本实用新型专利技术公开了一种高纯产品微量杂质分析装置，包括第一托块、流量控制阀、第二托块、底板和六通阀，所述底板的上表面设有流量控制阀，所述第一托块的表面位于流量控制阀的两侧分别设有第一托块和第二托块，所述第一托块上位于六通阀背离第二托块的一侧安装有检测盒，所述流量控制阀上焊接有传动轴，所述流量控制阀上转动安装有转辊，所述隔板的一侧转动安装有行星齿轮组，所述传动轴的一端连接有主动齿轮，所述传动轴的另一端开设有卡齿，所述行星齿轮组与传动轴内的卡齿啮合传动。本实用新型专利技术具备便于使用者选择所需的流量通道安装导管，并通过控制转辊挤压导管的转速对流量进行控制的优点。进行控制的优点。进行控制的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种高纯产品微量杂质分析装置
[0001]本技术涉及气体分析
，具体为一种高纯产品微量杂质分析装置。
技术介绍
[0002]随着国民经济的迅速发展，氮气和氩气市场和客户不断扩大，尤其是高纯气作为重要原料在电子工业、半导体、仪器仪表等领域的需求量越来越大。对高纯气体的分析即对ppm级微量杂质的分析的准确和精确提出了更高的要求。气体中痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节。
[0003]在GB/T8979
‑
2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》和GB/T4842
‑
2017《氩》中规定了高纯氮、氩的质量要求，并且需要检测其中的氧气、氢气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水等多种杂质的含量。采用传统的杂质检测方法，不便于控制气体的流量，所用要的仪器多，对分析操作人员的技术水平要求高，并且工作量大，耗时长，进而影响气体的分析效率。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种高纯产品微量杂质分析装置，具备便于使用者选择所需的流量通道安装导管，并通过控制转辊挤压导管的转速对流量进行控制的优点，解决了采用传统的杂质检测方法，不便于控制气体的流量，所用要的仪器多，对分析操作人员的技术水平要求高，并且工作量大，耗时长，进而影响气体的分析效率的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种高纯产品微量杂质分析装置，包括第一托块、流量控制阀、第二托块、底板和六通阀，所述底板的上表面设有流量控制阀，所述第一托块的表面位于流量控制阀的两侧分别设有第一托块和第二托块，所述第一托块上位于第二托块背离流量控制阀的一侧设有六通阀，所述第一托块上位于六通阀背离第二托块的一侧安装有检测盒，所述流量控制阀上焊接有传动轴，所述流量控制阀上转动安装有转辊，所述流量控制阀的内部设有隔板，所述隔板上贯穿开设有插接孔，所述隔板的一侧转动安装有行星齿轮组，所述传动轴的一端连接有主动齿轮，所述传动轴的另一端开设有卡齿，所述行星齿轮组与传动轴内的卡齿啮合传动。
[0007]优选的，所述流量控制阀呈十字状，且所述流量控制阀的末端设有限位轴，所述转辊通过限位轴转动安装在流量控制阀上。
[0008]优选的，所述转辊共设有四个，且所述转辊在流量控制阀上环形阵列分布。
[0009]优选的，所述六通阀通过固定板及螺栓固定在底板上，且所述六通阀的外侧表面设有接头。
[0010]优选的，所述第一托块和第二托块的大小相同，所述第一托块和第二托块在流量控制阀的两侧对称分布，且所述第一托块和第二托块上均开设有卡槽。
[0011]优选的，相邻的两个流量控制阀的主动齿轮与行星齿轮组相互啮合。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过设置流量控制阀，流量控制阀之
间通过主动齿轮及行星齿轮组进行传动连接，进而组成阀组，且阀组之间通过主动齿轮及行星齿轮组进行逐级减速，进而便于使用者选择合适的流量通道安装导气管，并将导气管与六通阀连通，且气体在进行供给时，可通过流量控制阀的转辊挤压导气管，进行供气的通断控制；
