【技术实现步骤摘要】
一种流量计通用固定装置
[0001]本技术涉及流量计固定
，特别涉及一种流量计通用固定装置。
技术介绍
[0002]流量计，全国科学技术名词审定委员会把它定义为：指示被测流量和(或)在选定的时间间隔内流体总量的仪表，简单来说就是用于测量管道或明渠中流体流量的一种仪表。在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间根据工艺不同都会使用各种特殊气体或液体参与到工艺制成反应中。生产工艺制程对特殊气体或液体的供应量有着严格的要求，所以供源设备都会使用高精度的流量计进行供液或供气。在这些供源设备中由于管道复杂，流量计安装方式也分了多种，如立式安装、水平安装等，所使用的安装支架也有差异。
技术实现思路
[0003]针对以上述
技术介绍
的不足，本技术提供一种流量计通用固定装置。
[0004]本技术采用的技术方案如下：一种流量计通用固定装置，关键在于：包括正对设置的固定板，两个所述固定板之间通过连接板固定连接，任一固定板和所述连接板上均开设有流量计安装孔，另一所述固定板上设有盘面安装孔和盘面固定件。
[0005]优选的，所述固定板和所述固定板均为矩形板，三块所述矩形板的长度相同。
[0006]优选的，所述流量计安装孔为两个第一条形孔，两个所述第一条形孔分别沿着所述矩形板的长度方向和宽度方向设置。
[0007]优选的，所述盘面安装孔为两个平行设置的第二条形孔，两个所述第二条形孔之间设有所述盘面固定件。
[0008]优选的，所述盘面固定件包括固定穿设在所述固定板中心的连接气管，所述连接气管...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种流量计通用固定装置，其特征在于：包括正对设置的固定板(1)，两个所述固定板(1)之间通过连接板(2)固定连接，任一固定板(1)和所述连接板(2)上均开设有流量计安装孔(3)，另一所述固定板(1)上设有盘面安装孔(4)和盘面固定件(5)。2.根据权利要求1所述的一种流量计通用固定装置，其特征在于：所述固定板(1)和所述固定板(1)均为矩形板，三块所述矩形板的长度相同。3.根据权利要求2所述的一种流量计通用固定装置，其特征在于：所述流量计安装孔(3)为两个第一条形孔，两个所述第一条形孔分别沿着所述矩形板的长度方向和宽度...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂庆庆，黄建旺，
申请(专利权)人：深圳融科半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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