正型感光性绝缘树脂组合物及其固化物，其特征在于，包含（Ａ）含有１０～９９摩尔％（Ａ１）下述通式（１）表示的结构单元和９０～１摩尔％（Ａ２）下述通式（２）表示的结构单元的共聚物，（Ｂ）具有醌二叠氮基的化合物，（Ｃ）选自（Ｃ１）含有羟甲基及／或烷氧基甲基的芳香族化合物（含氨基的芳香族化合物除外）、（Ｃ２）芳香族醛化合物、（Ｃ３）脂肪族醛化合物、（Ｃ４）含有被烷基醚化的氨基的化合物及（Ｃ５）含环氧基的化合物的至少１种化合物，（Ｄ）溶剂及（Ｅ）粘合助剂；上式中的Ｒａ和Ｒｃ表示碳数１～４的烷基、烷氧基或芳基，Ｒｂ和Ｒｄ表示氢原子或甲基，ｎ表示０～３的整数，ｍ表示１～３的整数。上述固化物的分辨率、电绝缘性、热冲击性和粘合性等各特性良好。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及被用于半导体元件等的表面保护膜(外敷膜)或层间绝缘膜(钝化膜)等的正型感光性绝缘树脂组合物及将其固化而形成的固化物(绝缘物)。更具体涉及作为永久膜保护膜的分辨率良好且电绝缘性、热冲击性、粘合性等特性良好的固化物，以及形成该固化物的正型感光性绝缘树脂组合物。
技术介绍
以往，在被用于电子设备的半导体元件的层间绝缘膜、表面保护膜等广泛使用耐热性和机械特性等良好的聚酰亚胺类树脂及聚苯并唑类树脂。另外，为了提高生产性和膜形成精度等，对赋予了感光性的感光性聚酰亚胺和感光性聚苯并唑类树脂进行了各种探讨。例如，在聚酰亚胺前体中通过酯键或离子键导入了光交联基的负型被实用化。另外，作为正型，在日本专利特开平5-5996号公报和日本专利特开2000-98601号公报等中记载了由聚酰亚胺前体和醌二叠氮化合物形成的组合物，在日本专利特开平11-237736号公报等中记载了由聚苯并唑前体和醌二叠氮化合物形成的组合物。但是，这些组合物存在固化后的膜体积缩小(体积收缩率)、固化时需多次烘烤及气氛控制等问题，很难用于工业领域。为了改善感光性树脂组合物的各种特性，提出了各种组合物。例如，日本专利特开2000-275842号公报和日本专利特开2001-312064号公报等中对使用了聚苯醚类树脂的正型感光性树脂组合物进行了报道。但是，该类型的组合物作为绝缘树脂在分辨率、电绝缘性、热冲击性和粘合性等各种性能的平衡方面存在问题。此外，还提出了作为碱可溶性树脂使用了羟基苯乙烯类形成的(共)聚合物的正型感光性树脂组合物。在日本专利特开平7-140648号公报(专利文献1)中，作为这类组合物揭示了由聚乙烯基苯酚形成的碱可溶性树脂、特定的感光剂和特定的热固化剂及溶剂构成的热固型感光材料。日本专利特开平6-43637号公报(专利文献2)中揭示了包含碱可溶性树脂、醌二叠氮化合物和交联剂的树脂组合物，作为碱可溶性树脂，例示了含对羟基苯乙烯结构的共聚物。此外，日本专利特开2003-215789号公报(专利文献3)揭示了包含具有酚羟基的碱可溶性树脂、醌二叠氮化合物、交联微粒、固化剂和溶剂的正型感光性树脂组合物，日本专利特开2003-215795号公报(专利文献4)进一步揭示了还含有产酸剂的正型感光性树脂组合物，作为该碱可溶性树脂，例示了聚羟基苯乙烯及其共聚物。另外，具体揭示了从该组合物形成的绝缘膜的分辨率、热冲击性和耐热性等角度考虑，使用规定分子量的碱可溶性树脂；从热冲击性和耐热性的角度考虑，使用交联微粒；再从电绝缘性等角度考虑，使用规定量的固化剂。但是，上述技术方案都无法获得可形成分辨率、电绝缘性、热冲击性和粘合性等各种性能的平衡良好的固化物的树脂组合物。此外，可用于这些树脂组合物的聚羟基苯乙烯共聚物被用于利用碱性水溶液的固化物的显影。但是，任何文献都未对聚羟基苯乙烯共聚物的具体种类和组成进行探讨，也没有任何关于通过控制聚羟基苯乙烯共聚物的种类和组成来提高树脂组合物及其固化物的碱性显影性以外的各种特性的技术思想的记载。