一种辅助检测治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种辅助检测治具，包括安装基板、底座、上盖和检测基板，安装基板上设置有多组安装定位柱，底座上对应设置有一组安装定位孔，每组安装定位柱与安装定位孔配合，底座中心设置有芯片安置台，安装定位孔位置围绕芯片安置台设置，底座上四边角处分别设置有连接柱，上盖上四边角处对应设置有与连接柱配合的连接孔，上盖中心对应设置有芯片安置台，检测基板上设置有安置槽，底座和上盖夹紧晶圆芯片后的侧端与安置槽配合插接。该辅助检测治具装夹晶圆芯片检测方便，可以循环利用；测量数据准确，误差小，产品固定好，不易倾斜；且方便检测人员操作，将原有繁复杂乱的检测方法取缔，节省大量操作时间。节省大量操作时间。节省大量操作时间。

【技术实现步骤摘要】
一种辅助检测治具


[0001]本技术属于晶圆芯片
，具体涉及一种辅助显微镜检测晶圆芯片崩坏程度的辅助检测治具。

技术介绍

[0002]现有晶圆芯片崩坏程度的检测需要通过显微镜观察检测产品侧面崩边大小，由于晶圆芯片厚度小且易损，而显微镜检测产品侧面时需要将产品侧面竖直起检测。以往检测产品侧面的崩边采用贴膜法，通过膜贴到铁环上面，再将芯片侧面竖直贴在膜上，这种方法有个弊端就是侧面的接触面积小，不稳固，容易倾斜，并且膜附有弹性，产品用力粘贴上去会使膜产生张力导致变形，会影响产品测出来的数值，芯片侧面有四个面，四个面都需要测量，因此当测完一个面后，需要将芯片从膜上拿出来，再换个面粘到膜上面去，这个过程又会使膜产生张力，进而产生形变，产品的测量误差会增大。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术设计了一种辅助显微镜检测晶圆芯片崩坏程度的辅助检测治具。
[0004]本技术采用如下技术方案：
[0005]一种辅助检测治具，包括安装基板、底座、上盖和检测基板，安装基板上设置有多组安装定位柱，底座上对应设置有一组安装定位孔，每组安装定位柱与安装定位孔配合，底座中心设置有芯片安置台，安装定位孔位置围绕芯片安置台设置，底座上四边角处分别设置有连接柱，上盖上四边角处对应设置有与连接柱配合的连接孔，上盖中心对应设置有芯片安置台，检测基板上设置有安置槽，底座和上盖夹紧晶圆芯片后的侧端与安置槽配合插接。
[0006]作为优选，所述安装定位柱的长度大于底座和芯片安置台厚度3mm。
[0007]作为优选，所述安置槽四边角处设置有圆弧口。
[0008]作为优选，所述安装基板、底座、上盖和检测基板分别通过ESD板材裁切形成。
[0009]作为优选，所述每组安装定位柱呈菱形四边角位置分布。
[0010]本技术的有益效果是：该辅助检测治具装夹晶圆芯片检测方便，可以循环利用；测量数据准确，误差小，产品固定好，不易倾斜；且方便检测人员操作，将原有繁复杂乱的检测方法取缔，节省大量操作时间。
附图说明
[0011]图1是本技术中安装基板的一种结构示意图；
[0012]图2是本技术中底座的一种结构示意图；
[0013]图3是本技术中上盖的一种结构示意图；
[0014]图4是本技术中检测基板的一种结构示意图；
[0015]图5是本技术中底座、上盖和晶圆芯片组合后安装到检测基板上的一种主视图；
[0016]图6是图5的一种俯视图；
[0017]图中：1、安装基板，2、安装定位柱，3、底座，4、安装定位孔，5、芯片安置台，6、连接柱，7、上盖，8、连接孔，9、检测基板，10、安置槽，11、晶圆芯片。
具体实施方式
[0018]下面通过具体实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的具体描述：
[0019]实施例：如附图1
‑
6所示，一种辅助检测治具，包括安装基板1、底座3、上盖7和检测基板9，安装基板上设置有多组安装定位柱2，底座上对应设置有一组安装定位孔4，每组安装定位柱与安装定位孔配合，底座中心设置有芯片安置台5，安装定位孔位置围绕芯片安置台设置，底座上四边角处分别设置有连接柱6，上盖上四边角处对应设置有与连接柱配合的连接孔8，上盖中心对应设置有芯片安置台，检测基板上设置有安置槽10，底座和上盖夹紧晶圆芯片11后的侧端与安置槽配合插接。
[0020]安装定位柱的长度大于底座和芯片安置台厚度3mm。安置槽四边角处设置有圆弧口。安装基板、底座、上盖和检测基板分别通过ESD板材裁切形成。每组安装定位柱呈菱形四边角位置分布。
[0021]该辅助检测治具使用时，将底座安装定位孔对应安装基板安装定位柱安装，安装定位柱插入安装定位孔并突出，突出部分围绕芯片安置台，正好用于晶圆芯片的安装定位，将晶圆芯片放入后，盖上上盖，上盖夹紧晶圆芯片，同时取出安装完成的底座、上盖和晶圆芯片组合，侧边竖直状态放入检测基板的放置槽内，将检测基板放置到显微镜下方进行晶圆芯片崩坏程度观察检测。
[0022]以上所述的实施例只是本技术的一种较佳的方案，并非对本技术作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种辅助检测治具，其特征是，其包括安装基板、底座、上盖和检测基板，安装基板上设置有多组安装定位柱，底座上对应设置有一组安装定位孔，每组安装定位柱与安装定位孔配合，底座中心设置有芯片安置台，安装定位孔位置围绕芯片安置台设置，底座上四边角处分别设置有连接柱，上盖上四边角处对应设置有与连接柱配合的连接孔，上盖中心对应设置有芯片安置台，检测基板上设置有安置槽，底座和上盖夹紧晶圆芯片后的侧端与安置槽配合插接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘帅，
申请(专利权)人：浙江美迪凯现代光电有限公司，
类型：新型
国别省市：