检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统技术方案

本发明专利技术提供了一种检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统。该检测数据的处理系统可对基板进行区域划分，并将各个区域的检测数据与对应的区域关联，从而在查询特定区域的检测数据时可仅调取出该区域的数据，不仅减少了数据量，提高数据查询速度，并且也不需要额外的查询并去除冗余的数据，大大了节省了时间，提高分析效率。提高分析效率。提高分析效率。

【技术实现步骤摘要】
检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统。

技术介绍

[0002]在半导体加工制造中，常常需要对加工后的基板进行检测，并收集对基板的检测数据以便于对基板进行缺陷分析。在实际应用中，通常会将基板的检测数据存储于例如良率管理系统（Yield Management System，YMS）中，工程人员即可借助YMS系统进行缺陷/良率分析。
[0003]目前，在对基板进行检测时，常常会对基板的整个板面进行检测，以获得基板的整个板面的缺陷分布状况。在基板的量产中时，即会得到大量基板的检测数据，以及需要对大量基板进行缺陷/良率分析，并且在针对每一片基板进行分析时，从YMS系统中查询得到的检测数据均是基板的整个板面的检测数据。
[0004]因此，在调取基板的检测数据的过程中，就已经存在数据量较大的问题，从而导致查询速度慢，还会增加对数据的处理工作，严重影响了工作效率。尤其是，在工程人员仅需要分析基板中的某一个区域，而不需要整个基板的检测数据的情况下，则还需要额外的查询并去除冗余的数据，浪费了更多的时间，大大降低了分析效率。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种检测数据的处理系统，以解决现有的数据系统不利于人员针对特定区域的数据进行查询。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种检测数据的处理系统，包括：区域划分模块，用于对基板进行区域划分，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；以及，数据处理模块，用于获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。
[0007]可选的，所述基板包括晶圆。以及，所述区域划分模块用于以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。
[0008]可选的，以晶圆的圆心为极点建立极坐标，并以预定角度将晶圆划分出至少两个扇区。
[0009]可选的，沿着晶圆的半径以预定尺寸将各个扇区进一步划分出至少两个区域。
[0010]可选的，所述数据处理模块用于获取基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据。以及，所述数据处理模块还用于将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。
[0011]可选的，所述处理系统还包括：配置表，所述配置表用于记录基板的各个区域的区域代码，并建立有各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。
[0012]可选的，所述处理系统还包括：数据存储介质，用于存储区域代码和与所述区域代
码关联的检测数据。
[0013]本专利技术的又一目的在于提供一种检测数据的处理方法，包括：将基板划分为至少两个区域，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；以及，获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。
[0014]可选的，所述基板包括晶圆，并以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。
[0015]可选的，获取基板的检测数据的方法包括：得到基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据；以及，将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。
[0016]可选的，所述处理方法还包括：建立配置表，并将基板的各个区域的区域代码记录于所述配置表内，并在所述配置表中建立各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。
[0017]本专利技术中还提供了一种基板的检测系统，包括：检测设备，用于对基板进行检测，以得到基板的初始检测数据；以及，如上所述的检测数据的处理系统，用于接收基板的初始检测数据并处理。
[0018]在本专利技术提供的检测数据的处理系统中，可利用区域划分模块将基板进行区域划分，并利用数据处理模块将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联，使得处理后的检测数据能够依据对应的区域归纳划分，从而可以根据需求查询到需要查询的区域所对应的检测数据，而不需要调取整个基板的检测数据。如此，不仅减少了数据量，可以快速的、准确的得到需要的区域的数据，提高数据查询速度，并且也不需要额外的查询并去除冗余的数据，大大了节省了时间，提高分析效率，有效解决了现有系统中难以快速查询针对特定区域的数据的问题。
附图说明
[0019]图1为本专利技术一实施例中的检测数据的处理系统的示意图。
[0020]图2为本专利技术一实施例中对基板的区域划分的一种示意图。
[0021]图3为本专利技术一实施例中查询特定区域的检测数据的示意图。
具体实施方式
[0022]以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统作进一步详细说明。根据下面说明，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。
[0023]图1为本专利技术一实施例中的检测数据的处理系统的示意图，如图1所示，本实施例中的检测数据的处理系统包括：区域划分模块和数据处理模块。
[0024]其中，所述区域划分模块用于对基板进行区域划分，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码。例如参考图2所示，图2中将基板划分为8个区域，其区域代码例如为区域1、区域2、区域3
……
区域8。需要说明的是，图2中仅简单的以数字对各个区域进行编码而作为区域代码，然而实际应用中可以根据具体情况进行编码，此处不做限制。
[0025]所述数据处理模块用于获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测
数据与相应的区域代码关联。例如以图2为例，即可利用所述数据处理模块将区域1所对应的检测数据与区域1关联，将区域2所对应的检测数据与区域2关联，区域3所对应的检测数据与区域3关联
……
区域8所对应的检测数据与区域8关联。
[0026]即，本实施例中的数据处理系统，可以就基板的各个区域的检测数据进行划分，从而在需要对特定区域进行查询时，可以仅调取被选中的区域中的检测数据，而不需要调取整个基板的检测数据。如此，不仅可减少数据量，提高数据查询速度，并且也不需要额外的查询并去除冗余的数据，大大了节省了时间，提高分析效率。
[0027]其中，所述基板可包括晶圆。针对晶圆而言，即可利用所述区域划分模块以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；或者，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区；又或者，以划分出至少两个扇区和至少两个环区相结合的方式对晶圆进行区域划分。本实施例中，即是以将晶圆划分为至少两个扇区和至少两个环区相结合的方式对晶圆进行区域划分。例如参考图2所示，图2中以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出四个扇区，并以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出两个环区，环区和扇区相交使得晶圆被划分为8个区域。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测数据的处理系统，其特征在于，包括：区域划分模块，用于对基板进行区域划分，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；数据处理模块，用于获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。2.如权利要求1所述的检测数据的处理系统，其特征在于，所述基板包括晶圆；以及，所述区域划分模块用于以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。3.如权利要求2所述的检测数据的处理系统，其特征在于，以晶圆的圆心为极点建立极坐标，并以预定角度将晶圆划分出至少两个扇区。4.如权利要求3所述的检测数据的处理系统，其特征在于，沿着晶圆的半径以预定尺寸将各个扇区进一步划分出至少两个区域。5.如权利要求1所述的检测数据的处理系统，其特征在于，所述数据处理模块用于获取基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据；以及，所述数据处理模块还用于将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。6.如权利要求1所述的检测数据的处理系统，其特征在于，所述处理系统还包括：配置表，所述配置表用于记录基板的各个区域的区域代码，并建立有各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。7.如权利要求1所述的检测数据的处理系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张景伦，刘志刚，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：