本实用新型专利技术公开了一种硅片双面磨削装置，包括工作台、电动推杆一、支撑座和滑槽，所述工作台上端设置有所述电动推杆一，所述电动推杆一上端设置有所述支撑座，所述电动推杆一一侧设置有所述滑槽，所述滑槽内设置有支撑柱，所述支撑柱上端内部设置有电机二，所述电机二的输出轴上设置有旋转盘，所述支撑柱一侧壁上设置有液压杆。有益效果在于：本实用新型专利技术通过设置电机二和旋转盘，在磨削过程中，电机二可带动旋转盘转动，进而依靠摩擦力使硅片转动，在转动过程中，硅片的固定部位则发生改变，可使磨削头对硅片进行全面磨削，无需工期进行人工磨削，减小工作人员的工作强度，提高装置实用性。性。性。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片双面磨削装置
[0001]本技术涉及硅片磨削装置
，具体涉及一种硅片双面磨削装置。
技术介绍
[0002]硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决。
[0003]现有的硅片双面磨削装置在工作过程中由于需要对硅片进行固定，而固定部位却无法被磨削到，进而导致需要后期进行人工磨削，不仅影响装置的磨削效果，而且增加工作人员的工作强度，降低装置实用性，此外，现有的硅片双面磨削装置在使用过程中是通过人肉眼观察硅片表面的磨削情况进而来操作装置，由于人眼观察存在较大的误差，进而导致产品合格率低下，降低装置功能性。
技术实现思路
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]为了克服现有技术不足，现提出一种硅片双面磨削装置，解决现有的硅片双面磨削装置在工作过程中由于需要对硅片进行固定，而固定部位却无法被磨削到，进而导致需要后期进行人工磨削，不仅影响装置的磨削效果，而且增加工作人员的工作强度，降低装置实用性，以及现有的硅片双面磨削装置在使用过程中是通过人肉眼观察硅片表面的磨削情况进而来操作装置，由于人眼观察存在较大的误差，进而导致产品合格率低下，降低装置功能性的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术通过如下技术方案实现：本技术提出了一种硅片双面磨削装置，包括工作台、电动推杆一、支撑座和滑槽，所述工作台上端设置有所述电动推杆一，所述电动推杆一上端设置有所述支撑座，所述电动推杆一一侧设置有所述滑槽，所述滑槽内设置有支撑柱，所述支撑柱上端内部设置有电机二，所述电机二的输出轴上设置有旋转盘，所述支撑柱一侧壁上设置有液压杆，所述工作台上端两侧设置有龙门架，所述龙门架以及所述工作台一侧壁上均设置有导轨，所述导轨内设置有气缸，所述气缸一侧壁上设置有电动推杆二，所述气缸一端设置有安装板，所述安装板一侧壁上设置有电机一，所述电机一的输出轴上设置有磨削头，所述电机一一侧设置有安装座，所述安装座上设置有三维扫描仪。
[0008]进一步的，所述电动推杆一与所述工作台通过螺钉连接，所述支撑座与所述电动推杆通过螺钉连接。
[0009]通过采用上述技术方案，在固定硅片时，将硅片放在所述支撑座上，使其对硅片进行支撑，同时当固定后之后，所述电动推杆一带动所述支撑座向下移动，进而不影响装置的正常工作。
[0010]进一步的，所述滑槽成型于所述工作台上，所述支撑柱与所述滑槽滑动连接，所述电机二与所述旋转盘键连接，所述液压杆与所述支撑柱通过螺钉连接。
[0011]通过采用上述技术方案，所述液压杆推动所述支撑柱在所述滑槽内移动，进而使硅片卡在所述旋转盘侧壁上的卡槽内，使所述旋转盘对其进行固定，所述电机二可带动所述旋转盘转动，进而依靠摩擦力使硅片转动，在转动过程中，硅片的固定部位则发生改变。
[0012]进一步的，所述龙门架与所述工作台通过螺钉连接，所述导轨与所述工作台以及所述龙门架均通过螺钉连接，所述气缸与所述导轨滑动连接，所述电动推杆二与所述气缸通过螺钉连接。
[0013]通过采用上述技术方案，所述电动推杆二推动所述气缸在所述导轨内移动，进而使所述气缸带动所述磨削头在硅片表面移动。
[0014]进一步的，所述安装板与所述气缸通过螺钉连接，所述电机一与所述安装板通过螺钉连接，所述电机一与所述磨削头键连接。
[0015]通过采用上述技术方案，所述气缸推动所述磨削头与硅片表面接触，所述电机一带动所述磨削头旋转对硅片表面进行磨削。
[0016]进一步的，所述安装座与所述安装板通过螺钉连接，所述三维扫描仪与所述安装座通过螺钉连接。
