该搬送装置中，保持晶片的一对鸟嘴部与上述专利文献1及3的情况不同，它们不是在同一水平面内而是上下重叠地配置，这样可使其向着同一方向。使用3台电动机作为驱动源，进行装置全体的旋转动作及各鸟嘴部的前进后退动作。美国专利第5,899,658号说明书[专利文献2]特开2000-72248号公报[专利文献3]特开平7-142551号公报[专利文献4]特开平10-163296号公报在图33或专利文献1及3等所示的搬送装置中存在以下问题。即，为了对处理室内处理过的晶片和未处理的晶片进行更换操作，必须使鸟嘴部臂10作180度旋转。由于这样的大旋转角浪费时间，所以不能作迅速的更换操作。尤其是，因为晶片尺寸从直径200mm变大到300mm，其重量也增加，所以旋转速度也不能提高。此外，在臂8的伸缩动作时晶片一直保持在任一方的鸟嘴部上，所以臂8的伸缩动作速度不能太高。另一方面在专利文献2及4公开的搬送装置中，作为驱动源需要3台电动机，因此相应地提高了装置的价格。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供在更换被处理基板之际，基台的旋转角度可以较小的搬送装置。本专利技术的另一目的是提供减少成为驱动源的电动机个数，可谋求降低装置成本及全体轻量化的搬送装置。本专利技术的另一目的是提供不用编码器等，可检测多个驱动轴的相对位置关系的驱动机构。本专利技术的第1方面是在被处理基板的搬送装置中，具有可旋转的旋转基台；安装在前述旋转基台上的可伸屈的第1和第2臂机构，前述第1和第2臂机构分别具备从前述旋转基台侧开始顺序地相互可旋转地连接的基端臂、中间臂和鸟嘴部，前述鸟嘴部支持前述被处理基板地配置；以驱动前述第1和第2臂机构的方式连接在前述第1和第2臂机构的前述基端臂的连杆机构；使前述旋转基台旋转驱动的第1驱动源；驱动前述连杆机构的第2驱动源，以便使前述第1和第2臂机构伸屈。本专利技术的第2方面是具有检测旋转位置功能的驱动机构，它具有作成同轴状相互可旋转的中空管状的内侧及外侧驱动轴；分别与前述内侧及外侧驱动轴接合的多个驱动源；在前述外侧驱动轴的内面上配设的检测图形；为了取入来自前述检测图形的反射光，在前述内侧驱动轴上配设的光通过窗；使通过前述光通过窗的光沿着前述内侧驱动轴的轴方向反射的反射部件；接受由前述反射部件反射的光的受光部；根据前述受光部的输出，求出前述内侧及外侧驱动轴的旋转方向的位置关系的位置检测部。第2方面的驱动机构可以作为第1方面的搬送装置的驱动机构而组装。附图说明图1是示出在本专利技术的第1实施方式的搬送装置中，两个臂机构收缩状态的平面图。图2是示出在图1所示的搬送装置中，一方的臂机构伸长状态的平面图。图3是示出图1所示搬送装置的断面图。图4是示出图1所示搬送装置的旋转基台内部构造的断面图。图5是示出在本专利技术的第2实施方式的搬送装置中，两个臂机构收缩状态的立体图。图6是示出在图5所示搬送装置中，一方的臂机构伸长状态的平面图。图7是示出图5所示搬送装置的局部断面图。图8A～图8D示意地示出图5所示搬送装置一连串动作状态的图。图9是示出在本专利技术的第3实施方式的搬送装置中，两个臂机构收缩状态的图。图10是示出在图9所示的搬送装置中，一方臂机构伸长状态的平面图。图11是主要示出在图9所示的搬送装置的连杆机构部分的局部断面图。图12是示出本专利技术第4实施方式的搬送装置中，两个臂机构收缩状态的平面图。图13是示出图12所示搬送装置的侧面图。图14是示出在图12所示的搬送装置中，一方的臂机构伸长状态的平面图。图15是示出本专利技术第5实施方式的搬送装置中，一方的臂机构伸长状态的平面图。图16是用于说明在图15所示的搬送装置中，作为第2驱动源用的直线电动机和连杆机构之间连接状态的局部断面图。图17是示出本专利技术第6实施方式的搬送装置中，两个臂机构收缩状态的平面图。图18是示出在图17所示的搬送装置中，一方的臂机构伸长状态的平面图。图19是示出图17所示的搬送装置的局部断面图。图20A～图20G是示意地示出图17所示搬送装置的一连串动作状态的图。图21是示出在本专利技术的第7实施方式的搬送装置中，两个臂机构收缩状态的平面图。图22是示出在本专利技术的第8实施方式的搬送装置中，两个臂机构收缩状态的平面图。图23是示出在图22所示的搬送装置中，一方臂机构伸长状态的立体图。图24A～图24E是示意地示出图12的搬送装置一连串动作状态的图。