液晶显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种液晶显示装置，包括：ＴＦＴ电路在透明基板上配置成阵列状的ＴＦＴ基板；与ＴＦＴ基板的设置有ＴＦＴ的面相对地配置的对置基板；充填在ＴＦＴ基板和对置基板之间的液晶材料；当设ＴＦＴ基板的第１区域的栅极电极线的导电膜的膜厚和宽度分别为ＧＬＤ１和ＧＬＷ１、与上述第１区域不同的第２区域的栅极电极线的导电膜的膜厚和宽度分别为ＧＬＤ２和ＧＬＷ２时，满足以下关系：当ＧＬＤ１＜ＧＬＤ２时，ＧＬＷ１＞ＧＬＷ２。由此，可以使ＴＦＴ液晶显示装置的画面上的像质均匀化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示装置，尤其涉及适用于大画面或高清晰的液晶显示装置的有效技术。
技术介绍
目前在个人计算机(Personal Computer)的显示器和电视接收机等各种显示装置上，广泛采用液晶显示装置。液晶显示装置，是通过对充填在2块玻璃基板之间的液晶材料施加电场，控制液晶材料中的液晶分子的取向来控制光的透过或遮断，显示图像(影像)的装置。而且，液晶显示装置，例如根据液晶分子的取向的不同、电场施加方法的不同，分为各种各样的类型，近年来，自然色的表现能力高、且易于使响应速度高速化的TFT液晶显示装置得到了广泛普及。TFT液晶显示装置是在TFT基板和对置基板之间充填了液晶材料的液晶显示装置，在上述TFT基板的玻璃基板上以阵列状配置了TFT元件，上述对置基板上设置有在其与TFT基板的设置有TFT元件的面相对的面上配置的滤色片等。这时，TFT基板，例如在玻璃基板上形成有栅极电极线、数据电极线、漏极电极、栅极绝缘膜、非晶硅(a-Si)膜和显示电极，并以阵列状配置有TFT(Thin-Film Transistor)元件，该TFT元件是由栅极电极线、从数据电极线分支出的漏极电极、源极电极、栅极绝缘膜和非晶硅膜构成的。另外，在制造TFT基板时，例如，首先在玻璃基板上形成栅极电极线形成用的导电膜。然后，在导电膜上形成图案形成用的蚀刻抗蚀剂后，将导电膜的不要的部分除去，形成栅极电极线。之后，与栅极电极线的形成步骤同样地反复进行成膜、形成抗蚀剂、蚀刻这一系列处理，形成数据电极线等。制造TFT基板时的形成蚀刻抗蚀剂的工序，以往是在导电膜上涂敷抗蚀剂材料并通过使用掩模的曝光处理形成抗蚀剂图案。但是，使用掩模进行曝光的方法，采用预先设计好的掩模尺寸，例如在形成栅极电极线形成用的导电膜时，即使在膜厚有差异的情况下，栅极电极线也总是按一定的宽度形成。液晶显示装置，近年来日益大画面化，因而在形成导电膜时膜厚很容易产生差异。因此，如果仍像以往那样以预先设计好的宽度形成栅极电极线，则在形成导电膜时膜厚变薄的区域的栅极电极线的截面积与膜厚变厚的区域的栅极电极线的截面积之差将增大。其结果是，各栅极电极线的布线电阻的差异增大，这将使由液晶显示装置显示的图像(影像)的像质在画面内变得不均匀。为避免发生这样的问题，以往，例如在考虑到栅极电极线的导电膜的膜厚或宽度的差异后，在TFT基板的整个区域上，将导电膜的膜厚加厚、或将栅极电极线的宽度加宽，使得栅极电极线的布线电阻小于或等于一定值。但是，如果将栅极电极线的宽度加宽，则开口率、即用于使背光源的光透过来显示色彩的面积将相应地减小，因而存在亮度降低、液晶显示装置的性能降低这样的问题。而当使导电膜加厚时，成膜时间将相应地加长，并且也增加了所使用的导电膜材料的量。因此，还存在TFT基板(液晶显示装置)的制造成本增加的问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是如
技术介绍