[0013]通过设置检测盒，检测盒内设有气体分析仪，通过检测盒内的气体分析仪对从六通阀处供给的气体进行分析。
附图说明
[0014]图1为本技术的俯视外观示意图；
[0015]图2为本技术的转辊爆炸结构示意图；
[0016]图3为本技术的主视外观示意图。
[0017]图中：1、第一托块；2、流量控制阀；3、传动轴；4、转辊；5、第二托块；6、固定板；7、接头；8、底板；9、检测盒；10、六通阀；11、卡槽；12、隔板；13、插接孔；14、行星齿轮组；15、卡齿；16、主动齿轮；17、限位轴。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0021]请参阅图1至图3，本技术提供的一种实施例：
[0022]一种高纯产品微量杂质分析装置，包括第一托块1、流量控制阀2、第二托块5、底板8和六通阀10，底板8的上表面设有流量控制阀2，流量控制阀2呈十字状，且流量控制阀2的末端设有限位轴17，转辊4通过限位轴17转动安装在流量控制阀2上，第一托块1的表面位于流量控制阀2的两侧分别设有第一托块1和第二托块5，第一托块1和第二托块5的大小相同，第一托块1和第二托块5在流量控制阀2的两侧对称分布，且第一托块1和第二托块5上均开设有卡槽11。
[0023]第一托块1上位于第二托块5背离流量控制阀2的一侧设有六通阀10，六通阀10通过固定板6及螺栓固定在底板8上，且六通阀10的外侧表面设有接头7，第一托块1上位于六
通阀10背离第二托块5的一侧安装有检测盒9，检测盒9内设有气体分析仪，通过检测盒9内的气体分析仪对从六通阀10处供给的气体进行分析，流量控制阀2上焊接有传动轴3，流量控制阀2上转动安装有转辊4，转辊4共设有四个，且转辊4在流量控制阀2上环形阵列分布，流量控制阀2的内部设有隔板12，隔板12上贯穿开设有插接孔13，隔板12的一侧转动安装有行星齿轮组14，传动轴3的一端连接有主动齿轮16，相邻的两个流量控制阀2的主动齿轮16与行星齿轮组14相互啮合，最外侧的流量控制阀2通过行星齿轮组14与安装有主动齿轮16的电机传动连接，当主动齿轮16转动时，主动齿轮16带动行星齿轮组14转动，行星齿轮组14与卡齿15啮合，由于流量控制阀2与传动轴3焊接固定，因此行星齿轮组14带动流量控制阀2进行转动，流量控制阀2之间通过主动齿轮16及行星齿轮组14进行传动连接，进而组成阀组，且阀组之间通过主动齿轮16及行星齿轮组14进行逐级减速，进而便于使用者选择合适的流量通道安装导气管，并将导气管与六通阀本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高纯产品微量杂质分析装置，包括第一托块(1)、流量控制阀(2)、第二托块(5)、底板(8)和六通阀(10)，其特征在于：所述底板(8)的上表面设有流量控制阀(2)，所述第一托块(1)的表面位于流量控制阀(2)的两侧分别设有第一托块(1)和第二托块(5)，所述第一托块(1)上位于第二托块(5)背离流量控制阀(2)的一侧设有六通阀(10)，所述第一托块(1)上位于六通阀(10)背离第二托块(5)的一侧安装有检测盒(9)，所述流量控制阀(2)上焊接有传动轴(3)，所述流量控制阀(2)上转动安装有转辊(4)，所述流量控制阀(2)的内部设有隔板(12)，所述隔板(12)上贯穿开设有插接孔(13)，所述隔板(12)的一侧转动安装有行星齿轮组(14)，所述传动轴(3)的一端连接有主动齿轮(16)，所述传动轴(3)的另一端开设有卡齿(15)，所述行星齿轮组(14)与传动轴(3)内的卡齿(15)啮合传动。2.根据权利要求1所述的一种高纯产品微量杂质分析装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪宝庆，
申请(专利权)人：珠海盈德气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。