本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括集尘头和粉尘处理箱，该粉尘处理箱侧环面上固定开设有入气口，该入气口与集尘头固定连接，该粉尘处理箱下端面固定安装有斗状集尘箱，该斗状集尘箱下端面固定安装有出废管，该出废管下端面固定安装有旋转电机，该旋转电机固定连接有出尘螺旋杆，该粉尘处理箱上端固定连接有抽风装置，该抽风装置上固定连接有出风管道，本实用新型专利技术通过抽风装置对粉尘处理箱上端进行抽真空，通过粉尘处理箱内的负压使集尘头形成负压对气相沉积炉内部进行环绕式抽吸，并通过粉尘处理箱对抽吸的粉尘进行处理，可以高效率的进行粉尘的收集。可以高效率的进行粉尘的收集。可以高效率的进行粉尘的收集。
【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置
[0001]本技术涉及一种净化装置领域，特别涉及一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III
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V、II
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IV、IV
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VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。
[0003]本技术提供了一种化学气相沉积炉用的集尘装置，相对于现有的收集装置，可以高效的对粉尘进行抽吸收集，提高了工作效率。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于提供了一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，通过上料装置进行料盘的叠装和料盘的上料，并通过下料装置上的下料搬运装置将上料完成的料盘进行搬运到下料置料架内，并对料盘进行下料，实现了料盘的自动上下料，提高了生产效率，降低了员工劳动量。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括集尘头和粉尘处理箱，该粉尘处理箱侧环面上固定开设有入气口，该入气口与集尘头固定连接，该粉尘处理箱下端面固定安装有斗状集尘箱，该斗状集尘箱下端面固定安装有出废管，该出废管下端面固定安装有旋转电机，该旋转电机固定连接有出尘螺旋杆，该出废管侧端面下端固定安装有除尘口，该粉尘处理箱上端固定连接有抽风装置，该抽风装置上固定连接有出风管道。
[0007]进一步的，所述集尘头包括环状集尘管，集尘连接管和汇集管，该环状集尘管的内环面和外环面上固定开设有若干吸尘孔，该环状集尘管的上端面固定连接有若干集尘连接管，该集尘连接管远离环状集尘管的一端汇集固定连接有汇集管。
[0008]进一步的，所述粉尘处理箱内固定安装有第一分离板和第二分离板，该第一分离板置于第二分离板的下方，该第一分离板上固定开设有连接通孔，该连接通孔上固定安装有半球状的隔离罩，该第二分离板与粉尘处理箱之间固定安装有第二过滤板。
[0009]进一步的，所述隔离罩上端面固定安开设有过滤孔，该过滤孔内固定安装有过滤管，该过滤管内固定安装有第一过滤板。
[0010]更进一步的，所述第二分离板为斗状，该斗状的第二分离板罩设在隔离罩正上方。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0012]本技术通过抽风装置对粉尘处理箱上端进行抽真空，通过粉尘处理箱内的负压使集尘头形成负压对气相沉积炉内部进行环绕式抽吸，并通过粉尘处理箱对抽吸的粉尘进行处理，可以高效率的进行粉尘的收集。
附图说明
[0013]图1为本技术的主视图；
[0014]图2为本技术的主视剖面图。
[0015]附图标记
[0016]1.集尘头；2.粉尘处理箱；3.入气口；4.斗状集尘箱；5.出废管；6.旋转电机；7.出尘螺旋杆；8.除尘口；9.抽风装置；10.出风管道；11.环状集尘管；12.集尘连接管；13.汇集管；14.吸尘孔；15.第一分离板；16.第二分离板；17.连接通孔；18.隔离罩；19.第二过滤板；20.过滤管；21.第一过滤板。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本技术的较佳实施例作详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围作出更为清楚明确的界定。
[0018]参见图1
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2所示，一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括集尘头1和粉尘处理箱2，该粉尘处理箱2侧环面上固定开设有入气口3，该入气口3与集尘头1固定连接，该粉尘处理箱2下端面固定安装有斗状集尘箱4，该斗状集尘箱4下端面固定安装有出废管5，该出废管5下端面固定安装有旋转电机6，该旋转电机6固定连接有出尘螺旋杆7，该出废管5侧端面下端固定安装有除尘口8，该粉尘处理箱2上端固定连接有抽风装置9，该抽风装置9上固定连接有出风管道10。
[0019]通过集尘头1对沉积炉内的粉尘进行吸纳归集，然后通过粉尘处理箱2对粉尘进行过滤和沉积，并通过除尘口8进行排出，实现粉尘收集的效果。
[0020]所述集尘头1包括环状集尘管11，集尘连接管12和汇集管13，该环状集尘管11的内环面和外环面上固定开设有若干吸尘孔14，该环状集尘管11的上端面固定连接有若干集尘连接管12，该集尘连接管12远离环状集尘管11的一端汇集固定连接有汇集管13。
[0021]通过集尘管的结构可以有效的对沉积炉内进行全方位的抽吸，相较于喇叭口的吸尘方式更加全面，也更便于安装。
[0022]所述粉尘处理箱2内固定安装有第一分离板15和第二分离板16，该第一分离板15置于第二分离板16的下方，该第一分离板15上固定开设有连接通孔17，该连接通孔17上固定安装有半球状的隔离罩18，该第二分离板16与粉尘处理箱2之间固定安装有第二过滤板19。
[0023]第一过滤板21用于主要粉尘的的过滤，通过隔离罩18可以防止粉尘堵塞过滤口，并通过第二过滤板19进行第二层的防护。
[0024]所述隔离罩18上端面固定安开设有过滤孔，该过滤孔内固定安装有过滤管20，该过滤管20内固定安装有第一过滤板21。
[0025]所述第二分离板16为斗状，该斗状的第二分离板16罩设在隔离罩18正上方。
[0026]本技术通过集尘头1可以有效的对沉积炉内进行全方位的集尘，集尘效果相较于喇叭口更为方便安装，集尘效果也更好。
[0027]以上所述仅为本技术的较佳实施方式，本技术的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本技术所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括集尘头(1)和粉尘处理箱(2)，该粉尘处理箱(2)侧环面上固定开设有入气口(3)，其特征在于：所述入气口(3)与集尘头(1)固定连接，该粉尘处理箱(2)下端面固定安装有斗状集尘箱(4)，该斗状集尘箱(4)下端面固定安装有出废管(5)，该出废管(5)下端面固定安装有旋转电机(6)，该旋转电机(6)固定连接有出尘螺旋杆(7)，该出废管(5)侧端面下端固定安装有除尘口(8)，该粉尘处理箱(2)上端固定连接有抽风装置(9)，该抽风装置(9)上固定连接有出风管道(10)。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于：所述集尘头(1)包括环状集尘管(11)，集尘连接管(12)和汇集管(13)，该环状集尘管(11)的内环面和外环面上固定开设有若干吸尘孔(14)，该环状集尘管(11)的上端面固定连接有若干集尘连接管(12)，该集尘连接管(...
【专利技术属性】
技术研发人员：董家海，
申请(专利权)人：常熟通乐电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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