密封装置、部件及光刻设备制造方法及图纸

一种密封装置(300)，其相对于光刻设备(100A、100B)的第二部件部分(206)密封该光刻设备(100A、100B)的第一部件部分(202)，该密封装置包括许多密封环(302)和许多连接位置(304)，其中密封环(302)借助于连接位置(304)彼此连接。彼此连接。彼此连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】密封装置、部件及光刻设备


[0001]本专利技术涉及光刻设备的密封装置，涉及一种包括该类型密封装置的光刻设备的部件，以及涉及一种包括该类型密封装置和/或该类型部件的光刻设备。

技术介绍

[0002]优先权申请案DE 10 2019 204 699.1的内容以引用方式完整并入本文中。
[0003]光刻技术用来生产微型结构部件，例如集成电路。光刻制程使用具有照明系统以及投射系统的光刻设备来执行。藉由照明系统所照明的掩模(掩模母版)的影像，在此案例中由投射系统投射至基板(例如硅晶片)上，该基板涂上感光层(光刻胶)并配置在该投射系统的像平面内，以便将掩模结构转印至基板的感光涂层。
[0004]在集成电路生产中对越来越小结构需求的驱使之下，当前正在开发的是使用波长在0.1nm至30nm范围内、特别是13.5nm的光的EUV光刻设备。在这种EUV光刻设备的情况下，由于大多数材料对该波长的光有高吸收力，因此必须使用反射光学单元，即反射镜，而不是像以前那样使用折射光学单元，即透镜元件。
[0005]如上所述EUV光刻设备包括具有冷却回路的部件，该回路例如用于用水冷却各个部件，或具有冲洗回路，该回路例如用于使用冲洗气体，特别是惰性气体，冲洗各个部件。这类型的部件可为例如所谓的致动传感器单元，借助于该单元可使分面反射镜、例如场分面反射镜或光瞳分面反射镜的各分面偏转。在这种情况下，为了使分面偏转，将所谓的致动传感器封装分配给每个分面。该致动传感器封装应相对于致动传感器单元的主体或框架以流体密封方式密封。
[0006]为了密封，可使用O形圈或密封垫当成密封件。为了在运行期间和整个使用寿命中保持密封功能，可通过预应力或在压力方向上支撑的方式，将密封件夹紧在相应的致动传感器封装上。因此，可以获得密封件的定心。在这种情况下，应考虑到密封件需要一定的屈服体积才能压紧。可通过在相应密封件内部轮廓与致动传感器封装之间保持足够的可用空间，来产生所述屈服体积。然而，就密封件的良好定中心而言，该空间又是不利的。

