一种引线框架以及具有所述引线框架的半导体器件制造技术

本发明专利技术涉及一种引线框架，用于半导体器件，至少具有内引线部分和外引线部分，其特征在是：所述引线框架由包含铁为主要元素的基底金属层构成；以及在所述基底金属层上至少有第一镀覆层，第一镀覆层形成于所述基底金属层的所有表面或局部表面上。一种半导体器件，由引线框架、半导体芯片、键合引线和密封树脂构成，其特征是：所述引线框架是由包含铁为主要元素的基底金属层构成，在所述基底金属层上至少有第一镀覆层、第一镀覆层形成于所述基底金属层的所有表面或局部表面上。本发明专利技术的优点是用铁为基底金属层构成的引线框架，通过镀覆铜或其它金属后用于半导体器件，与目前的主流制造方法有很好的相容性，降低了半导体器件生产成本，并可缓解全球的铜资源枯竭的危险。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电子零件，特别涉及利用铁Fe作为基底金属层的引线框架和利用密封树脂封装安装在所述引线框架上的半导体芯片形成的半导体器件。
技术介绍
在半导体器件后部封装的制造过程中，利用粘接材料或共晶焊接技术将半导体芯片固定到引线框架的载片台上，半导体芯片的各电极通过键合线连接到引线框架的内引线上，密封树脂封装半导体芯片、内引线载片台和键合引线，引线框架的外部引线从密封树脂中伸出。外部引线通过焊接技术把半导体器件安装到任何电路或线路板上。通常由于需要考虑电特性和导热性，使用铜Cu或铜Cu合金、以及铁Fe镍Ni合金(或称42合金，镍Ni42％铁Fe58％)作为基底金属层，通过冲压或刻蚀方法等图形化处理而形成引线框架。为了确保半导体芯片与引线框架焊接性能和引线与引线框架的键合性能，需要进一步在基底金属层上全部或局部电镀一层银Ag、金Au或其它贵金属，采用全镀银Ag的方法比较简单而且银Ag具有良好的润锡性，但银Ag与铜Cu基体的结合是不良的、同时还浪费了宝贵的稀有金属资源。改进的方法是在引线框架内引线上局部电镀银Ag或其它贵金属以保证引线框架与芯片、键合引线的焊接，半导体芯片、内引线载片台、键合引线被封装在密封树脂内，因此从密封树脂伸出的外引线是裸铜Cu，通过电镀或热浸的方法在所述裸铜Cu的表面镀覆一层锡Sn或铅Pb锡Sn合金使其也具有了良好的润锡性。所述使用铜Cu引线框架并进行镀覆处理的半导体器件的制造方法目前已成为全世界的主流制造方法。但是，从资源保护的角度出发，在世界范围内每年需要不可再生地消耗几十万吨甚至上百万吨稀有金属铜Cu或镍Ni的主流半导体器件制造方法已受到严重的挑战，资源枯竭的危险日益迫近。
技术实现思路
为克服现有技术的上述缺点，本专利技术提供一种引线框架以及具有所述引线框架的半导体器件，这种半导体器件所用的引线框架的基底金属层是铁Fe，在基底金属层表面镀覆一层铜Cu或其它金属与目前的主流制造方法有良好的相容性。同时由于基底金属层是一种普通金属铁Fe，缓解了铜Cu和镍Ni资源枯竭的危险。本专利技术实现上述目的的技术方案为一种引线框架，用于半导体器件，至少具有内引线部分和外引线部分，其特征在是所述引线框架由包含铁Fe为主要元素的基底金属层构成；以及在所述基底金属层上至少有第一镀覆层，第一镀覆层形成于所述基底金属层的所有表面或局部表面上。所述引线框架是一种半导体三极管的引线框架，通过冲压或刻蚀方法等图形化处理而形成引线框架。所述铁Fe为主要元素的基底金属层是至少含有一种或含有多种成分组合而成的作为添加剂元素的材料，所述添加剂元素由碳C、锰Mn、磷P、铬Cr、锌Zn组成。所述第一镀覆层由铜Cu、镍Ni或银Ag单体层、或铜Cu镍Ni混合层构成，电镀形成的厚度为0.0002～0.05mm。第一镀覆层是铜Cu或镍Ni单体层、或铜Cu镍Ni混合层，在第一镀覆体(12)上局部或全部电镀第二镀覆层银Ag或金Au。一种半导体器件，由引线框架、半导体芯片、键合引线和密封树脂构成，其特征是所述引线框架是由包含铁Fe为主要元素的基底金属层构成，在所述基底金属层上至少有第一镀覆层、第一镀覆层形成于所述基底金属层的所有表面或局部表面上。所述半导体器件是一种半导体三极管，所述半导体芯片安装在所述引线框架的载片台上，以及所述键合引线用于半导体芯片与引线框架的电联接，以及所述密封树脂用于封装半导体器件。所述铁Fe为主要元素的基底金属层是至少含有一种或含有多种成分组合而成的作为添加剂元素的材料，所述添加剂元素由碳C、锰Mn、磷P、铬Cr、锌Zn组成。所述第一镀覆层是铜Cu、镍Ni或银Ag单体层、或铜Cu镍Ni混合层构成，电镀形成的厚度为0.0002～0.05mm。第一镀覆层是铜Cu或镍Ni单体层、或铜Cu镍Ni混合层时，在第一镀覆层上局部或全部电镀第二镀覆层银Ag或金Au。与现有技术相比，本专利技术的优点在于一种用铁Fe为基底金属层构成的引线框架，通过镀覆铜Cu或其它金属后用于半导体器件，与目前的主流制造方法有很好的相容性，降低了半导体器件生产成本，并可缓解全球的铜Cu和镍Ni资源枯竭的危险。附图说明图1为本专利技术半导体器件中一种半导体三极管的结构示意图； 图2为图1的左视图。