一种等离子清洗设备用通道流量调节机构制造技术

本发明专利技术公开了一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，包括发生器，发生器连通导管，发生器通过导管连通调压器，调压器通过导管连通流量计，流量计通过导管连通连接阀，连接阀分别接通泄压阀、分流连接器和检测口，调压器上设置有第一压力显示器，连接阀靠近分流连接器的一侧设置有第二压力显示器。本发明专利技术一种等离子清洗设备用通道流量调节机构通过设置第一压力显示器和第二压力显示器便于工作人员实时观察到压力数值，并结合实际需求进行调节改变；流量计可实时监控经过的流量，可计算数值总量；连接阀连通泄压阀和检测口，方便工作人员进行最终调节，且可实时进行检测。且可实时进行检测。且可实时进行检测。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子清洗设备用通道流量调节机构


[0001]本专利技术涉及清洗设备
，具体为一种等离子清洗设备用通道流量调节机构。

技术介绍

[0002]等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的
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活性
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组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的。等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵
[0003]目前，传统等离子清洗设备流量调节不够稳定，存在一定缺陷，同时缺乏监测措施，具备一定的不稳定性，在使用时越来越难以满足生产作业需求。
[0004]基于此，本专利技术设计了一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，以解决上述
技术介绍
中提出的目前，传统等离子清洗设备流量调节不够稳定，存在一定缺陷，同时缺乏监测措施，具备一定的不稳定性，在使用时越来越难以满足生产作业需求的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，包括发生器，所述发生器连通导管，所述发生器通过所述导管连通调压器，所述调压器通过所述导管连通流量计，所述流量计通过所述导管连通连接阀，所述连接阀分别接通泄压阀、分流连接器和检测口，所述调压器上设置有第一压力显示器，所述连接阀靠近所述分流连接器的一侧设置有第二压力显示器。
[0008]作为本专利技术的进一步方案，所述发生器为等离子气体发生装置。
[0009]作为本专利技术的进一步方案，所述分流连接器设置有多个分流接口，且所述分流连接器与等离子清洗设备连接。
[0010]作为本专利技术的进一步方案，所述第一压力显示器检测的压力为所述调压器调节后的压力。
[0011]作为本专利技术的进一步方案，所述流量计为气体流量计。
[0012]作为本专利技术的进一步方案，所述第一压力显示器和所述第二压力显示器为数字显示器，且显示精度不低于0.5kPa。
[0013]作为本专利技术的进一步方案，所述连接阀为螺纹四通阀，所述连接阀与所述导管连接处设置有密封圈。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
[0015]本专利技术一种等离子清洗设备用通道流量调节机构通过设置第一压力显示器和第二压力显示器便于工作人员实时观察到压力数值，并结合实际需求进行调节改变；流量计可实时监控经过的流量，可计算数值总量；连接阀连通泄压阀和检测口，方便工作人员进行最终调节，且可实时进行检测。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是根据该专利技术的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构的结构示意图。
[0018]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0019]1、发生器；2、导管；3、调压器；4、流量计；5、连接阀；6、泄压阀；7、分流连接器；8、检测口；9、第一压力显示器；10、第二压力显示器。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0021]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“顶部”、“底部”、“一侧”、“另一侧”、“前面”、“后面”、“中间部位”、“内部”、“顶端”、“底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0022]如图1所示，本专利技术提供了一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其中，
[0023]图1是根据该专利技术的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构的结构示意图，从图1中可看出，一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，包括发生器1，所述发生器1连通导管2，所述发生器2通过所述导管2连通调压器3，所述调压器3通过所述导管2连通流量计4，所述流量计4通过所述导管2连通连接阀5，所述连接阀5分别接通泄压阀6、分流连接器7和检测口8，所述调压器3上设置有第一压力显示器9，所述连接阀5靠近所述分流连接器7的一侧设置有第二压力显示器10。所述发生器1为等离子气体发生装置。所述分流连接器7设置有多个分流接口，且所述分流连接器7与等离子清洗设备连接。所述第一压力显示器9检测的压力为所述调压器3调节后的压力。所述流量计4为气体流量计4。所述第一压力显示器9和所述第二压力显示器10为数字显示器，且显示精度不低于0.5kPa。所述连接阀5为螺纹四通阀，所述连接阀5与所述导管2连接处设置有密封圈。
[0024]在实际应用中，本专利技术一种等离子清洗设备用通道流量调节机构通过设置第一压力显示器9和第二压力显示器10便于工作人员实时观本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，包括发生器(1)，其特征在于，所述发生器(1)连通导管(2)，所述发生器(2)通过所述导管(2)连通调压器(3)，所述调压器(3)通过所述导管(2)连通流量计(4)，所述流量计(4)通过所述导管(2)连通连接阀(5)，所述连接阀(5)分别接通泄压阀(6)、分流连接器(7)和检测口(8)，所述调压器(3)上设置有第一压力显示器(9)，所述连接阀(5)靠近所述分流连接器(7)的一侧设置有第二压力显示器(10)。2.根据权利要求1所述的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其特征在于，所述发生器(1)为等离子气体发生装置。3.根据权利要求1所述的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其特征在于，所述分流连接器(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷赛辉，曾壤，
申请(专利权)人：深圳市中科劲纬智能有限公司，
类型：发明
国别省市：