本实用新型专利技术公开了一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆。本实用新型专利技术结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的安装板移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。位置切换。位置切换。
【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版自动传输装置
[0001]本技术涉及掩膜版
，尤其涉及一种掩膜版自动传输装置。
技术介绍
[0002]光刻掩膜版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
[0003]待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得，常用加工设备为直写式光刻设备，如激光直写光刻机、电子束光刻机等。
[0004]掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如集成电路、平板显示器、印刷电路板、微机电系统等；在实际生产过程中，掩膜版的大小不一，因此一台可以灵活调节的抓取装置实现掩膜版的抓取与转运。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种掩膜版自动传输装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆，两个安装杆由设在安装板上的驱动装置驱动，实现间距调节，安装杆上安装有对称分布的电动吸盘。
[0008]优选地，所述驱动装置包括安装在安装板上的伺服电机，伺服电机输出端连接有驱动齿轮，驱动齿轮的两侧均啮合有齿条，两个齿条的端部分别与两个安装杆一一对应连接，安装板上安装有限位部件，齿条滑动连接在限位部件中。
[0009]优选地，所述限位部件包括安装在安装板上的限位座，限位座上开设有与齿条相对应的滑口，滑口的内壁转动连接有与齿条啮合的限位齿轮。
[0010]优选地，所述齿条远离限位齿轮的一侧设有多组滚柱，滚柱滚动连接在滑口的侧壁。
[0011]优选地，所述滑座与限位杆的连接处设有直线轴承。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的安装板移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。
附图说明
[0013]图1为本技术提出的结构示意图；
[0014]图2为图1中A部分结构示意图。
[0015]图中：端板1、限位杆2、滑座3、螺杆4、安装板5、驱动齿轮6、齿条7、安装杆8、电动吸盘9、限位座10、限位齿轮11、滚柱12。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0017]参照图1
‑
2，一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板1，两个端板1之间分别通过限位杆2和螺杆4连接，限位杆2上滑动套接有滑座3，滑座3与螺杆4螺纹连接，螺杆4的端部与安装在端板1上的驱动电机输出端连接，滑座3的端部连接有安装板5，安装板5远离滑座3的一侧设有两个平行设置的安装杆8，两个安装杆8由设在安装板5上的驱动装置驱动，实现间距调节，安装杆8上安装有对称分布的电动吸盘9。
[0018]其先，驱动装置包括安装在安装板5上的伺服电机，伺服电机输出端连接有驱动齿轮6，驱动齿轮6的两侧均啮合有齿条7，两个齿条7的端部分别与两个安装杆8一一对应连接，安装板5上安装有限位部件，齿条7滑动连接在限位部件中，驱动齿轮6转动带动两个齿条7相互远离或靠近，从而实现两个安装杆8间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性。
[0019]其次，限位部件包括安装在安装板5上的限位座10，限位座10上开设有与齿条7相对应的滑口，滑口的内壁转动连接有与齿条7啮合的限位齿轮11，为了保证齿条7在移动中的平稳性，利用限位齿轮11对其进行限位，同时也有助于减小其摩擦。
[0020]最后，齿条7远离限位齿轮11的一侧设有多组滚柱12，滚柱12滚动连接在滑口的侧壁，有助于减小齿条7另一侧与滑口内壁的摩擦，滑座3与限位杆2的连接处设有直线轴承，减小摩擦。
[0021]本案中，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮6带动两个齿条7相互远离或靠近，从而实现两个安装杆8间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘9吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆4带动滑座3和连接在其上的安装板5移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。
[0022]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板(1)，其特征在于，两个端板(1)之间分别通过限位杆(2)和螺杆(4)连接，限位杆(2)上滑动套接有滑座(3)，滑座(3)与螺杆(4)螺纹连接，螺杆(4)的端部与安装在端板(1)上的驱动电机输出端连接，滑座(3)的端部连接有安装板(5)，安装板(5)远离滑座(3)的一侧设有两个平行设置的安装杆(8)，两个安装杆(8)由设在安装板(5)上的驱动装置驱动，实现间距调节，安装杆(8)上安装有对称分布的电动吸盘(9)。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版自动传输装置，其特征在于，所述驱动装置包括安装在安装板(5)上的伺服电机，伺服电机输出端连接有驱动齿轮(6)，驱动齿轮(6)的两侧均啮...
【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，李俊毅，符友银，
申请(专利权)人：安徽睿芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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