图3为本专利技术铁Fe引线框架镀铜Cu和局部镀银Ag的局部结构示意图；图4为本专利技术铁Fe引线框架混合镀镍Ni铜Cu镍Ni和局部镀银Ag的局部结构示意图；图5为本专利技术铁Fe引线框架镀银Ag的局部结构示意图。具体实施方案以下结合附图1、附图2、附图3、附图4和附图5实施例对本专利技术作进一步详细描述。如图1～图2所示，是经后部封装制程后的本专利技术的一种半导体三极管，利用粘接材料或共晶焊接技术将半导体芯片4固定到引线框架2的载片台3上，所述引线框架2分为内引线6和外引线7，半导体芯片4的各电极通过键合引线5连接到引线框架2的内引线6上，密封树脂1封装半导体芯片4、载片台3、键合引线5和内引线6。引线框架2的外引线7从密封树脂2中伸出。外引线7可以通过焊接技术把半导体器件安装到任何电路或线路板上。所述半导体三极管的引线框架2的基底金属层11是铁Fe并至少有第一镀覆层。用于制造引线框架2的薄铁层，其韧性和弹性与所含碳C的重量百分比有关。所述韧性是指有较强的抗折断性，所述弹性是指受力形变后的恢复程度，是所述引线框架制造中必须考虑的二种特性。低碳C的铁Fe与铜Cu或铜Cu合金相比较在韧性和弹性上显得稍差，为弥补上述缺陷可采用铁Fe中添加至少一种元素或由多种元素组合而成的添加剂元素，所述添加剂元素包括碳C、锰Mn、磷P、铬Cr、锌Zn。以提高基底金属层11的韧性和弹性。所述第一镀覆层是铜Cu、镍Ni或银Ag单体层、或铜Cu镍Ni混合层构成，电镀形成的厚度为0.0002～0.05mm。当第一镀覆层是铜Cu或镍Ni单体层、或铜Cu镍Ni混合层时，在第一镀覆层上局部或全部电镀第二镀覆层银Ag或金Au。铁是一种易氧化的金属并且润锡性差，因此引线框架2的外引线7从密封树脂2中伸出后需要有第一镀覆层保持其有良好的润锡性和抗氧化性。同时第一镀覆层形成在内引线6和载片台3上有利于第二镀覆层的形成。第二镀覆层的作用是有得于载片台3与半导体芯片4背面的粘合和键合引线5与内引线6的键合。如图3所示，是本专利技术铁引线框架2上镀覆层构成的实施例。所述铁Fe构成的基底金属层11上的第一镀覆层12是铜Cu，第一镀覆层12上局部电镀第二镀覆层13是银Ag。如图4所示，是本专利技术铁引线框架2上另一种镀覆层构成的实施例。所述铁Fe构成的基底金属层11上第一镀覆层12是镍Ni铜Cu镍Ni混合层，基底金属层11上先镀镍Ni层121、再镀铜Cu层12、在铜Cu上再镀镍Ni层122。也可把基底金属层11与铜Cu层12之间的镍Ni层121省略，形成铜Cu镍Ni混合层、或者把铜Cu层12上的镍Ni层122省略形成镍Ni铜Cu混合层，增加镍Ni镀层是为了阻档内层材料中的元素扩散或迁移到外层材料以影响其性能。第一镀覆层12上局部电镀第二镀覆层13是银Ag。如图5所示，是本专利技术铁引线框架2上又一种镀覆层构成的实施例。所述铁Fe构成的基底金属层11上第一镀覆层12是银Ag。本专利技术者通过一种用铁Fe为基底金属层构成的引线框架，通过镀覆铜Cu本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种引线框架，用于半导体器件，至少具有内引线部分（６）和外引线部分（７），其特征在是：所述引线框架（２）由包含铁Ｆｅ为主要元素的基底金属层（１１）构成；以及在所述基底金属层（１１）上至少有第一镀覆层（１２），第一镀覆层（１２）形成于所述基底金属层（１１）的所有表面或局部表面上。

【技术特征摘要】
1.一种引线框架，用于半导体器件，至少具有内引线部分(6)和外引线部分(7)，其特征在是所述引线框架(2)由包含铁Fe为主要元素的基底金属层(11)构成；以及在所述基底金属层(11)上至少有第一镀覆层(12)，第一镀覆层(12)形成于所述基底金属层(11)的所有表面或局部表面上。2.根据权利要求1所述的一种引线框架，其特征是所述引线框架(2)是一种半导体三极管的引线框架(2)，通过冲压或刻蚀方法等图形化处理而形成引线框架(2)。3.根据权利要求1所述的一种引线框架，其特征是所述铁Fe为主要元素的基底金属层(11)是至少含有一种或含有多种成分组合而成的作为添加剂元素的材料，所述添加剂元素由碳C、锰Mn、磷P、铬Cr、锌Zn组成。4.根据权利要求1所述的一种引线框架，其特征是所述第一镀覆层(12)由铜Cu、镍Ni或银Ag单体层、或铜Cu镍Ni混合层构成，电镀形成的厚度为0.0002～0.05mm。5.根据权利要求4所述的一种引线框架，其特征是第一镀覆层(12)是铜Cu或镍Ni单体层、或铜Cu镍Ni混合层，在第一镀覆体(12)上局部或全部电镀第二镀覆层(13)银Ag或金Au。6.一种具有所述引线框架的半导体器件，由引线框架(2)、半导体芯片(4)、键合引线(5)和密封树脂(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁近，朱冬生，
申请(专利权)人：朱冬生，袁近，
类型：发明
国别省市：97[中国|宁波]