一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔制造技术

本发明专利技术提供了一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，包括设置在第一冷凝层内的混合箱，第一冷凝层等间距的固定有五个支撑板，支撑板的上端均固定在搅拌机构下面，搅拌机构通过第十二连接管连通有第一抽气泵；第一抽气泵通过第三连接管连通有冷凝机构，冷凝机构的下端固定有防尘机构，冷凝机构的一侧还连通有精馏机构；精馏机构的一侧通过第十连接管的连通有钢瓶，钢瓶的底端连接在导轨上。本发明专利技术能实现气体的快速反应，使得气体从始至终均处在相对适宜的温度下，减小了危险性，而且冷凝器能维持良好的输送环境，可以根据现存气体的沸点进行合理的调节，从而达到将需要的气体从设备中提取出来。取出来。取出来。

【技术实现步骤摘要】
一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔


[0001]本专利技术属于低温精馏塔
，具体涉及一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔。

技术介绍

[0002]电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，近年来，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。
[0003]一氟甲烷(CH3F)是一种绿色、高效的电子特气，用于半导体及电子产品的刻蚀，对硅化物薄膜的刻蚀选择性好，现存的设备中以颗粒状活性炭为催化剂，一氯甲烷和氟化氢的反应缓慢，需要等待一段时间，造成了时间成本的浪费，一氟甲烷是无色易燃气体，由于受热会造成严重的后果，严重者甚至发生爆炸，因此对于设备的降温是至关重要的，目前市场上仅针对在进行精馏时的降温是不全面的，在进行冷热器置换的过程中，容易在散热装备上存积大量的灰尘从而降低设备的冷却效果，由于冷凝器的体积大，清理起来不方便，从而降低工作效率，得到的产物甲烷、一氟甲烷、一氯甲烷、氟化氢以及氯化氢气体在进入精馏塔内时会将温度调节到需要的温度下，而不同气体所需要的沸点是不一样的，现存设备沸点高低的转变不易掌控，为此，我们提出了一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔用精馏脱水设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，包括设置在第一冷凝层内的混合箱，所述第一冷凝层等间距的固定有五个支撑板，所述支撑板的上端均固定在搅拌机构下面，所述搅拌机构通过第十二连接管连通有第一抽气泵；
[0006]所述第一抽气泵通过第三连接管连通有冷凝机构，所述冷凝机构的下端固定有防尘机构，所述冷凝机构的一侧还连通有精馏机构；
[0007]所述精馏机构的一侧通过第十连接管的连通有钢瓶，所述钢瓶的底端连接在导轨上。
[0008]进一步的，所述第一冷凝层的一侧通过第六连接管连通在第二冷凝器上，所述第二冷凝器的一侧通过第七连接管连通有第二抽气泵，所述第二抽气泵的一侧连接有第九连接管，所述第九连接管的一侧贯穿第二冷凝层并延伸至第二冷凝层内，所述第九连接管的延伸端连接有螺旋式冷凝管；
[0009]所述螺旋式冷凝管的下端连接有第八连接管，所述第八连接管贯穿第二冷凝层并延伸至第二冷凝层外，所述第八连接管的外侧连接在第二冷凝器上；
[0010]所述第二抽气泵的另一侧连接有第四连接管，所述第四连接管的一侧分别连接有
第一冷凝层上。
[0011]进一步的，所述防尘机构包括固定在第二抽气泵下端的防尘箱，所述防尘箱的两侧均设有开口，所述防尘箱的中部固定有防尘板，所述防尘箱的一端侧壁上还设有多个通风孔。
[0012]进一步的，所述搅拌机构包括固定在混合箱上端的第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴末端连接有第一连接轴，所述第一连接轴的一侧贯穿第一冷凝层和混合箱并延伸至混合箱内，所述第一连接轴上等间距固定有四个方型搅拌块。
[0013]进一步的，所述第一冷凝层的外侧还固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴末端连接有第二连接轴，所述第二连接轴的一侧贯穿第一冷凝层和混合箱并延伸至混合箱内，所述第二连接轴的一侧等间距固定有多个扇型搅拌块。
[0014]进一步的，所述混合箱的内侧壁上固定有过滤网，所述过滤网上等间距设有多个过滤孔，所述第一冷凝层的上端连接有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和第二连接管的一侧均贯穿第一冷凝层和混合箱并延伸至混合箱内，所述第一连接管和第二连接管上均设有第一调节阀。
[0015]进一步的，所述冷凝机构包括连接在第三连接管一侧的第一冷凝器，所述第一冷凝器的下端固定在防尘板上，所述第一冷凝器的一侧连接有第五连接管，所述第五连接管的另一侧贯穿第二冷凝层并延伸至第二冷凝层内。
[0016]进一步的，所述精馏机构包括固定在第五连接管一侧的精馏塔，所述精馏塔的内侧壁上固定有分子筛，所述精馏塔的另一侧还连接有第十一连接管，所述第十一连接管的一侧贯穿第二冷凝层并延伸至第二冷凝层内。
[0017]进一步的，所述精馏塔的一侧还连接有第十三连接管，所述第十三连接管的一侧连接有第三冷凝器，所述第五连接管、第十连接管、第十二连接管和第十三连接管上均设有第二调节阀。