专利文献1日本专利特开平7-140648号公报专利文献2日本专利特开平6-43637号公报专利文献3日本专利特开2003-215789号公报专利文献4日本专利特开2003-215795号公报专利技术的揭示本专利技术的目的是解决上述现有技术中存在的问题，提供能够获得分辨率、电绝缘性、热冲击性和粘合性等各种特性良好的固化物的适合于半导体元件用层间绝缘膜、表面保护膜等用途的正型感光性绝缘树脂组合物。此外，本专利技术还提供使该正型感光性绝缘树脂组合物固化而形成的分辨率、电绝缘性、热冲击性和粘合性等各种特性良好的固化物。本专利技术者为解决前述问题进行认真研究后发现，如果使用包含作为碱可溶性树脂的以特定量含有特定结构单元的聚羟基苯乙烯共聚物的正型感光性绝缘树脂组合物，则所得固化物的电绝缘性及热冲击性将同时显著提高，从而完成了本专利技术。本专利技术的正型感光性绝缘树脂组合物的特征在于，包含(A)含有10～99摩尔％(A1)下述通式(1)表示的结构单元和90～1摩尔％(A2)下述通式(2)表示的结构单元的共聚物(构成该共聚物的结构单元的总量为100摩尔％)，(B)具有醌二叠氮基的化合物，(C)选自(C1)含有羟甲基及/或烷氧基甲基的芳香族化合物(含氨基的芳香族化合物除外)、(C2)芳香族醛化合物、(C3)脂肪族醛化合物、(C4)含有被烷基醚化的氨基的化合物及(C5)含环氧基的化合物的至少1种化合物，(D)溶剂及(E)粘合助剂； 所述通式(1)中的Ra表示碳数1～4的烷基、烷氧基或芳基，Rb表示氢原子或甲基，n表示0～3的整数，m表示1～3的整数； 所述通式(2)中的Rc表示碳数1～4的烷基、烷氧基或芳基，Rd表示氢原子或甲基，n表示0～3的整数。较好的是前述共聚物(A)仅由10～99摩尔％上述通式(1)表示的结构单元(A1)和90～1摩尔％上述通式(2)表示的结构单元(A2)构成，(A1)和(A2)合计为100摩尔％。较好的是前述结构单元(2)为下述式(2’)表示的结构单元。 前述正型感光性绝缘树脂组合物还可含有(a)酚化合物。前述酚化合物(a)的量对应于100重量份前述共聚物(A)优选1～200重量份。较好的是对应于前述共聚物(A)和前述酚化合物(a)的合计100重量份，前述具有醌二叠氮基的化合物(B)的量为10～50重量份，前述化合物(C)的量为1～100重量份。较好的是前述正型感光性绝缘树脂组合物还含有(F)平均粒径为30～500nm的、作为构成成分的共聚物的至少1种的Tg(玻璃化温度)在0℃以下的交联微粒。较好的是作为前述交联微粒(F)的构成成分的共聚物为苯乙烯-丁二烯类共聚物。较好的是对应于前述共聚物(A)和前述酚化合物(a)的合计100重量份，前述交联微粒(F)的量为0.1～50重量份。本专利技术的固化物的特征在于，由前述正型感光性绝缘树脂组合物固化而形成。较好的是前述固化物的(i)迁移试验后的电阻值在1010Ω以上，且(ii)以-65℃/30分钟～150℃/30分钟为1个循环的冷热冲击试验中，至固化膜出现裂缝为止的循环数在1000次循环以上。如果使用本专利技术的正型感光性绝缘树脂组合物，则能够获得分辨率、绝缘性、热冲击性和粘合性等特性良好的固化物，特别是绝缘性和热冲击性都非常好的固化物。如果使用本专利技术的固化物，则可形成分辨率、电绝缘性、热冲击性和粘合性等各种特性良好的固化物半导体元件用层间绝缘膜及表面保护膜等，特别是绝缘性和热冲击性都非常好的固化物半导体元件用层间绝缘膜及表面保护膜等。附图的简单说明附图说明图1为热冲击性评价用基材的截面图。图2为热冲击性评价用基材的模式图。图3为电绝缘性评价用基材的模式图。符号的说明1为铜箔，2为基板，3为基材，4为铜箔，5为基板，6为基材。实施专利技术的最佳方式以下，对本专利技术的正型感光性绝缘树脂组合物及其固化物进行具体说明。本专利技术的正型感光性绝缘树脂组合物包含由10～99摩尔％上述通式(1)表示的结构单元(A1)和90～1摩尔％上述通式(2)表示的结构单元(A2)形成的共聚物(A)(构成该共聚物的结构单元的总量为1 00摩尔％)，具有醌二叠氮基的化合物(B)，选自含有羟甲基及/或烷氧基甲基的芳香族化合本文档来自技高网...