[0017]通过采用上述技术方案，在装置工作过程中，所述安装座上的所述三维扫描仪可对硅片表面的平整度进行扫描，进而对工作人员起到辅助作用，便于工作人员掌握装置的磨削情况，防止因误差较大而降低产品的合格率，提高装置功能性。
[0018](三)有益效果
[0019]本技术相对于现有技术，具有以下有益效果：
[0020]1、为解决现有的硅片双面磨削装置在工作过程中由于需要对硅片进行固定，而固定部位却无法被磨削到，进而导致需要后期进行人工磨削，不仅影响装置的磨削效果，而且增加工作人员的工作强度，降低装置实用性的问题，本技术通过设置电机二和旋转盘，在磨削过程中，电机二可带动旋转盘转动，进而依靠摩擦力使硅片转动，在转动过程中，硅片的固定部位则发生改变，可使磨削头对硅片进行全面磨削，无需工期进行人工磨削，减小工作人员的工作强度，提高装置实用性；
[0021]2、为解决现有的硅片双面磨削装置在使用过程中是通过人肉眼观察硅片表面的磨削情况进而来操作装置，由于人眼观察存在较大的误差，进而导致产品合格率低下，降低装置功能性的问题，本技术通过设置安装座和三维扫描仪，在装置工作过程中，安装座上的三维扫描仪可对硅片表面的平整度进行扫描，进而对工作人员起到辅助作用，便于工作人员掌握装置的磨削情况，防止因误差较大而降低产品的合格率，提高装置功能性。
附图说明
[0022]图1是本技术所述一种硅片双面磨削装置的结构示意图；
[0023]图2是本技术所述一种硅片双面磨削装置中工作台的俯视图；
[0024]图3是本技术所述一种硅片双面磨削装置中支撑柱的剖视图。
[0025]附图标记说明如下：
[0026]1、工作台；2、电动推杆一；3、支撑座；4、龙门架；5、磨削头；6、三维扫描仪；7、安装
座；8、气缸；9、导轨；10、电机一；11、旋转盘；12、支撑柱；13、电动推杆二；14、液压杆；15、滑槽；16、电机二；17、安装板。
具体实施方式
[0027]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0028]如图1
‑
图3所示，本实施例中的一种硅片双面磨削装置，包括工作台1、电动推杆一2、支撑座3和滑槽15，工作台1上端设置有电动推杆一2，电动推杆一2上端设置有支撑座3，在固定硅片时，将硅片放在支撑座3上，使其对硅片进行支撑，同时当固定后之后，电动推杆一2带动支撑座3向下移动，进而不影响装置的正常工作，电动推杆一2一侧设置有滑槽15，滑槽15内设置有支撑柱12，支撑柱12上端内部设置有电机二16，电机二16的输出轴上设置有旋转盘11，支撑柱12一侧壁上设置有液压杆14，液压杆14推动支撑柱12在滑槽15内移动，进而使硅片卡在旋转盘11侧壁上的卡槽内，使旋转盘11对其进行固定，电机二16可带动旋转盘本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片双面磨削装置，其特征在于：包括工作台(1)、电动推杆一(2)、支撑座(3)和滑槽(15)，所述工作台(1)上端设置有所述电动推杆一(2)，所述电动推杆一(2)上端设置有所述支撑座(3)，所述电动推杆一(2)一侧设置有所述滑槽(15)，所述滑槽(15)内设置有支撑柱(12)，所述支撑柱(12)上端内部设置有电机二(16)，所述电机二(16)的输出轴上设置有旋转盘(11)，所述支撑柱(12)一侧壁上设置有液压杆(14)，所述工作台(1)上端两侧设置有龙门架(4)，所述龙门架(4)以及所述工作台(1)一侧壁上均设置有导轨(9)，所述导轨(9)内设置有气缸(8)，所述气缸(8)一侧壁上设置有电动推杆二(13)，所述气缸(8)一端设置有安装板(17)，所述安装板(17)一侧壁上设置有电机一(10)，所述电机一(10)的输出轴上设置有磨削头(5)，所述电机一(10)一侧设置有安装座(7)，所述安装座(7)上设置有三维扫描仪(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨削装置，其特征在于：所述电动推杆一(2)与所述工作台(1)通过螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：易伟明，
申请(专利权)人：浙江鑫研电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。