所述，在以往的液晶显示装置中，TFT基板上的栅极电极线的布线电阻的差异大，画面上的像质不均匀。另外，在为了减小TFT基板上的栅极电极线的布线电阻的差异而将栅极电极线的宽度加宽时，开口率将减小，因而还存在液晶显示装置的性能降低的问题。本专利技术的目的在于提供一种可以使TFT液晶显示装置的画面上的像质均匀化的技术。本专利技术的另一目的在于提供一种可以使TFT液晶显示装置的画面上的像质均匀化并能防止亮度的降低、提高性能的技术。通过本说明书的描述和附图可以清楚本专利技术的上述和其它的目的以及新的特征。本专利技术的TFT液晶显示装置，包括TFT基板，其在透明基板上设置有栅极电极线、数据电极线、源极电极、栅极绝缘膜、非晶硅(a-Si)膜和显示电极，且由上述栅极电极线、从上述数据电极线分支出的漏极电极、上述源极电极、上述栅极绝缘膜和上述非晶硅膜构成的TFT配置成阵列状；对置基板，与上述TFT基板的设置有上述TFT的面相对地配置；以及充填在上述TFT基板和上述对置基板之间的液晶材料；该液晶显示装置的最主要的特征在于当设上述TFT基板的第1区域的栅极电极线的导电膜的膜厚和宽度分别为GLD1和GLW1、与上述第1区域不同的第2区域的栅极电极线的导电膜的膜厚和宽度分别为GLD2和GLW2时，满足以下关系当GLD1＜GLD2时，GLW1＞GLW2。在本专利技术的TFT液晶显示装置中，上述TFT基板，如上所述，当第1区域的栅极电极线的导电膜的膜厚GLD1比上述第2区域的栅极电极线的导电膜的膜厚GLD2薄时，上述第1区域的栅极电极线的导电膜的宽度GLW1比上述第2区域的栅极电极线的导电膜的宽度GLW2宽。因此，上述第1区域的栅极电极线的截面积GLD1×GLW1与上述第2区域的栅极电极线的截面积GLD2×GLW2之差，与以往相比减小，因而可以使每条栅极电极线的布线电阻的差异减小。其结果是，可以减小画面上的像质的差异，使其均匀化。而且，这时，第1区域的栅极电极线的导电膜的膜厚GLD1和宽度GLW1与上述第2区域的栅极电极线的导电膜的膜厚GLD2和宽度GLW2之间的关系，只要能满足如上所述的关系即可，特别是，最好使上述第1区域的栅极电极线的截面积GLD1×GLW1与上述第2区域的栅极电极线的截面积GLD2×GLW2相等。另外，这样的TFT基板，例如可以用根据CAD布局数据等数值数据直接描绘图案的方法制造。这时，在透明基板上形成栅极电极线形成用的导电膜后，例如，测量导电膜的膜厚分布，并对上述数值数据进行修正，使得加宽膜厚薄的区域的宽度、减小膜厚厚的区域的宽度。然后，当在导电膜上形成蚀刻抗蚀剂时，只需根据修正后的数值数据直接描绘图案即可。这样，可以使TFT基板上的所有栅极电极线的截面积GLD×GLW均匀化。因此，能使各栅极电极线的布线电阻均匀化，从而可以使像质均匀化。而且，通过进行这样的修正，不必像以往那样在TFT基板的整个区域上将导电膜的膜厚加厚，或将栅极电极线的宽度加宽以使栅极电极线的布线电阻小于或等于一定值，因而可以防止液晶显示装置的性能降低。根据本专利技术的另一个实施方式，提供一种显示装置，在基板上配置有例如栅极电极线那样的多条第1电极线，在该多条第1电极线的上方隔着例如栅极绝缘膜那样的绝缘膜交叉地配置的例如数据电极线那样的多条第2电极线，由该多条第1电极线和多条第2电极线形成矩形的显示区域，在显示区域内的第1电极线和第2电极线相交的任意的3个部位中，当设第1部位的第1电极线的导电膜的膜厚为t1、宽度为w1，第2部位的第1电极线的导电膜的膜厚为t2、宽度为w2，第3部位的第1电极线的导电膜的膜厚为t3、宽度为w3时，在膜厚的关系为t1＞t2＞t3的情况下，宽度的关系为w1＜w2＜w3。这可以由后述的实施例所示的制造方法实现，在具有这种关系的显示板上，可以降低像质的不均匀。另外，在这种情况下，最好构成为t1与w1的乘积、t2与w2的乘积、t3与w3的乘积相等。附图说明图1是表示本专利技术的液晶显示装置的概略结构的示意图，是表示整个液晶显示装置的结构例的立体图。图2是表示本专利技术的液晶显示装置的概略结构的示意图，是表示TFT基板的概略结构的俯视图。图3是表示本专利技术的液晶显示装置的概略结构的示意图，是表示图2中示出的TFT基板上的1个像素的结构例的俯视图。图4是表示本专利技术的液晶显示装置的概略结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶显示装置，包括：ＴＦＴ基板，其在透明基板上设置有栅极电极线、数据电极线、源极电极、栅极绝缘膜、非晶硅（ａ－Ｓｉ）膜和显示电极，由上述栅极电极线、从上述数据电极线分支出的漏极电极、上述源极电极、上述栅极绝缘膜和上述非晶硅膜构成的ＴＦＴ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）配置成阵列状；与上述ＴＦＴ基板的设置有上述ＴＦＴ的面相对地配置的对置基板；以及充填在上述ＴＦＴ基板和上述对置基板之间的液晶材料；其中，当设上述ＴＦＴ基板的第１区域的栅极电极线的导电膜的 膜厚和宽度分别为ＧＬＤ１和ＧＬＷ１、与上述第１区域不同的第２区域的栅极电极线的导电膜的膜厚和宽度分别为ＧＬＤ２和ＧＬＷ２时，满足以下关系：当ＧＬＤ１＜ＧＬＤ２时，ＧＬＷ１＞ＧＬＷ２。

