微型探针导向装置的制造方法以及微型探针单元制造方法及图纸

曲折状配置型微型探针单元（４０）由上侧微型探针单元（４２）和下侧微型探针单元（４４）背对组合构成；上侧微型探针单元（４２）由具有多个凹槽（７２）的微型探针导向装置（７０）、以及分别配置于各凹槽（７２）的微型探针（５０）所构成，下侧微型探针单元（４４）也为同样的结构。具有多个凹槽（７２）的微型探针导向装置（７０）、（７１）采用非均质蚀刻的方法，在硅板上以与微型探针（５０）、（５１）的轴部高度和宽度相对应的槽深、槽宽，形成细长的深槽。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种配置有尺寸较小的微型探针导向装置、以及将微型探针配置于微型探针导向装置的微型探针单元。特别是涉及一种微型探针导向装置的制造方法、使用微型探针导向装置的微型探针单元以及曲折状配置型微型探针单元。
技术介绍
为了使探针接触到半导体晶片或者液晶显示元件上的电极端子，以检查在该半导体晶片上所制作的IC芯片或液晶显示元件的电路特性，通常使用所谓的探针卡。例如，日本特开平6-222079号公报中阐述了这样一种结构在中央设有开口部的盘状探针卡上进行印刷布线，并分别将探针的基端与印刷布线的各端子连接固定。该些各探针的前端分别朝向半导体晶片的电极台或液晶显示元件的电极台而延伸。并且，在半导体晶片的电极台的配置或液晶显示元件等电极台的配置形成高密度的同时，由多个探针构成的探针组自身也必须实现细致的高精度配置，从各探针前端向基端呈扇型展开。另外，使构成探针组的各个探针的高度不一致，以采用多层构造配置。除此之外，将邻近的探针的前端位置配置成曲折状，这也是众所周知的。此外，在日本特开2002-257859号公报中，公开了嵌入探针的方法利用硅基板的(100)面比(111)面更快地被蚀刻，使用K OH溶液等在硅基板上形成凹槽，并采用无电解电镀法将探针嵌入该凹槽。
技术实现思路
如上所述，关于探针卡上所配置的探针的间距密集，已提出各种方案。但是，在日本特开平6-222079号公报所介绍的曲折状配置或多层构造配置中，作为以保持密集的间距固定探针的具体方法，采用对探针卡的印刷布线粘结固定的方式。因此，为了高精度的配置各探针的前端位置，需要用于精确地保护各探针配置的精密夹具。另外，在日本特开2002-257859号公报中，阐述了在硅基板上嵌入探针的方法，但是该方法对探针的材料、形状等有限制。本专利技术的目的在于提供一种微型探针导向装置的制造方法，该装置可以高精度地保护配置各探针，以使各探针的前端配置的间距密集化成为可能。另外，本专利技术还提供了一种微型探针单元，该微型探针单元使用了按照上述方法制造的微型探针导向装置。此外，又提供了一种微型探针单元，该微型探针单元呈曲折状配置，并应用了按照上述方法制造的微型探针导向装置。本专利技术通过应用半导体制造工艺流程中所使用的蚀刻技术和膜堆积技术等，可实现将微小的机构嵌入硅等技术应用在探针卡上。该种嵌入微小机构的技术，作为所谓的MEMS(Micro Electro MechanicalSystems微小电气机械系统)技术或微型机械技术已被公开。具体而言，在半导体工艺流程技术所适用的材料上，例如在硅基板等基板上实施非均质蚀刻等技术，使之形成深且细长的凹槽，并以此作为微型探针的导向机构。在此，所谓的非均质蚀刻指的是相对于蚀刻罩幕的尺寸来说，几乎没有侧面蚀刻，而是以与罩幕尺寸相同的形状来形成深孔或凹槽的蚀刻。这样，在以深且细长的凹槽为导向的情况下，微型探针便能够采用通常的材料、并采用众所周知的机械加工技术或蚀刻技术来制作。另外，用于微型探针定位的定位孔或开口也可以通过微型机械技术来完成。这样，本专利技术所述的微型探针导向装置的制造方法，为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于，包括通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。另外，本专利技术所述的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于包括第一项工序和第二项工序。作为第一项工序，在轴部的某一部位具有定位用凸部的保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法中，通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽，其中，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。并且，作为第二项工序，在金属板的微型探针导向槽槽底的某一部位，形成与微型探针用凸部相对应的凹陷或开口。此外，本专利技术所述的微型探针导向装置的制造方法，为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于包括通过非均质蚀刻在硅基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。另外，本专利技术所述的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于包括第一项工序和第二项工序。作为第一项工序，在轴部的某一部位具有定位用凸部的保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法中，通过非均质蚀刻在硅基板上形成微型探针导向凹槽，其中，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。并且，作为第二项工序，在基板的微型探针导向槽槽底的某一部位，形成与微型探针用凸部相对应的凹陷或开口。再者，本专利技术所述的微型探针单元，具有微型探针和微型探针导向装置。并且，微型探针呈细长状，且具有高度是宽度2倍以上的矩形剖面的轴部。另外，微型探针导向装置整列配置有多个微型探针导向槽；该种微型探针导向槽具有与微型探针的轴部矩形剖面宽度相对应的槽宽、以及与轴部矩形剖面高度相对应的槽深。并且，微型探针单元分别将微型探针导入各个微型探针导向槽。另外，在本专利技术所述的微型探针单元中，微型探针应进一步在其轴部的某一部位设有定位用凸部。并且，微型探针单元也进一步在微型探针导向槽槽底的某一部位设有与微型探针的定位用凸部相对应的凹陷或开口。此外，在本专利技术所述的微型探针单元中，优选为，微型探针为一种两端弯曲型的微型探针。该微型探针的一侧端相对于轴部倾斜并延伸，而形成一侧端部；另一侧端相对于轴部朝向与上述一侧端倾斜方向相反的方向倾斜并延伸，从而其前端形成另一侧端部。微型探针导向装置具有与两端弯曲型微型探针的轴部长度相对应的凹槽长度。由凹槽的一侧端相对于槽底，在下侧露出微型探针的弯曲的一侧端部；由凹槽的另一端相对于槽底，在上侧露出微型探针的弯曲的另一侧端部。另外，在本专利技术所述的微型探针单元中，相对于微型探针的轴部一侧端部的前端高度与相对于轴部的另一侧端部的高度相比，只是因微型探针导向装置的厚度部分而有所不同。再者，在本专利技术的微型探针单元中，微型探针导向装置优选为一种具有多个微型探针导向凹槽的硅基板。另外，本专利技术所述的曲折状配置型微型探针单元，其特征在于将两端弯曲的微型探针分别配置到拥有多个微型探针导向凹槽的微型探针导向装置的各导向凹槽上；微型探针单元的两端弯曲型微型探针的两端从凹槽的两端突出来，把具有该种构造的微型探针单元两两背对组合，并用托架固定。并且，相邻的两端弯曲型微型探针的前端分别在微型探针导向装置两端互相呈曲折状配置。在这里，两端弯曲型微型探针具有细长的轴部、以及其一侧端部和另一侧端部；其中细长的轴部具有高度是宽度2倍以上的矩形剖面。其一侧端部为轴部的一端相对于轴部而倾斜延伸的端部，其另一侧端部为轴部的另一端相对于轴部朝向与上述一端的倾斜相反的方向倾斜并延伸，相对于其前端的轴部的高度与相对于一侧端部的前端的轴部的高度相比，只因微型探针导向装置的厚度部分而有所不同。另外，各个微型探针导向凹槽具有与轴部两段弯曲型的微型探针的轴部矩形剖面的宽度相对应的槽宽、与轴部矩形剖面的高度相对应的槽深、以及与轴部的长度相对应的槽长。并且，该槽深，可由凹槽的一侧端相对于槽底，在下侧露出两端弯曲型微型探针的一侧端部；由凹槽的另一端相对于槽底，在上侧露出两端弯曲型微型探本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术提供一种微型探针导向装置的制造方法，其为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于，包括通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽２倍以上的槽深。

