一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统技术方案

本发明专利技术公开了一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，属于退火炉技术领域，包括数据采集模块、数据处理模块、调控模块和监控平台；数据采集模块用于采集退火炉工作时的输送信息、运行信息和预热信息；输送信息包含输送冷风的流量数据和流速数据；运行信息包含监测区域的温度数据和气流数据；预热信息包含预热器的预热数据；数据处理模块用于对采集的输送信息、运行信息和预热信息分别进行预处理和计算，得到输送处理集、运行处理集和预热处理集；对输送处理集、运行处理集和预热处理集进行综合分析，得到运行匹配集；本发明专利技术用于解决现有方案中退火炉的运行效果不佳的技术问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统


[0001]本专利技术涉及退火炉
，具体涉及一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种专门为加热半导体晶片而设计的设备，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能；热处理是针对不同的效果而设计的；退火炉可以集成到其它炉子处理步骤中。
[0003]现有的具有非接触式SiC舟改善体的退火炉系统在使用时，没有从输送冷气方面、炉腔运行方面及预热方面进行监测和分析，并动态调整冷气的输送以及气流的强度，使得炉腔内的运行保持最佳的状态，导致退火炉的运行效果不佳。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，解决以下技术问题：如何解决现有方案中不能对退火炉的运行自动进行动态调控，导致退火炉的运行效果不佳的技术问题。
[0005]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，包括数据采集模块、数据处理模块、调控模块和监控平台；数据采集模块用于采集退火炉工作时的输送信息、运行信息和预热信息；输送信息包含输送冷风的流量数据和流速数据；运行信息包含监测区域的温度数据和气流数据；预热信息包含预热器的预热数据；数据处理模块用于对采集的输送信息、运行信息和预热信息分别进行预处理和计算，得到输送处理集、运行处理集和预热处理集；对输送处理集、运行处理集和预热处理集进行综合分析，得到运行匹配集；调控模块用于根据运行匹配集对退火炉的运行进行调控。
[0006]进一步地，监测区域根据退火炉的炉腔进行划分，包括：获取炉腔的若干个内表面并进行编号，依次将编号的内表面的中点设为监测点，若干个监测点均包含温度传感器和气流传感器，通过温度传感器获取监测点的实时温度，通过气流传感器获取监测点的实时气流。
[0007]进一步地，对输送信息进行预处理和计算的具体步骤包括：获取输送信息中输送冷风的流量数据和流速数据，在预设的监测时间内，对流量数据中的实时流量进行取值并标记为SLi,i=1,2,3,...,n；对流速数据中的实时流速进行取值并标记为SSi；将标记的实时流量和实时流速按时间进行排列组合，得到输送标记信息；对输送标记信息中标记的各项数据进行归一化处理并取值，通过输送公式计算获
取输送系数；其中，a1和a2表示为不同的比例系数且均大于零，表示为输送调整因子，取值范围可以为（0,1）；输送标记信息和输送系数构成输送处理集。
[0008]进一步地，对运行信息进行预处理和计算的具体步骤包括：获取运行信息中监测区域的温度数据和气流数据，在预设的监测时间内，对温度数据中的实时温度进行取值并标记为SWi；对气流数据中的实时气压和实时气流量分别进行取值和标记，将实时气压标记为SQi；将实时气流量标记为QLi；将标记的实时温度、实时气压和实时气流量按时间进行排列组合，得到运行标记信息；对运行标记信息中标记的各项数据进行归一化处理并取值，通过运行公式计算获取运行系数；其中，b1、b2和b3表示为不同的比例系数且均大于零；运行标记信息和运行系数构成运行处理集。
[0009]进一步地，对预热信息进行预处理和计算的具体步骤包括：获取预热信息中预热器的预热数据，在预设的监测时间内，对预热数据中的预热气流量和实时预热量分别进行取值和标记，将预热气流量标记为YLi；将实时预热量标记为SRi；将标记的预热气流量和实时预热量按时间进行排列组合，得到预热标记信息；对预热标记信息中标记的各项数据进行归一化处理并取值，通过预热公式计算获取预热系数；其中，c1和c2表示为不同的比例系数且均大于零，表示为预热补偿因子，取值范围可以为（0,1）；预热标记信息和预热系数构成预热处理集。