图25是示出除了连杆机构之外，在相同规格下形成的第7及第8实施方式的装置比较试验结果的图。图26是示出本专利技术的实施方式的驱动机构的放大断面图。图27是用于说明作为图26所示驱动机构主要部分的检测图形和反射部件之间位置关系的说明图。图28是示出直线状展开图27所示的检测图形时的状态的平面图。图29是以外侧驱动轴全体作成检测图形形成时的立体图。图30是以检测构造作为位置传感器利用时的检测图形的展开图。图31是示出图26所示的驱动机构变形例的放大断面图。图32A～图32D是示出直线状展开在图31本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种被处理基板的搬送装置，其特征在于，具备：可旋转的旋转基台；在所述旋转基台上安装的、可伸屈的第１和第２臂机构，所述第１和第２臂机构各自具备从所述旋转基台侧开始顺序地相互可旋转地连接的基端臂、中间臂和鸟嘴部，所述鸟嘴部按照支 持所述被处理基板的方式设置；与所述第１和第２臂机构的所述基端臂连接的连杆机构，以便驱动所述第１和第２臂机构；使所述旋转基台旋转驱动的第１驱动源；使所述连杆机构驱动的第２驱动源，以便使所述第１和第２臂机构伸屈。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2003-7-16 197689/2003;JP 2004-1-16 009506/20041.一种被处理基板的搬送装置，其特征在于，具备可旋转的旋转基台；在所述旋转基台上安装的、可伸屈的第1和第2臂机构，所述第1和第2臂机构各自具备从所述旋转基台侧开始顺序地相互可旋转地连接的基端臂、中间臂和鸟嘴部，所述鸟嘴部按照支持所述被处理基板的方式设置；与所述第1和第2臂机构的所述基端臂连接的连杆机构，以便驱动所述第1和第2臂机构；使所述旋转基台旋转驱动的第1驱动源；使所述连杆机构驱动的第2驱动源，以便使所述第1和第2臂机构伸屈。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述连杆机构与所述第1和第2臂机构连动，所述第1和第2臂机构的一个实质上处于伸长状态时，另一个实质上处于收缩状态。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述连杆机构具备通过所述第2驱动源旋转驱动的驱动连杆，以及分别连接所述驱动连杆和所述第1和第2臂机构的所述基端臂的第1和第2从动连杆。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述驱动连杆的旋转轴与所述旋转基台的旋转轴同轴状地配置。5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述连杆机构可旋转地与所述旋转基台连接，所述驱动连杆的旋转轴配置在与所述旋转基台的旋转轴错开的位置上。6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述驱动连杆实质上由单一的连杆构成。7.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述驱动连杆具备相互连接的多个连杆。8.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第1从动连杆相对于所述驱动连杆，超越中心线在所述第2臂机构一侧轴支承，所述第2从动连杆相对于所述驱动连杆，超越中心线在所述第1臂机构一侧轴支承，在此，所述中心线是在所述第1和第2臂机构两者收缩的初始状态下、连接所述第1和第2臂机构的鸟嘴部中心的线段的垂直二等分线。9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述第1和第2从动连杆配置在不同高度水平...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐伯弘明，石泽繁，新藤健弘，广木勤，町山弥，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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