活化能线固化型树脂组合物及抗蚀图案的形成方法技术

技术编号:3184580 阅读:169 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种活化能线固化型树脂组合物及使用这种树脂组合物的抗蚀图案形成方法。在被覆于基材上形成为规定厚度的抗蚀膜的情况下,在该抗蚀膜的光谱灵敏度波长区,照射前的初期活化能线量(X)和透过该抗蚀膜后的透过活化能线量(Y)的比值(Y/X)在10%以下。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种活化能线固化型树脂组合物,其特征在于:在被覆于基材上形成为规定厚度的抗蚀膜的情况下,在该抗蚀膜的光谱灵敏度波长区,照射前的初期活化能线量(X)和透过该抗蚀膜后的透过活化能线量(Y)的比值(Y/X)在10%以下。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:长谷川刚也小岛大辅今井玄儿
申请(专利权)人:关西油漆株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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