一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置，包括下模，以及设置在下模顶部的上模，所述下模与上模的一端开设有吹塑口，在所述下模的顶端面上开设有两个放置槽，且两个所述放置槽由吹塑口的中点对称设置，所述放置槽的内侧放置有橡胶块，在所述吹塑口的内侧贯穿有限位螺柱，所述限位螺柱插入端延伸至放置槽的内部，并与所述橡胶块相抵，在所述上模的底部开设有供橡胶块卡入的安装槽；通过设计的放置槽与橡胶块，能够简单有效的提升吹塑口的密封效果，避免在使用中出现气体渗漏的现象，同时对橡胶块的拆装也十分方便，易于维护。易于维护。易于维护。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置


[0001]本技术属于电晶圆储存盒加工
，具体涉及一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置。

技术介绍

[0002]晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆，在对晶圆盒的加工中，需要通过专门的吹塑装置进行生产。
[0003]现有的吹塑装置在使用时，在吹塑口的密封性能上存在着不足，导致在加工中存在漏气的现象，从而影响加工，同时在对晶圆盒加工完成后，晶圆盒的边缘处会形成一定的毛刺，而该毛刺形成不均匀，因此会导致后期清理困难的现象，从而该装置在使用中存在较大的局限性，具有可改进的空间。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置，包括下模，以及设置在下模顶部的上模，所述下模与上模的一端开设有吹塑口，在所述下模的顶端面上开设有两个放置槽，且两个所述放置槽由吹塑口的中点对称设置，所述放置槽的内侧放置有橡胶块，在所述吹塑口的内侧贯穿有限位螺柱，所述限位螺柱插入端延伸至放置槽的内部，并与所述橡胶块相抵，在所述上模的底部开设有供橡胶块卡入的安装槽。
[0006]优选的，所述橡胶块的高度大于安装槽与放置槽的总深度，所述限位螺柱的一端处于下模的内部，且低于吹塑口的内侧曲面。
[0007]优选的，所述下模的顶端面与上模的底端面上均开设有用于吹塑的腔槽，所述吹塑口与腔槽相连通。
[0008]优选的，所述上模处腔槽的内壁形成有向下延伸的密封凸起，所述下模顶端面内壁开设有供密封凸起插入的角槽，所述密封凸起底端与角槽之间形成开设有功能槽，两个所述功能槽的纵截面为对称设置的直角三角形结构。
[0009]优选的，所述下模的顶端面上还开设有放置孔，所述放置孔的内侧放置有内置弹簧，所述内置弹簧与上模的底端面相抵。
[0010]优选的，所述下模的顶端面四角处固定有贯穿上模的导向柱，所述上模在导向柱的表面滑动连接，所述上模的顶端面中点处还固定有传动柱，所述下模的底端面上安装有底板。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1.通过设计的放置槽与橡胶块，能够简单有效的提升吹塑口的密封效果，避免在
使用中出现气体渗漏的现象，同时对橡胶块的拆装也十分方便，易于维护；
[0013]2.通过设计的密封凸起，能够进一步增加上模与下模之间的密封性，同时设计的功能槽，能够将形成的毛刺方便清理，从而对后续的工作效率得到有效的提升。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术图1中A区域的放大示意图；
[0016]图3为本技术上模与下模的连接剖视图；
[0017]图4为本技术图3中B区域的放大示意图。
[0018]图中：1、导向柱；2、下模；3、底板；4、上模；5、传动柱；6、放置槽；7、限位螺柱；8、吹塑口；9、橡胶块；10、安装槽；11、内置弹簧；12、放置孔；13、功能槽；14、密封凸起。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置，包括下模2，以及设置在下模2顶部的上模4，下模2与上模4的一端开设有吹塑口8，在下模2的顶端面上开设有两个放置槽6，且两个放置槽6由吹塑口8的中点对称设置，放置槽6的内侧放置有橡胶块9，通过设计的放置槽6与橡胶块9，能够简单有效的提升吹塑口8的密封效果，避免在使用中出现气体渗漏的现象，同时对橡胶块9的拆装也十分方便，易于维护，在吹塑口8的内侧贯穿有限位螺柱7，限位螺柱7插入端延伸至放置槽6的内部，并与橡胶块9相抵，在上模4的底部开设有供橡胶块9卡入的安装槽10。