技术实现思路

[0007]在这种背景下，本专利技术的一个目的在于提供一种改良的密封装置。
[0008]因此，提出一种用于相对于光刻设备的多个第二部件部分来密封该光刻设备的第一部件部分的密封装置。该密封装置包括多个密封环和多个连接位置，其中，所述密封环借助于所述连接位置彼此连接。
[0009]由于所述密封环借助于所述连接位置彼此连接的事实，与没有这种连接位置的密封装置相比，这简化了密封装置的安装。
[0010]密封装置也可称为密封垫。较佳是，提供形成二维图案或网格的多个密封环。也就是说，密封环特别布置成网格状或图案状。较佳是，每个密封环都分配有多个连接位置，例如四个。所述连接位置也可称为接触位置。较佳是，密封环借助于连接位置、一体地尤其是
材料上单件地彼此连接。“一体地”在当前情况下是指密封环一起形成共同的部件部分，即该密封装置。“材料单件地”是指密封装置始终由相同的材料制成。较佳是，密封装置由塑料材料制成。举例来说，全氟橡胶(perfluoro rubber，FFKM)可用来当成合适的材料。密封装置例如可借助于激光从合适的塑料材料片或薄膜上切下来。
[0011]根据一个实施例，连接位置各自包括用于将相应密封环挤压在第一部件部分与第二部件部分之一之间的屈服体积。
[0012]由于提供了屈服体积，可始终充分压紧各个密封环，从而可防止或至少显著减少光刻设备在安装过程中以及整个使用寿命期间泄漏。可在相应密封环的内轮廓和容纳在该内轮廓中的第二部件部分之间提供屈服体积。然而，屈服体积也可直接设置在相应连接位置中或相应连接位置处，例如以切口、凹槽、孔等的形式。在此唯一重要的是，在压紧相应密封环的过程中，将密封环的材料压入屈服体积中。密封环的上述内部轮廓可具有任意形状。内部轮廓可为圆形、椭圆形、三角形、多边形等。此外，内部轮廓，如下所述，也可为三叶形。屈服体积特别是设置在密封装置本身之内或密封装置处。
[0013]根据进一步实施例，每个密封环都包括内部轮廓，在每个内部轮廓中能够容纳至少部分第二部件部分，并且其中，屈服体积通过内部轮廓在连接位置处加宽而形成。
[0014]内部轮廓“加宽”这一事实意味着，在当前情况下，内部轮廓至少在相应密封环未压紧状态下不抵靠对应第二部件部分，因此特别是与第二部件部分分离。由于内部轮廓在连接位置处变宽的事实，因此可在连接位置处提供足够大用于压紧各个密封环的屈服体积。
[0015]根据进一步实施例，内部轮廓在连接位置处包括连接半径，其中内轮廓分别在两个相邻的连接位置之间包括中间半径，并且其中该中间半径和该连接半径以其绝对值表示时彼此不同，以使内部轮廓在连接位置处变宽并且在两个相邻的连接位置之间变窄。
[0016]由于内部轮廓在两个相邻连接位置之间变窄，使得密封环在相应的中间半径处居中成为可能。因此，借助于加宽和变窄，可同时确保足够大的屈服体积，用于压紧密封环和使密封环在第二部件部分处居中。
[0017]根据密封装置的一个较佳实施例，该密封装置包括多个密封环、多个连接位置，其中所述密封环借助于连接位置彼此连接，其中每一密封环包括内部轮廓，在每个轮廓中能够容纳至少部分的第二部件部分，其中该内部轮廓在连接位置处包括连接半径，其中该内部轮廓分别在两个相邻的连接位置之间包括中间半径，其中，该中间半径和该连接半径的绝对值彼此不同，使得该内部轮廓在连接位置处变宽并且在两个相邻的连接位置之间变窄。
[0018]该内部轮廓尤其由多个半径构成，也就是说，内部轮廓较佳不是圆形的。该内部轮廓也可具有任何其他几何形状，如上所述。在连接位置的区域中，该内部轮廓加宽或外扩，并且在连接位置之间的区域中，该内部轮廓变窄、收缩或受约束。这导致内部轮廓成为三叶形或三叶类型几何形状，偏离圆形形状。因此，该内部轮廓可称为“三叶形”或“三叶类型”。该密封装置特别定位在第一部件部分的密封表面与第二部件部分的密封表面之间，并且相对于这两者当成液密密封件。
[0019]在本专利技术中应理解，第二部件部分“能够容纳”在内部轮廓中的事实是指可将相应的密封环放到第二部件部分上，反之亦然。在这种情况下，第二部件部分较佳具有圆柱形的
基座部分，在该处，密封环借助于中间半径居中。
[0020]较佳地，如上述，设置有四个连接位置。因此，该内部轮廓还具有四倍的连接半径和四倍的中间半径。因此，尤其是，还存在四对相邻的连接位置，在其间提供连接半径。该半径彼此过渡，使得该内部轮廓没有折线，而是弯曲的形状。
[0021]中间半径和连接半径彼此“不同”的事实尤其应理解为，中间半径大于连接半径，反之亦然。连接半径的中心点可相对于中间半径的中心点偏移，使得如果该连接半径大于该中间半径，并且如果该连接半径小于该中间半径，则既满足该内部轮廓在连接位置处变宽又在两个相邻连接位置之间变窄的条件。
[0022]根据进一步实施例，中间半径大于连接半径。
[0023]例如，连接半径约为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种密封装置(300)，用于相对于光刻设备(100A、100B)的多个第二部件部分(206)来密封该光刻设备(100A、100B)的第一部件部分(202)，包括：多个密封环(302)，以及多个连接位置(304)，其中所述密封环(302)借助于所述连接位置(304)彼此连接。2.如权利要求1所述的密封装置，其中所述连接位置(304)各自包括用于将相应密封环(302)挤压在该第一部件部分(202)与该第二部件部分(206)中的一个之间的屈服体积(226、308)。3.如权利要求2所述的密封装置，其中每一密封环(302)都包括内部轮廓(306)，在每个内部轮廓中能够容纳至少部分第二部件部分(206)，并且其中，该屈服体积(226)通过该内部轮廓(306)在该连接位置(304)处加宽而形成。4.如权利要求3所述的密封装置，其中该内部轮廓(306)在该连接位置(304)处包括连接半径(R304)，其中该内部轮廓(306)在各个情况下在两个相邻连接位置(304)之间包括中间半径(R11、R12、R21、R22)，并且其中该中间半径(R11、R12、R21、R22)和该连接半径(R304)以其绝对值表示时彼此不同，以使该内部轮廓(306)在该连接位置(304)处变宽并且在两个相邻连接位置(304)之间变窄。5.如权利要求4所述的密封装置，其中该中间半径(R11、R12、R21、R22)大于该连接半径(R304)。6.如权利要求5所述的密封装置，其中该内部轮廓(306)包括第一中间半径(R11、R12)和第二中间半径(R21、R22)，其中该第一中间半径(R11、R12)和该第二中间半径(R21、R22)的幅度相等或不等。7.如权利要求6所述的密封装置，其中该第二中间半径(R21、R22)的幅度大于该第一中间半径(R11、R12)的幅度。8.如权利要求6或7所述的密封装置，其中其间设置有该第一中间半径(R11、R12)的两个相邻连接位置(304)，以及其间设置有该第二中间半径(R21、R22)的两个相邻连接位置(304)，以彼此以相同距离或不同距离相隔的方式布置。9.如权利要求6至8中任一项所述的密封装置，其中该中间半径(R11、R12、R21、R22)的中心点(MR11、MR12、MR21、MR22)相对于该连接半径(R304)的中心点(MR304
‑1‑
MR304
‑
4)偏移布置。10.如权利要求9所述的密封装置，其中该第一中间半径(R11、R12)的中心点(MR21、MR22)相对于该连接半径(R304)的中心点(MR304
‑1‑
MR3...

【专利技术属性】
技术研发人员：D巴德，A奥斯滕多夫，O弗吕格，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：