该抛光设备可将一工件传送给一顶环而不会使该工件从中心位置移开并可精确地抛光该工件。该抛光设备具有用来将工件传送给顶环的一传送单元。该传送单元包括：一引导件，该引导件具有一接收部分，将工件中心定位；一安放台，该安放台相对于引导件垂直移动，且具有一安放部分，该安放部分接纳中心定位的工件；以及一支承机构，该支承机构支承安放台并使安放台可向下移动。该安放台相对移动而靠近顶环并将工件压到顶环的下表面上，从而将工件传送给所述顶环。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于抛光例如晶片的工件的抛光设备。
技术介绍
已知有许多类型的抛光设备。一普通的抛光设备具有一抛光板，该抛光板的上表面覆盖有抛光布；一顶环，该顶环具有用于固定一工件并将该工件的下表面压在抛光布上的一下表面。抛光板和顶环相对运动从而抛光工件的下表面。通常，工件由机械手臂搬运到传送单元，传送单元将工件置于中心，顶环移到传送单元以接收工件。一具有传送单元的传统抛光设备在日本专利公报11-347922中有所揭示。该传送单元包括一推进台，该推进台具有一支承面，诸如半导体晶片的工件将安放在该推进台上；一提升单元，该提升单元使推进台垂直运动；以及一引导件，该引导件位于推进台的外围，具有一引导面，该引导面为向内呈锥形(female tapered)的表面。半导体晶片由机械手臂搬运到推进台并安放在推进台的支承面上。然后，推进台与晶片一起向下运动。晶片进入引导件，晶片的外圆周表面接触引导件的引导面，从而将晶片放置在中心。推进台向上运动，接收中心放置的晶片，并将中心放置的晶片压到顶环的下表面上，从而可由顶环将晶片固定。在将晶片抛光以后，通过逆向工艺将被抛光的晶片从顶环搬运到传送单元上，然后由机械手臂将晶片从传送单元搬到一个外部的位置。然而，在传统的传送单元中，将工件从推进台移到向内呈锥形的引导面从而将工件中心放置。当工件被传送到顶环时，推进台向上运动从而接收工件并将工件压到顶环上。因此，中心放置的工件在推进台向顶环运动的时候振动，由此晶片会轻易地从中心位置处移开。如果工件从中心移动或离开，就会破坏或打破工件。
技术实现思路
本专利技术旨在解决以上所述的问题。本专利技术的一个目的是提供一种抛光设备，该设备可将一工件传送给一顶环而不会使该工件从中心位置移开并可精确地抛光该工件。为了达到这个目的，本专利技术具有以下结构。即，本专利技术的抛光设备包括一抛光板，该抛光板具有覆盖有抛光布的一上表面；一顶环，该顶环具有用来固定一工件并将该工件的一下表面压到抛光布上的一下表面，将该顶环相对于抛光板移动，从而抛光工件的下表面；以及一传送单元，该传送单元位于一工件传送位置，在该位置处，工件被传送给顶环；其中，该传送单元包括一引导件，该引导件包括一接收部分，且引导所传送的工件的一外边缘，从而完成工件的中心定位；一安放台，该安放台可相对于引导件垂直移动，且具有一安放部分，该安放部分接纳来自引导件的中心定位的工件，工件的一上表面向上突出；以及一支承机构，该支承机构支承安放台并使安放台可向下移动；以及其中，该安放台可相对移动而靠近顶环并将工件压到顶环的下表面上，从而将工件传送给顶环。在该抛光设备中，顶环可向下移动并使已经在安放台上中心定位的工件同安放台一起移动，从而将工件传送给顶环。在该抛光设备中，引导件可为多个销钉，每根销钉具有一锥形上端，该上端作为使工件中心定位的一引导部分。在该抛光设备中，安放台的安放部分可从安放台的一外圆周边缘呈圆形地向上突出。在该抛光设备中，安放部分的一安放面可为一向内呈锥形的表面，其内径向着一下端逐渐变小。在该抛光设备中，可在一基座上设置一弹性件；以及该弹性件可弹性支承安放台并使安放台可向下移动。在该抛光设备中，该弹性件可为一螺旋弹簧，该螺旋弹簧从安放台向下延伸、连接在穿过基座的一轴上并被弹性钳夹在安放台和基座之间。在该抛光设备中，轴的一部分可为一第一螺纹部分，该部分从基座向下突出，一螺母可与该第一螺纹部分螺纹连接，轴的一部分可由一螺杆套筒覆盖，该部分穿过基座，该螺杆套筒的外圆周表面包括与基座螺纹连接的一第二螺纹部分，以及通过调节螺杆套筒相对于基座的螺纹连接位置以及螺母的螺纹连接位置，可以调节安放台相对于基座的高度以及螺旋弹簧的弹性力。在该抛光设备中，安放台可沿一引导杆垂直移动，同时保持相对于基座的水平状态。在该抛光设备中，在基座上可设置一提升件，该提升件由一驱动单元垂直移动，以及该引导件可设置在该提升件中。在该抛光设备中，引导杆不仅可引导安放台，而且可引导提升件。在该抛光设备中，传送单元可包括一支承件，该支承件支承安放台，且具有一弹性件，该弹性件使安放台可向下移动；以及多个定位零件，这些定位零件设置于支承件从而接触在安放台上已经中心定位的工件的一外边缘并定位该工件。通过使用本专利技术的抛光设备，可将工件传送给顶环而不会使工件偏离中心位置，从而可以高抛光精度来抛光工件。附图说明现在将通过举例并结合附图来描述本专利技术的实施例，在这些附图中图1是本专利技术的抛光机的第一个实施例的说明图；图2是顶环的截面图；图3是示出了顶环、工件和安放部分的说明图；图4是传送单元的截面图，其中工件由销钉中心放置；图5是示出了引导杆、轴和销钉的布置的说明图；图6是传送单元的截面图，其中销钉被向下移动；图7是顶环向下运动以固定工件时传送单元的截面图；图8是第二个实施例的传送单元的截面图；图9是示出了第二个实施例的传送单元的定位零件的布置的平面图；以及图10是示出了定位零件、模板和工件的说明图。