【技术特征摘要】
JP 2006-4-5 2006-1044441.本发明提供一种微型探针导向装置的制造方法，其为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于，包括通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。2.本发明提供一种微型探针导向装置的制造方法，在轴部的某一部位具有定位用凸部的保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法中，其特征在于包括第一项工序和第二项工序。第一项工序，通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽，其中，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深；第二项工序，在金属板的微型探针导向槽槽底的某一部位，形成与微型探针用凸部相对应的凹陷或开口。3.本发明提供一种微型探针导向装置的制造方法，其为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于包括通过非均质蚀刻在硅基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。4.本发明提供一种微型探针导向装置的制造方法，在轴部的某一部位具有定位用凸部的保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法中，其特征在于包括第一项工序和第二项工序。第一项工序，通过非均质蚀刻在硅基板上形成微型探针导向凹槽，其中，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。第二项工序，在基板的微型探针导向槽槽底的某一部位，形成与微型探针用凸部相对应的凹陷或开口。5.本发明提供一种微型探针单元，其具有微型探针和微型探针导向装置，并且，微型探针单元分别将微型探针导入各个微型探针导向槽；微型探针呈细长状，且具有高度是宽度2倍以上的矩形剖面的轴部；微型探针导向装置整列配置有多个微型探针导向槽，该种微型探针导向槽具有与微型探针的轴部矩形剖面宽度相对应的槽宽、以及与轴部矩形剖面高度相对应的槽深。6.根据权利要求5所述的微型探针单元，其特征在于，微型探针进一步在其轴部的某一部位设有定位用凸部；微型探针导向装置也进一步在微型探针导向槽槽底的某一部位，设有与微型探针的定位用凸部相对应的凹陷或开口。7.根据权利要求5所述的微型探针单元，其特征在于，微型探针为一种两端弯曲型的微型探针，该微型探针的一侧端相对于轴部倾斜并延伸，从而形成一侧端部；另一侧端相对于轴部朝向与上述一侧端倾斜方向相反的方向倾斜并延伸，从而其前端形成另一侧端部；微型探针导向装置具有与两端弯曲型微型探针的轴部长度相对应的凹槽长度；由凹槽的一侧端相...

【专利技术属性】
技术研发人员：渊山正毅，大贝努，卞秀龙，李芝弘，
申请(专利权)人：株式会社联箭技术，株式会社CRATTO，
类型：发明
国别省市：JP[日本]