一种光刻机涂布旋涂机制造技术

本实用新型专利技术属于旋涂机技术领域，具体涉及一种光刻机涂布旋涂机，包括外壳体，外壳体顶侧通过转轴连接的下盖体上粘接有上盖体和玻璃视镜，玻璃视镜底侧贴合有密封垫，外壳体内部通过隔离板分隔有工作腔和真空腔，工作腔内部安装的电机通过带传动机构传动连接有转动轴，转动轴上安装的导电滑环的侧面滑动连接有碳刷，转动轴顶端固定连接的载物盘上开设的置物槽的底部安装有加热片，载物盘顶面安装有多个夹持机构，外壳体侧面安装有真空表、止回阀、快接接头，转动的加热片可对基片进行稳定加热，并避免碳刷与导电滑环摩擦产生的碳粉影响产品质量，真空腔抽真空后相互紧贴的玻璃视镜和密封垫可保证装置的气密性，夹持机构可对基片进行稳定的夹持。片进行稳定的夹持。片进行稳定的夹持。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机涂布旋涂机


[0001]本技术属于旋涂机
，具体涉及一种光刻机涂布旋涂机。

技术介绍

[0002]匀胶机的原理是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。现有的旋涂机仅仅只能够实现旋涂的功能，真空设备虽然可以和加热仪器一起配合使用，但是却无法同时实现旋涂的功能，目前市面上拥有成熟的旋涂仪、加热台和真空装置，但其作用都比较单一，不能满足复杂的工艺需求，另外，现有的旋涂机不能对基片进行较好的固定夹持。