【技术保护点】
正型感光性绝缘树脂组合物，其特征在于，包含（Ａ）含有１０～９９摩尔％（Ａ１）下述通式（１）表示的结构单元和９０～１摩尔％（Ａ２）下述通式（２）表示的结构单元的共聚物（构成该共聚物的结构单元的总量为１００摩尔％），（Ｂ）具有醌二叠氮基的化合物，（Ｃ）选自（Ｃ１）含有羟甲基及／或烷氧基甲基的芳香族化合物（含氨基的芳香族化合物除外）、（Ｃ２）芳香族醛化合物、（Ｃ３）脂肪族醛化合物、（Ｃ４）含有被烷基醚化的氨基的化合物及（Ｃ５）含环氧基的化合物的至少１种化合物，（Ｄ）溶剂及（Ｅ）粘合助剂；＊＊＊…（１）所述通式（１）中的Ｒａ表示碳数１～４的烷基、烷氧基或芳基，Ｒｂ表示氢原子或甲基，ｎ表示０～３的整数，ｍ表示１～３的整数；＊＊＊…（２）所述通式（２）中的Ｒｃ表示碳数１～４的烷基、烷氧基或芳基，Ｒｄ表示氢原子或甲基，ｎ表示０～３的整数。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-10-29 316656/2004;JP 2004-10-29 316655/2001.正型感光性绝缘树脂组合物，其特征在于，包含(A)含有10～99摩尔％(A1)下述通式(1)表示的结构单元和90～1摩尔％(A2)下述通式(2)表示的结构单元的共聚物(构成该共聚物的结构单元的总量为100摩尔％)，(B)具有醌二叠氮基的化合物，(C)选自(C1)含有羟甲基及/或烷氧基甲基的芳香族化合物(含氨基的芳香族化合物除外)、(C2)芳香族醛化合物、(C3)脂肪族醛化合物、(C4)含有被烷基醚化的氨基的化合物及(C5)含环氧基的化合物的至少1种化合物，(D)溶剂及(E)粘合助剂； 所述通式(1)中的Ra表示碳数1～4的烷基、烷氧基或芳基，Rb表示氢原子或甲基，n表示0～3的整数，m表示1～3的整数； 所述通式(2)中的Rc表示碳数1～4的烷基、烷氧基或芳基，Rd表示氢原子或甲基，n表示0～3的整数。2.如权利要求1所述的正型感光性绝缘树脂组合物，其特征在于，前述共聚物(A)仅由10～99摩尔％前述结构单元(A1)和90～1摩尔％前述结构单元(A2)构成，(A1)和(A2)合计为100摩尔％。3.如权利要求1或2所述的正型感光性绝缘树脂组合物，其特征在于，前述结构单元(2)由下述式(2’)表示。4.如权利要求1～3中...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤淳史，横山健一，猪俣克已，岩永伸一郎，
申请(专利权)人：捷时雅株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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