[0021]本实施例中，优选的，橡胶块9的高度大于安装槽10与放置槽6的总深度，从而在连接中，能够发生形变进行密封，限位螺柱7的一端处于下模2的内部，且低于吹塑口8的内侧曲面。
[0022]本实施例中，优选的，下模2的顶端面与上模4的底端面上均开设有用于吹塑的腔槽，在腔槽内壁还涂有防静电涂层，用于防止在加工中出现静电现象，其中防静电涂层为现有产品，故在此不做赘述，吹塑口8与腔槽相连通。
[0023]本实施例中，优选的，上模4处腔槽的内壁形成有向下延伸的密封凸起14，通过设计的密封凸起14，能够进一步增加上模4与下模2之间的密封性，下模2顶端面内壁开设有供密封凸起14插入的角槽，密封凸起14底端与角槽之间形成开设有功能槽13，设计的功能槽13，能够将形成的毛刺方便清理，从而对后续的工作效率得到有效的提升，两个功能槽13的纵截面为对称设置的直角三角形结构。
[0024]本实施例中，优选的，下模2的顶端面上还开设有放置孔12，放置孔12的内侧放置有内置弹簧11，用于上模4与下模2接触时的缓冲，内置弹簧11与上模4的底端面相抵。
[0025]本实施例中，优选的，下模2的顶端面四角处固定有贯穿上模4的导向柱1，上模4在导向柱1的表面滑动连接，从而可以在后期取料时，自动调节上模4升起的高度，上模4的顶
端面中点处还固定有传动柱5，下模2的底端面上安装有底板3。
[0026]本技术的工作原理及使用流程：本技术在使用时，先将橡胶块9放置在放置槽6的内侧，随后通过限位螺柱7从吹塑口8的内侧贯穿至放置槽6的内部，从而完成对橡胶块9的限位，在加工中，将晶圆盒的原材料放置在下模2内腔中，随后再将上模4与下模2闭合，在闭合中，橡胶块9的顶部会移动至安装槽10的内侧，同时在上模4的作用作用下，橡胶块9会发生形变，与此同时上模4底部的密封凸起14会与下模2顶部内壁拐角处的角槽限位贴合，以此增强密封，在连接中，通过内置弹簧11进行缓冲减震，避免下模2与上模4快速接触造成的损伤，当准备工作完成后，将外部的气管与吹塑口8连接，并朝向下模2和上模4内进行吹塑加工，在吹塑中，原材料的局部会移动至功能槽13内，并在功能槽13的阻挡下形成条状毛刺，加工完成将产品取出后，可以通过功能槽13将毛刺形成条状的三角形结构，从而方便对条状毛刺的撕除。
[0027]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置，包括下模（2），以及设置在下模（2）顶部的上模（4），所述下模（2）与上模（4）的一端开设有吹塑口（8），其特征在于：在所述下模（2）的顶端面上开设有两个放置槽（6），且两个所述放置槽（6）由吹塑口（8）的中点对称设置，所述放置槽（6）的内侧放置有橡胶块（9），在所述吹塑口（8）的内侧贯穿有限位螺柱（7），所述限位螺柱（7）插入端延伸至放置槽（6）的内部，并与所述橡胶块（9）相抵，在所述上模（4）的底部开设有供橡胶块（9）卡入的安装槽（10）。2.根据权利要求1所述的一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置，其特征在于：所述橡胶块（9）的高度大于安装槽（10）与放置槽（6）的总深度，所述限位螺柱（7）的一端处于下模（2）的内部，且低于吹塑口（8）的内侧曲面。3.根据权利要求2所述的一种可调节的防静电晶圆储存盒加工专用吹塑装置，其特征在于：所述下模（2）的顶端面与上模（4）的底端面上均开设有用于吹塑的腔槽，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建蔚，
申请(专利权)人：昆山兴宇宏机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：