技术实现思路

[0003]目前市面上拥有成熟的旋涂仪、加热台和真空装置，但其作用都比较单一，不能满足复杂的工艺需求，另外，现有的旋涂机不能对基片进行较好的固定夹持。本技术提供了一种光刻机涂布旋涂机，转动的加热片可对基片进行稳定加热，并避免碳刷与导电滑环摩擦产生的碳粉影响产品质量，真空腔抽真空后相互紧贴的玻璃视镜和密封垫可保证装置的气密性，夹持机构可对基片进行稳定的夹持。
[0004]本技术提供如下技术方案：一种光刻机涂布旋涂机，包括外壳体，所述外壳体的顶侧通过转轴转动连接有下盖体，所述下盖体的顶面固定粘接上盖体的底面，所述下盖体与上盖体之间固定夹装有玻璃视镜，所述玻璃视镜的底侧贴合连接密封垫的顶面，所述外壳体的内部通过固定安装的隔离板由下至上分隔有工作腔和真空腔，所述工作腔的内部固定安装有电机，所述电机通过带传动机构传动连接有转动轴，所述转动轴的底端转动连接控制盒的顶面，所述转动轴外侧的控制盒的顶面固定安装有光电门，所述光电门上方的转动轴上固定安装有导电滑环，所述导电滑环的侧面滑动连接有碳刷，所述隔离板上固定安装的机封转动套装在转动轴的外侧，所述转动轴的顶端固定连接载物盘的底面，所述载物盘上开设的置物槽的底部固定安装有加热片，所述载物盘的顶面固定安装有多个夹持机构，所述隔离板的顶面固定安装有滴胶机构，所述真空腔的侧壁开设有固定安装真空表、止回阀、快接接头的螺纹通孔，所述止回阀、快接接头的一端分别固定连接有真空管路和压缩空气管路。
[0005]其中，所述玻璃视镜为扁平的圆柱形结构，所述玻璃视镜与下盖体、上盖体的连接处涂覆有UV胶，所述下盖体为圆管型结构且顶面开设有适配套装在玻璃视镜外侧的圆柱形槽体，所述上盖体为圆管型结构且底面开设有适配套装在玻璃视镜外侧的圆柱形槽体，所述外壳体的顶面开设有与载物盘的轴线共线且直径不小于载物盘的直径的圆柱形通孔，所述下盖体、上盖体、玻璃视镜、载物盘的轴线共线；操作人员可通过玻璃视镜直观的观察外壳体内部的涂布状态，对生产情况进行准确的掌握。
[0006]其中，所述密封垫为环形橡胶垫结构，所述外壳体的顶面开设有与载物盘的轴线
共线且适配安装密封垫的环形槽结构，所述密封垫与外壳体的连接处涂覆有UV胶；外壳体内抽真空后，玻璃视镜的底面可在气压的作用下紧贴在密封垫上，有效提高装置的气密性。
[0007]其中，所述电机的输出轴的轴线与转动轴的轴线相平行，所述电机的输出轴上固定安装有带传动机构中的驱动带轮，所述转动轴上固定安装有带传动机构中的从动带轮；电机通过带传动机构驱动转动轴转动有效降低了因电机自身震动对转动轴产生的影响，从而有效提高旋转涂布过程中胶液的均匀性。
[0008]其中，所述工作腔、真空腔相互独立密封，所述导电滑环上方的转动轴上开设有穿线槽管，所述穿线槽管的一端贯通带传动机构、导电滑环之间的转动轴的侧面，所述穿线槽管的另一端贯通隔离板、载物盘之间的转动轴的侧面，所述置物槽下方的载物盘的底面垂直开设有引线孔，所述光电门、碳刷、加热片电性连接控制盒，所述穿线槽管的两端均填充有密封胶；碳刷可对导电滑环进行供电，并通过穿线槽管和引线孔对转动中的加热片进行稳定的供电，使加热片对基片进行加热，且相互隔离的工作腔和真空腔可避免碳刷与导电滑环摩擦中产生的碳粉飘落在胶液和基片上影响产品质量。
[0009]其中，所述夹持机构以载物盘的轴线为环绕中心周向等序安装在载物盘的顶面上，所述夹持机构的数量至少为三个，所述夹持机构包括外套管，所述外套管固定安装在载物盘的顶面上，所述外套管的内侧开设有适配安装压缩弹簧的内腔体，所述压缩弹簧滑动套装在滑杆的外侧，所述滑杆的侧面固定安装有滑块，所述滑块滑动安装在滑槽的内侧，所述滑槽开设在内腔体的一侧且贯通连接内腔体，所述滑杆的两端滑动贯通外套管的两端端面且分别固定安装有压固头和拉动块；操作人员可拉动拉动块带动滑杆及滑块向外套管的一端滑动，然后在压缩弹簧的弹性势能作用下对放置在载物盘顶面中心位置的基片的侧面进行稳定的夹持固定。
[0010]其中，所述止回阀的流动方向为由外壳体至真空管路贯通；止回阀可直接避免真空泵停转后因操作人员操作不当造成的反吸情况的发生。
[0011]本技术的有益效果是：操作人员可通过玻璃视镜直观的观察外壳体内部的涂布状态，对生产情况进行准确的掌握；外壳体内抽真空后，玻璃视镜的底面可在气压的作用下紧贴在密封垫上，有效提高装置的气密性；电机通过带传动机构驱动转动轴转动有效降低了因电机自身震动对转动轴产生的影响，从而有效提高旋转涂布过程中胶液的均匀性；碳刷可对导电滑环进行供电，并通过穿线槽管和引线孔对转动中的加热片进行稳定的供电，使加热片对基片进行加热，且相互隔离的工作腔和真空腔可避免碳刷与导电滑环摩擦中产生的碳粉飘落在胶液和基片上影响产品质量；操作人员可拉动拉动块带动滑杆及滑块向外套管的一端滑动，然后在压缩弹簧的弹性势能作用下对放置在载物盘顶面中心位置的基片的侧面进行稳定的夹持固定；止回阀可直接避免真空泵停转后因操作人员操作不当造成的反吸情况的发生。
[0012]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
附图说明
[0013]图1为本技术的剖面结构示意图；
[0014]图2为本技术中夹持机构的剖面结构示意图；
[0015]图中：1、外壳体；101、工作腔；102、真空腔；2、转轴；3、下盖体；4、上盖体；5、玻璃视
镜；6、密封垫；7、隔离板；8、电机；9、带传动机构；10、转动轴；1001、穿线槽管；11、控制盒；12、光电门；13、导电滑环；14、碳刷；15、机封；16、载物盘；17、置物槽；18、加热片；19、引线孔；20、夹持机构；2001、外套管；2002、压缩弹簧；2003、内腔体；2004、滑杆；2005、滑块；2006、滑槽；2007、压固头；2008、拉动块；21、滴胶机构；22、真空表；23、压缩空气管路；24、止回阀；25、真空管路；26、快接接头。
具体实施方式
[0016]请参阅图1
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图2，本技术提供以下技术方案：一种光刻机涂布旋涂机，包括外壳体1，所述外壳体1的顶侧通过转轴2转动连接有下盖体3，所述下盖体3的顶面固定粘接上盖体4的底面，所述下盖体3与上盖体4之间固定夹装有玻璃视镜5，所述玻璃视镜5的底侧贴合连接密封垫6的顶面，所述外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机涂布旋涂机，其特征在于：包括外壳体，所述外壳体的顶侧通过转轴转动连接有下盖体，所述下盖体的顶面固定粘接上盖体的底面，所述下盖体与上盖体之间固定夹装有玻璃视镜，所述玻璃视镜的底侧贴合连接密封垫的顶面，所述外壳体的内部通过固定安装的隔离板由下至上分隔有工作腔和真空腔，所述工作腔的内部固定安装有电机，所述电机通过带传动机构传动连接有转动轴，所述转动轴的底端转动连接控制盒的顶面，所述转动轴外侧的控制盒的顶面固定安装有光电门，所述光电门上方的转动轴上固定安装有导电滑环，所述导电滑环的侧面滑动连接有碳刷，所述隔离板上固定安装的机封转动套装在转动轴的外侧，所述转动轴的顶端固定连接载物盘的底面，所述载物盘上开设的置物槽的底部固定安装有加热片，所述载物盘的顶面固定安装有多个夹持机构，所述隔离板的顶面固定安装有滴胶机构，所述真空腔的侧壁开设有固定安装真空表、止回阀、快接接头的螺纹通孔，所述止回阀、快接接头的一端分别固定连接有真空管路和压缩空气管路。2.根据权利要求1所述的一种光刻机涂布旋涂机，其特征在于：所述玻璃视镜为扁平的圆柱形结构，所述玻璃视镜与下盖体、上盖体的连接处涂覆有UV胶，所述下盖体为圆管型结构且顶面开设有适配套装在玻璃视镜外侧的圆柱形槽体，所述上盖体为圆管型结构且底面开设有适配套装在玻璃视镜外侧的圆柱形槽体，所述外壳体的顶面开设有与载物盘的轴线共线且直径不小于载物盘的直径的圆柱形通孔，所述下盖体、上盖体、玻璃视镜、载物盘的轴线共线。3.根据权利要求1所述的一种光刻机涂布旋涂机，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛琦，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：新型
国别省市：