具体实施例方式现在将结合附图来详细描述本专利技术的优选实施例。图1是本专利技术的第一个实施例的抛光设备10的说明图。在图1中，抛光布13通过例如粘胶而粘附在抛光板12的上表面上。抛光板12绕心轴14旋转。心轴14由一已知的装置(未示出)旋转。顶环16连接于旋转轴17的下端。旋转轴17绕其自身的轴线旋转并由一已知的机构(未示出)向上运动。顶环16在一第一位置和一第二位置X之间运动，第一位置位于抛光板12的上方，第二位置位于抛光板12的外侧。第二位置X为工件传送位置。用于传送工件的传送单元18位于工件传送位置X上。搬运单元19具有机械手臂(未示出)。搬运单元19将要抛光的工件搬运到传送单元18中，以及将抛光好的工件从传送单元18上拿走。将工件从传送单元18传送到顶环16的下表面，顶环16将工件压到抛光板12的抛光布13上，且旋转抛光板12和顶环16，从而可抛光工件。在完成抛光后，将工件从顶环16传送到传送单元18，然后由机械手臂将工件从传送单元18上取下。图2是顶环16的截面图。顶环16是已知的顶环，因此将对其结构进行简单的说明。顶部(head proper)20包括顶板部分21，该顶板部分固定于轴17；以及圆柱形部分22，该圆柱形部分固定于顶板部分21的下部外圆周边缘。固定板24位于顶部20之下，并可与环形隔膜25一起上下运动。隔膜25的外圆周边缘由固定件26固定于圆柱形部分22的下表面；隔膜25的内圆周边缘由固定件27固定于固定板24的外圆周边缘。第一室29形成于顶部20和固定板24之间，该第一室由隔膜25紧紧闭合。将加压流体从流体源(未示出)通过接头30引入第一室29。由于这一结构，可将工件压在抛光布13上。诸同轴第二室31形成在固定板24上。诸第二室31通过沿径向延伸的槽(未示出)互相连通。许多小孔32在固定板24的下表面上平均地开口，这些小孔与第二室连通。从流体源31经接头34和管道35将加压流体引入第二室31中并从固定板24的小孔32向下喷出。如图3所示，具有细孔的垫片36设置在固定板24的下表面上，环形模板37设置于垫片36的下部外圆周边缘。进一步从垫片36的细孔将加压流体向下喷，该加压流体是从固定板24的下表面向下喷出的。因此，由喷射流体进一步将工件W压本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种抛光设备，它包括：一抛光板，该抛光板具有覆盖有抛光布的一上表面；一顶环，该顶环具有用来固定一工件并将该工件的一下表面压到抛光布上的一下表面，将所述顶环相对于所述抛光板移动，从而抛光工件的下表面；以及一传送 单元，该传送单元位于一工件传送位置，在该位置处，工件被传送给所述顶环；其中，所述传送单元包括：一引导件，该引导件包括一接收部分，且引导所传送的工件的一外边缘，从而完成工件的中心定位；一安放台，该安放台相对于引导件垂直 移动，且具有一安放部分，该安放部分接纳来自引导件的中心定位的工件，工件的一上表面向上突出；以及一支承机构，该支承机构支承安放台并使安放台可向下移动；以及其中，该安放台相对移动而靠近所述顶环并将工件压到顶环的下表面上，从而将工 件传送给所述顶环。
【技术特征摘要】
JP 2005-4-1 2005-1068951.一种抛光设备，它包括一抛光板，该抛光板具有覆盖有抛光布的一上表面；一顶环，该顶环具有用来固定一工件并将该工件的一下表面压到抛光布上的一下表面，将所述顶环相对于所述抛光板移动，从而抛光工件的下表面；以及一传送单元，该传送单元位于一工件传送位置，在该位置处，工件被传送给所述顶环；其中，所述传送单元包括一引导件，该引导件包括一接收部分，且引导所传送的工件的一外边缘，从而完成工件的中心定位；一安放台，该安放台相对于引导件垂直移动，且具有一安放部分，该安放部分接纳来自引导件的中心定位的工件，工件的一上表面向上突出；以及一支承机构，该支承机构支承安放台并使安放台可向下移动；以及其中，该安放台相对移动而靠近所述顶环并将工件压到顶环的下表面上，从而将工件传送给所述顶环。2.如权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，所述顶环向下移动并使工件已经在安放台上中心定位的工件同安放台一起移动，从而将工件传送给顶环。3.如权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，引导件为多个销钉，每根销钉具有一锥形上端，该上端作为使工件中心定位的一引导部分。4.如权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，安放台的安放部分从安放台的一外圆周边缘呈圆形地向上突出。5.如权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，安放部分的一安放面为一向内呈锥形的表面...
【专利技术属性】
技术研发人员：宫下忠一，中村佳一，野村佳之，
申请(专利权)人：不二越机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。