[0018]进一步的，所述钢瓶的下端固定有底座，所述底座卡接在导轨内。
[0019]本专利技术与现有技术相比具有以下优点：
[0020]本专利技术通过在混合箱内增设的双重搅拌装置，方便了在体积大的容器内气体的融合，实现气体的快速反应，从而提炼出需要的气体；通过增设的防护机构，使得冷凝器降低因灰尘而造成的冷凝效果不佳的情况，从而维持良好的输送环境；通过新增的冷凝器，将设备的温度分开进行设置，这样不仅可以保持气体的温度不会因受热而发生危险，而且可以根据现存气体的沸点进行合理的调节，从而达到将需要的气体从设备中提取出来。
[0021]本专利技术不仅方便了气体的融合，实现气体的快速反应，使得气体从始至终均处在相对适宜的温度下，不会随设备以及外界的温度升高而提升气体的温度，减小了危险性，而且冷凝器降低因灰尘而造成的冷凝效果不佳的情况，从而维持良好的输送环境，不仅可以保持气体的温度不会因受热而发生危险，而且可以根据现存气体的沸点进行合理的调节，从而达到将需要的气体从设备中提取出来。
附图说明
[0022]图1为本专利技术提出的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔的内部结构示意图；
[0023]图2为本专利技术提出的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔的降温机构的内部结构示
意图；
[0024]图3为本专利技术提出的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔的防尘机构的结构示意图；
[0025]图4为本专利技术提出的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔的搅拌机构的内部结构示意图；
[0026]图5为本专利技术提出的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔的导轨的俯视图；
[0027]图6为本专利技术提出的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔的底座的结构示意图。
[0028]附图标记说明：
[0029]1第一冷凝层、2混合箱、3方型搅拌块、4第一连接轴、5扇型搅拌块、6第二连接轴、7过滤网、8钢瓶、9第一调节阀、10第一连接管、11第一伺服电机、12第二连接管、13第一抽气泵、14第三连接管、15第一冷凝器、16第四连接管、17第二抽气泵、18第五连接管、19底座、20分子筛、21第六连接管、22第二伺服电机、23第二冷凝层、24第二调节阀、25螺旋型冷凝管、26第七连接管、27防尘箱、28第二冷凝器、29导轨、30精馏塔、31第八连接管、32第九连接管、34第十连接管、35第十一连接管、36第三冷凝器、37支撑板、38第十二连接管、39第十三连接管。
具体实施方式
[0030]下面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，其特征在于：包括设置在第一冷凝层(1)内的混合箱(2)，所述第一冷凝层(1)等间距的固定有五个支撑板(37)，所述支撑板(37)的上端均固定在搅拌机构下面，所述搅拌机构通过第十二连接管(38)连通有第一抽气泵(13)；所述第一抽气泵(13)通过第三连接管(14)连通有冷凝机构，所述冷凝机构的下端固定有防尘机构，所述冷凝机构的一侧还连通有精馏机构；所述精馏机构的一侧通过第十连接管(34)的连通有钢瓶(8)，所述钢瓶(8)的底端连接在导轨(29)上。2.根据权利要求1所述的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，其特征在于，所述第一冷凝层(1)的一侧通过第六连接管(21)连通在第二冷凝器(28)上，所述第二冷凝器(28)的一侧通过第七连接管(26)连通有第二抽气泵(17)，所述第二抽气泵(17)的一侧连接有第九连接管(32)，所述第九连接管(32)的一侧贯穿第二冷凝层(23)并延伸至第二冷凝层(23)内，所述第九连接管(32)的延伸端连接有螺旋式冷凝管(25)；所述螺旋式冷凝管(25)的下端连接有第八连接管(31)，所述第八连接管(31)贯穿第二冷凝层(23)并延伸至第二冷凝层(23)外，所述第八连接管(31)的外侧连接在第二冷凝器(28)上；所述第二抽气泵(17)的另一侧连接有第四连接管(16)，所述第四连接管(16)的一侧分别连接有第一冷凝层(1)上。3.根据权利要求2所述的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，其特征在于，所述防尘机构包括固定在第二抽气泵(17)下端的防尘箱(27)，所述防尘箱(27)的两侧均设有开口，所述防尘箱(27)的中部固定有防尘板，所述防尘箱(27)的一端侧壁上还设有多个通风孔。4.根据权利要求1所述的一种一氟甲烷的制备用低温精馏塔，其特征在于，所述搅拌机构包括固定在混合箱(2)上端的第一伺服电机(11)，所述第一伺服电机(11)的输出轴末端连接有第一连接轴(4)，所述第一连接轴(4)的一侧贯穿第一冷凝层(1)和混合箱(2)并延伸至混合箱(2)内，所述第一连接轴(4)上等间距固定有四个方型搅拌块(3)。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，马朝选，王亚峰，徐海云，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：