一种金刚线切片机制造技术

本发明专利技术涉及一种金刚线切片机，包括：依次设置的升降机构、工件板以及晶棒，夹紧螺杆，其中：夹紧螺杆包括螺杆及锁紧弹簧，锁紧弹簧套设于螺杆；工件板的下侧与晶棒相连接，工件板的上侧开设有倒T型槽；升降机构包括工作台，工作台包括底板，底板上设置有第一通孔，第一通孔开口于底板与工件板正对的表面上；螺杆穿过第一通孔与所述倒T型槽相卡接，夹紧螺杆、工作台与工件板固定为一体；锁紧弹簧位于底板的上侧，锁紧弹簧朝向底板的方向上处于压缩状态，锁紧弹簧向下的作用力施加在底板上，锁紧弹簧向上的反弹力带动螺杆穿过第一通孔上移，工件板与底板紧贴，与工件板相连的晶棒定位牢固，防止晶棒在切割过程中被左右移动，保证硅晶片的质量。的质量。的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种金刚线切片机


[0001]本专利技术涉及硅片加工
，特别是涉及一种金刚线切片机。

技术介绍

[0002]随着经济的发展、社会的进步、人们环保意识的提高，人们对能源提出越来越高的要求。现有电力能源的来源主要有四种，即火电、水电、核电和风力发电。火电需要燃烧煤、石油等化石燃料，化石燃料蕴藏量有限，正面临着枯竭的问题，并且燃烧化石燃料将排出二氧化碳和硫的氧化物，会导致温室效应和酸雨，恶化地球环境。水电容易受到受季节的影响。核电在正常情况下固然是干净的，但万一发生核泄漏，后果将不堪设想。风力发电作为一种清洁的可再生能源，风能储量大，是减少温室气体排放的有效途径，但风力发电容易产生噪声，还会影响鸟类生存。
[0003]在这种大环境下，相比火电、水电、风电、核电等，太阳能发电没有任何排放和噪声，应用技术成熟，安全可靠，因此，利用太阳能发电会逐渐成为主流的趋势。太阳能发电是指无需通过热过程直接将光能转变为电能的发电方式，它包括光伏发电、光化学发电、光感应发电和光生物发电。光伏发电是利用太阳能级半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。光伏发电系统主要由太阳能电池、蓄电池、控制器和逆变器组成，其中太阳能电池是光伏发电系统的关键部分，太阳能电池板的质量和成本将直接决定整个系统的质量和成本。太阳能电池主要有晶体硅电池，包括单晶硅电池、多晶硅电池两种，即晶硅(分为单晶和多晶)作为太阳能发电的主要材料，对单、多晶硅的利用主要是单、多晶硅片，切片过程所使用的设备为金刚线切片机。
[0004]金刚线切片机的原理在于：在钢线上镶嵌微小颗粒的金刚石，从而钢线具有了金刚石微型锯齿，将金刚线织成金刚线网，通过金刚线网的高速运动，对晶棒或晶块进行切割，工作效率高，切片效果好。
[0005]但现有的金刚线切片机对晶棒的定位不稳定，在使用的过程中使晶棒容易被金刚线网拉动造成切割出的硅片异常，降低了晶棒切片的精度和合格率。

