【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种基板处理装置，其特征在于，包括：间隔用于处理被处理基板的处理空间的处理容器；在所述处理容器内支承所述被处理基板的基板支承体；直接或者间接地连接在所述基板支承体上的从动旋转体；和通过与所述从动旋转体接触并且 旋转，使所述从动旋转体旋转，由此使所述基板支承体旋转的驱动旋转体，其中，所述从动旋转体和所述驱动旋转体，由ＪＩＳＲ１６０７标准规定的破坏韧性的值以及／或者ＪＩＳＲ１６０１标准规定的三点弯曲强度的值不同的陶瓷材料所构成。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中澄，铃木公贵，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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