[0010]进一步地，对输送处理集、运行处理集和预热处理集进行综合分析的具体步骤包括：在预设的监测时间内，获取输送标记信息对应的输送系数、运行标记信息对应的运行系数以及预热标记信息对应的预热系数，通过公式计算获取运迁值，其中，d1、d2和d3表示为不同的比例系数且均大于零；将运迁值与预设的运迁范围进行匹配，将大于运迁范围最大值的运迁值标记为第一运迁值，并生成第一匹配信号；将小于运迁范围最小值的运迁值标记为第二运迁值，并生成第二匹配信号；将第一匹配信号和第一运迁值以及第二匹配信号和第二运迁值按顺序排列组合，得到运行匹配集。
[0011]进一步地，根据运行匹配集对退火炉的运行进行调控的具体步骤包括：对运行匹配集进行分析，若运行匹配集中包含第一匹配信号，则判定退火炉的运行资源过多，根据第一匹配信号降低冷风的输送量，以及增加炉腔内风机的运行强度来提高风力，直至第一运迁值属于预设的运迁范围；若运行匹配集中包含第二匹配信号，则判定退火炉的运行效率过低，根据第二匹配信号增加冷风的输送量，以及减少炉腔内风机的运行强度来降低风力，直至第二运迁值属于预设的运迁范围。
[0012]进一步地，监控平台用于对采集的输送信息、运行信息和预热信息进行显示。
[0013]本专利技术的有益效果：1、本专利技术中，根据退火炉的炉腔进行划分监测区域，对炉腔的若干个内表面进行编号，依次将编号的内表面的中点设为监测点，通过若干个监测点来获取实时温度和实时气流，可以实现对退火炉内不同的区域进行监测和分析，及时动态调整退火炉内的风力，提高退火炉内运行控制的准确性；
2、本专利技术中，从输送冷气方面、炉腔运行方面及预热方面进行监测和分析，根据计算得到的运迁值来动态调整冷气的输送以及气流的强度，使得炉腔内的运行保持最佳的状态。
附图说明
[0014]下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0015]图1为本专利技术一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统的模块框图。
具体实施方式
[0016]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0017]请参阅图1，本专利技术为一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，包括数据采集模块、数据处理模块、调控模块和监控平台；本实施例中，通过对退火炉运行时的输送冷风方面、监测区域的温度和气流方面以及预热方面分别进行监测和分析，即从输送端、生产端和回收端进行监测，并联立计算得到运迁值，通过运迁值对退火炉整体的情况进行分析，并自动对冷气输送以及退火炉炉腔内的风力进行调整，使得退火炉炉腔内保持最佳的运行状态。
[0018]数据采集模块用于采集退火炉工作时的输送信息、运行信息和预热信息；输送信息包含输送冷风的流量数据和流速数据；运行信息包含监测区域的温度数据和气流数据；预热信息包含预热器的预热数据；其中，监测区域根据退火炉的炉腔进行划分，包括：获取炉腔的若干个内表面并进行编号，依次将编号的内表面的中点本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，包括数据处理模块和调控模块；数据处理模块用于对采集的输送信息、运行信息和预热信息分别进行预处理和计算，得到输送处理集、运行处理集和预热处理集；对输送处理集、运行处理集和预热处理集进行综合分析，得到包含第一匹配信号和第二匹配信号的运行匹配集；调控模块用于根据运行匹配集对退火炉的运行进行调控，包括：对运行匹配集进行分析，若运行匹配集中包含第一匹配信号，则判定退火炉的运行资源过多，根据第一匹配信号降低冷风的输送量，以及增加炉腔内风机的运行强度来提高风力，直至第一运迁值属于预设的运迁范围；若运行匹配集中包含第二匹配信号，则判定退火炉的运行效率过低，根据第二匹配信号增加冷风的输送量，以及减少炉腔内风机的运行强度来降低风力，直至第二运迁值属于预设的运迁范围，实现退火炉运行的动态调控。2.根据权利要求1所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，还包括数据采集模块和监控平台；数据采集模块用于采集退火炉工作时的输送信息、运行信息和预热信息；输送信息包含输送冷风的流量数据和流速数据；运行信息包含监测区域的温度数据和气流数据；预热信息包含预热器的预热数据。3.根据权利要求2所述的一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，其特征在于，监测...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶绍凤，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：