技术实现思路

[0006]基于此，有必要针对晶棒定位不稳定造成晶棒切片的精度和合格率低的问题，提供一种金刚线切片机。
[0007]一种金刚线切片机，包括：依次设置的升降机构、工件板以及晶棒，夹紧螺杆，其中：
[0008]所述夹紧螺杆包括螺杆及锁紧弹簧，所述锁紧弹簧套设于所述螺杆；
[0009]所述工件板的下侧与所述晶棒相连接，所述工件板的上侧开设有倒T型槽；
[0010]所述升降机构包括工作台，所述工作台包括底板，所述底板上设置有第一通孔，所述第一通孔开口于所述底板与所述工件板正对的表面上；
[0011]所述螺杆穿过所述第一通孔与所述倒T型槽相卡接，所述夹紧螺杆、所述工作台与
所述工件板固定为一体；
[0012]所述锁紧弹簧位于所述底板的上侧，所述锁紧弹簧朝向所述底板的方向上处于压缩状态。
[0013]上述金刚线切片机，晶棒与工件板下侧相连，螺杆穿过第一通孔与倒T型槽相卡接，可以方便地实现工件板与工作台的固定与分离，锁紧弹簧位于底板的上侧，锁紧弹簧朝向底板的方向上处于压缩状态，即锁紧弹簧向下的作用力施加在底板上，与此同时，锁紧弹簧向上的反弹力带动螺杆穿过第一通孔上移，使工件板的上表面与底板的下表面实现紧贴，从而使与工件板下侧相连的晶棒定位牢固，防止晶棒在切割过程中被左右移动，进而有利于保证硅晶片的加工精度和合格率。
[0014]在其中一个实施例中，所述夹紧螺杆还包括限位结构和锁紧螺帽，其中：
[0015]所述限位结构包括底壁，所述底壁上设有贯穿其壁厚的第二通孔；
[0016]所述螺杆依次穿过所述第二通孔、所述锁紧弹簧，并与所述锁紧螺帽配合，所述螺杆、所述限位结构、所述锁紧弹簧以及所述锁紧螺帽固定为一体，所述螺杆与所述第二通孔过渡配合；
[0017]所述底板的上表面与所述底壁相抵接，所述底壁远离所述工作台的一面与所述锁紧弹簧相抵接；
[0018]所述锁紧螺帽用于压缩所述锁紧弹簧。
[0019]在其中一个实施例中，所述锁紧弹簧的弹力至少为1000KG。
[0020]在其中一个实施例中，所述底板的下表面与所述工件板的上表面相匹配。
[0021]在其中一个实施例中，所述底板的下表面与所述工件板的上表面均为平面。
[0022]在其中一个实施例中，所述升降机构还包括工作室，所述工作室位于所述工作台背离所述工件板的一侧，所述工作室设有第三通孔，所述第三通孔开口于所述工作室正对所述夹紧螺杆的表面，所述第三通孔移动式地罩设于所述夹紧螺杆超出所述底板上表面的部分。
[0023]在其中一个实施例中，所述第三通孔内设有顶升气缸，所述顶升气缸上设置有压头，所述压头与所述螺杆的轴线重合，所述压头位于所述螺杆远离所述工作台的一端，且所述压头朝向所述螺杆方向移动。
[0024]在其中一个实施例中，所述工作台与驱动机构相连，所述工作台按设定工艺速度在竖直方向上移动。
[0025]在其中一个实施例中，所述金刚线切片机还包括金刚线网，所述金刚线网正对所述晶棒远离所述工件板的一端。
[0026]在其中一个实施例中，所述金刚线切片机还包括两个位于同一水平线的辊轮，且所述金刚线网缠绕在所述辊轮上，所述辊轮用于带动金刚线网移动。
附图说明
[0027]图1为本专利技术提供的一种金刚线切片机示意图；
[0028]图2为本专利技术提供的一种工件板；
[0029]图3为本专利技术提供的一种工作台；
[0030]图4为本专利技术提供的另一种金刚线切片示意图；
[0031]图5为图4中的一种夹紧螺杆示意图。
[0032]其中：
[0033]10、金刚线切片机；
[0034]100、晶棒；
[0035]200、工件板；210、倒T型槽；
[0036]300、升降机构；310、工作台；311、底板；3111、第一通孔；320、工作室；322、第三通孔；
[0037]400、夹紧螺杆；410、锁紧弹簧；420、螺杆；430、限位结构；431、套筒；432、底壁；440、锁紧螺帽；
[0038]500、顶升气缸；510、压头；
[0039]600、金刚线网；
[0040]700、辊轮；
具体实施方式
[0041]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0042]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金刚线切片机，其特征在于，包括：依次设置的升降机构、工件板以及晶棒，夹紧螺杆，其中：所述夹紧螺杆包括螺杆及锁紧弹簧，所述锁紧弹簧套设于所述螺杆；所述工件板的下侧与所述晶棒相连接，所述工件板的上侧开设有倒T型槽；所述升降机构包括工作台，所述工作台包括底板，所述底板上设置有第一通孔，所述第一通孔开口于所述底板与所述工件板正对的表面上；所述螺杆穿过所述第一通孔与所述倒T型槽相卡接，所述夹紧螺杆、所述工作台与所述工件板固定为一体；所述锁紧弹簧位于所述底板的上侧，所述锁紧弹簧朝向所述底板的方向上处于压缩状态。2.根据权利要求1所述的金刚线切片机，其特征在于，所述夹紧螺杆还包括限位结构和锁紧螺帽，其中：所述限位结构包括底壁，所述底壁上设有贯穿其壁厚的第二通孔；所述螺杆依次穿过所述第二通孔、所述锁紧弹簧，并与所述锁紧螺帽配合，所述螺杆、所述限位结构、所述锁紧弹簧以及所述锁紧螺帽固定为一体，所述螺杆与所述第二通孔过渡配合；所述底板的上表面与所述底壁相抵接，所述底壁远离所述工作台的一面与所述锁紧弹簧相抵接；所述锁紧螺帽用于压缩所述锁紧弹簧。3.根据权利要求1所述的金刚线切片机，其特征在于，所述锁紧弹簧的弹力至少为1000KG。4.根据权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员：张祥，
申请(专利权)人：阜宁协鑫光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：