【技术特征摘要】
JP 2005-3-17 076935/20051.一种液晶显示装置，包括TFT基板，其在透明基板上设置有栅极电极线、数据电极线、源极电极、栅极绝缘膜、非晶硅(a-Si)膜和显示电极，由上述栅极电极线、从上述数据电极线分支出的漏极电极、上述源极电极、上述栅极绝缘膜和上述非晶硅膜构成的TFT(Thin Film Transistor)配置成阵列状；与上述TFT基板的设置有上述TFT的面相对地配置的对置基板；以及充填在上述TFT基板和上述对置基板之间的液晶材料；其中，当设上述TFT基板的第1区域的栅极电极线的导电膜的膜厚和宽度分别为GLD1和GLW1、与上述第1区域不同的第2区域的栅极电极线的导电膜的膜厚和宽度分别为GLD2和GLW2时，满足以下关系当GLD1＜GLD2时，GLW1＞GLW2。2.根据权利要求1所述的液晶显示装置，其特征在于上述第1区域的栅极电极线的截面积GLD1×GLW1，与上述第2区域的栅极电极线的截面积GLD2×GLW2相等。3.一种显示装置，在基板上配置有多条第1电极线、和在该多条第1电极线的上方隔着绝缘膜交叉地配置的多条第2电极线，由该多条第1电极线和该多条第2电极线形成矩形的显示区域，其中，在上述显示区域内的第1电极线和第2电极线相交的任意的3个部位中，当设第1部位的第1电极线的导电膜的膜厚为t1、宽度为w1，第2部位的第1电极线的导电膜的膜厚为t2、宽度为w2，第3部位的第1电极线的导电膜的膜厚为t3、宽度为w3时，在膜厚的关系为t1＞t2＞t3的情况下，宽度的关系为w1＜w2＜w3。4.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于t1和w1的乘积、t2和w2的乘积、t3和w3的乘积相等。5.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于上述第1部位是配置在上述显示区域的最上侧的第1电极线的中央部；上述第2部位是该最上侧的第1电极线与配置在上述显示区域的最外侧的第2电极线相交的部位；上述第3部位是上述第2部位的上述第2电极线与配置在上述显示区域的最下侧的第1电极线相交的部位。6.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于上述第1部位是配置在上述显示区域的最下侧的第1电极线的中央部；上述第2部位是该最下侧的第1电极线与配置在上述显示区域的最外侧的第2电极线相交的部位；上述第3部位是上述第2部位的上述第2电极线与配置在上述显示区域的最上侧的第1电极线相交的部位。7.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于上述第1部位是配置在上述显示区域的最左侧的第2电极线的中央部；上述第2部位是该最左侧的第2电极线与配置在上述显示区域的最上侧或最下侧的第1电极线相交的部位；上述第3部位是上述第2部位的第1电极线与配置在上述显示区域的最右侧的第2电极线相交的部位。8.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于上述第1部位是配置在上述显示区域的最右侧的第2电极线的中央部；上述第2部位是该最右侧的第2电极线与配置在上述显示区域的最上侧或最下侧的第1电极线相交的部位；上述第3部位是上述第2部位的上述第1电极线与配置在上述显示区域的最左侧的第2电极线相交的部位。9.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于上述3个部位是配置在上述显示区域的最外侧的2条第1电极线与配置在最外侧的2条...

【专利技术属性】
技术研发人员：大原健，大井田淳，齐藤裕，仲吉良彰，
申请(专利权)人：株式会社日立显示器，
类型：发明
国别省市：JP[日本]